刘红忠 教授 博士生导师
国家****基金获得者。获得2014年高等学校技术发明一等奖(第一完成人)、2015年山东省技术发明二等奖(第二完成人)
发表SCI论文130余篇,授权发明专利70余项。
办公地址:西安交通大学曲江校区西五楼
邮箱:hzliu@mail.xjtu.edu.cn
办公电话:
所在单位:机械工程学院先进制造技术研究所 机械制造系统工程国家重点实验室
我的新闻
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学术方向
1. 微纳制造装备与工艺
2. 有机光电子器件制造
3. 超精密测量
工作经历
?2010–至今 西安交通大学 机械工程学院 教授、博士生导师
?2009 – 2010 哈佛大学 访问****
?2006–2009 西安交通大学 机械工程学院 副教授,青年骨干教师
?2004 – 2006西安交通大学学 机械工程学院 博士后研究工作
?1998 – 2001 兰州交通大学自动控制专业 教学、计算机控制研发工程师
教育经历
?2001–2004 西安交通大学机械工程学院,攻读博士学位
?1995–1998 兰州交通大学,攻读硕士学位
职称晋升
?2016年获得国家自然科学基金委“国家****基金”
?2012年获得西安交通大学“腾飞人才计划”****
?2010年破格晋升教授
基本信息 - 红忠 刘基本信息
刘红忠 教授 博士生导师
国家****基金获得者。获得2014年高等学校技术发明一等奖(第一完成人)、2015年山东省技术发明二等奖(第二完成人)
发表SCI论文130余篇,授权发明专利70余项。
办公地址:西安交通大学曲江校区西五楼
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2. 有机光电子器件制造
3. 超精密测量
工作经历
?2010–至今 西安交通大学 机械工程学院 教授、博士生导师
?2009 – 2010 哈佛大学 访问****
?2006–2009 西安交通大学 机械工程学院 副教授,青年骨干教师
?2004 – 2006西安交通大学学 机械工程学院 博士后研究工作
?1998 – 2001 兰州交通大学自动控制专业 教学、计算机控制研发工程师
教育经历
?2001–2004 西安交通大学机械工程学院,攻读博士学位
?1995–1998 兰州交通大学,攻读硕士学位
职称晋升
?2016年获得国家自然科学基金委“国家****基金”
?2012年获得西安交通大学“腾飞人才计划”****
?2010年破格晋升教授
研究方向 - 红忠 刘研究领域
1. 微纳制造装备与工艺
2. 有机光电子器件制造
3. 超精密测量
科研项目
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项目编号项目名称项目来源起讫时间承担角色项目类别
** 国家****科学基金 国家自然科学基金项目 2017-1~ 负责人 纵向项目
** 光学构件空间位姿监测用双频复合二维光栅多自由度纳米测量系统研究 国家重大科研仪器专项 2015-1~ 负责人 纵向项目
SK201401A53-01 机床运行状态下的智能化技术及其与数控系统集成 国家科技重大专项 2013-1~2015-1 负责人 纵向项目
** 柔性大面积高密度液体微镜阵列实时/域调焦及预应力释放压印成型工艺 国家自然科学基金项目 2013-1~ 负责人 纵向项目
** 纳米制造技术发展战略研究及路线图 国家自然科学基金项目 2013-1~ 负责人 纵向项目
2011ZX04014-071 高档数控机床用长光栅制造及读数技术 高档数控机床专项 2011-1~ 负责人 纵向项目
2011ZX04014-071 高档数控机床用长光栅制造及读数方法研究 科技重大专项 2011-1~ 负责人 纵向项目
** 大面积纳米晶太阳能电池的柔性化及敏化染料压印植入制造工艺 国家自然科学基金项目 2010-1~2012-1 负责人 纵向项目
2009CB724202 纳米结构的外场诱导流变成形规律与控制 973项目 2009-1~2013-1 负责人 纵向项目
0 电毛细力驱动的纳米结构压印成形及其流变和界面行为研究 国家基金委纳米制造的基础研究重大研究计划重点项目 2009-1~2011-1 负责人 纵向项目
0 电毛细力驱动的纳米结构压印成形及其流变和界面行为研究 基金委重大研究计划重点项目 2009-1~2011-1 负责人 纵向项目
** 大面积纳米晶太阳能电池的柔性化及敏化染料压印植入制造工艺 国家自然科学基金项目 2009-1~2010-1 负责人 纵向项目
无 静电诱导流变成形纳米光刻工艺基础 机械制造系统工程国家重点实验室支持项目 2009-1~2010-1 负责人 纵向项目
2009CB724202 超大规模集成电路制造装备基础问题研究/纳米结构的外场诱导流变成形规律与控制 973项目课题 2009-1~ 骨干成员 纵向项目
** 聚合物太阳能电池p-n异质结截面的三维微结构压印成形 国家自然科学基金项目 2008-1~2012-1 负责人 纵向项目
XA-AM-200609 柔性基宏电子制造中微结构转移印刷技术 西安市应用材料基金项目 2007-1~2009-1 负责人 纵向项目
2006AA04Z322 微结构异质结界面柔性太阳能电池及其制造工艺 “863”高科技项目 2007-1~2009-1 负责人 纵向项目
** 聚合物太阳能电池p-n异质结截面的三维微结构压印成形 国家自然科学基金项目 2006-1~2008-1 负责人 纵向项目
2003CB716203 高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法/微压印成形的相变构型与保真转移 973项目课题 2006-1~2008-1 骨干成员 纵向项目
2006E109 有机太阳能电池异质结三维微结构压印成形 陕西省基金项目 2006-1~2008-1 负责人 纵向项目
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专利
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专利名称申请号专利类型申请日期
[10]连续逆压印图型直接转移式制造图案化磁记录介质的方法 ZL4.2 发明 2016.01.01
[9]聚合物太阳能电池的深亚微米三维异质结界面及制备方法 ZL6 发明 2016.01.01
[6]基于多孔介电材料薄膜的弹道场发射显示器件阴极的制备方法 ZL1.9 发明 2016.01.01
深亚微米三维滚压模具及其制作方法 ZL7.5 发明 2016.01.01
量子点植入反射式主动光栅及制造方法 ZL2.X 发明 2016.01.01
[4]半导体气敏传感器的定向纳米纤维化三维立体叉指电极的制作方法 ZL5.8 发明 2015.01.01
[5]层叠薄膜及其波形周线控制表面传导电子发射源制作方法 ZL8.X 发明 2015.01.01
机床用超长光栅尺逆滚压印成型方法 ZL.2 发明 2015.01.01
[2]一种具有微结构的聚偏氟乙烯压电薄膜的制备方法 ZL1.2 发明 2014.01.01
动力学压印反射式光栅的制作方法 ZL0.7 发明 2013.01.01
以时间基准为参照的精密光栅制造方法 0.7 发明 2012.09.28
以石墨烯键长作为计量基准的长度计量溯源方法 2.9 发明 2012.09.28
以石墨烯键长为基准的超精密制造装备精度比对及精度补偿方法 7.3 发明 2012.09.28
一种单码道绝对式光栅尺辊压印模具制造方法 5.X 发明 2012.07.17
单码道绝对式光栅尺辊压印制造方法 7.5 发明 2012.07.17
一种机床用长光栅辊压印模具精密电铸加工方法 5.9 发明 2012.07.17
激光辅助辊压印制造机床用反射型长光栅工艺方法 6.2 发明 2012.07.17
超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法 4.6 发明 2011.12.30
一种机床测量用光栅尺保护膜的涂覆方法 7.7 发明 2011.12.30
一种SED显示器电子发射源纳米缝阵列的制备方法 5.0 发明 2011.07.11
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发表论文
1. 标题:Nanograss-structured counter electrode for dye-sensitized solar cells
作者:Jiang, Wei; Yin, Lei; Liu, Hongzhong; 等.
来源出版物:JOURNAL OF POWER SOURCE
出版年:NOV 15 2012
2. 标题:Fabrication of micro-structures on a PVDF/TiO2 nano-composite film using photocatalytic lithography
作者:An, Ningli; Liu, Hongzhong; Ding, Yucheng; 等.
来源出版物:APPLIED SURFACE SCIENCE
出版年:APR 1 2012
3. 标题:Effect of patterned and aligned carbon nanotubes on field emission properties
作者:Liu, Hongzhong; Shi, Yongsheng; Chen, Bangdao; 等.
会议:18th International Vacuum Congress (IVC)/International Conference on Nanoscience and Technology (ICNT)/14th International Conference on Surfaces Science (ICSS)/Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia (VASSCAA)会议地点:Beijing, PEOPLES R CHINA会议日期:AUG 23-27, 2010
来源出版物:VACUUM出版年:FEB 8 2012
4. 标题:Monolithic design of a compliant template orientation stage for step imprint lithography
作者:Shao, J-Y; Ding, Y-C; Liu, H-Z; 等.
来源出版物:PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE
出版年:FEB 2012
5. 标题:Selective-Filling Mold for Residual-Layer-Free Patterning of 3D Microstructures
作者:Jiang, Weitao; Liu, Hongzhong; Ding, Yucheng
来源出版物:MATERIALS AND MANUFACTURING PROCESSES
出版年:2012
6. 标题:Fabrication of a graphene field effect transistor array on microchannels for ethanol sensing
作者:Chen, Bangdao; Liu, Hongzhong; Li, Xin; 等.
来源出版物:APPLIED SURFACE SCIENCE
出版年:JAN 1 2012
7. 标题:Synthesis and gas sensing characteristic based on metal oxide modification multi wall carbon nanotube composites
作者:Liu, Hongzhong; Ma, Hui; Zhou, Weiman; 等.
来源出版物:APPLIED SURFACE SCIENCE
出版年:JAN 1 2012
8. 标题:A metal/insulator/metal field-emission cannon
作者:Liu, Hongzhong; Chen, Bangdao; Li, Xin; 等.
来源出版物:NANOTECHNOLOGY
出版年:NOV 11 2011
9. 标题:Thermal shock induced nanocrack as high efficiency surface conduction electron emitter
作者:Chen, Bangdao; Liu, Hongzhong; Wang, Hongtao; 等.
来源出版物:APPLIED SURFACE SCIENCE
出版年:AUG 15 2011
10. 标题:Determination of small in-plane angular displacement in machine tool alignment using two matched moire fringes
作者:Shao, J-Y; Liu, H-Z; Ding, Y-C; 等.
来源出版物:PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE
出版年:APR 2011
11. 标题: Preparation and electroactive properties of a PVDF/nano-TiO(2) composite film
作者: An Ningli; Liu Hongzhong; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: APPLIED SURFACE SCIENCE
出版年: FEB 2011
12. 标题: Making modified fluoropolymer molds for ultraviolet nanoimprint lithography
作者: Ye Xiangdong; Ding Yucheng; Liu Hongzhong; 等.
来源出版物: THIN SOLID FILMS
出版年: SEP 2010
13. 标题: Making modified fluoropolymer films with low surface energy
作者: Ye Xiangdong; Duan Yugang; Ding Yucheng; Liu Hongzhong;等.
来源出版物: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A
出版年: JUL 2010
14. 标题: Roller-reversal imprint process for preparation of large-area microstructures
作者: Liu Hongzhong; Jiang Weitao; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
出版年: JAN 2010
15. 标题: Room-temperature capillary-imprint lithography for making micro-nanostructures in large areas
作者: Ye Xiangdong; Ding Yucheng; Duan Yugang; Liu Hongzhong;等.
来源出版物: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
出版年: JAN 2010
16. 标题: Making high-fidelity imprint template by resist patterns over a flexible conductive polymer substrate
作者: Ye Xiangdong; Ding Yucheng; Duan Yugang; Liu Hongzhong;等.
来源出版物: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
出版年: JAN 2010
17. 标题: Investigation of pattern coating on mould roller in roller-reversal imprint process
作者: Jiang Weitao; Liu Hongzhong; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: MICROELECTRONIC ENGINEERING
出版年: DEC 2009
18. 标题: Investigation of growth properties of patterned and aligned carbon nanotubes for field emitter
作者: Liu Hongzhong; Shi Yongsheng; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: MICROELECTRONIC ENGINEERING
出版年: NOV 2009
19. 标题: Effects of exposure time on defects and demolding force in soft ultraviolet nanoimprint lithography
作者: Ye Xiangdong; Ding Yucheng; Duan Yugang; Liu Hongzhong;等.
来源出版物: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
出版年: SEP 2009
20. 标题: Growth of patterned and aligned carbon nanotube bundles on micro-structured substrate
作者: Shi Yongsheng; Ding Yucheng; Liu Hongzhong; 等.
来源出版物: APPLIED SURFACE SCIENCE
出版年: JUN 15 2009
21. 标题: Fabrication of bio-microelectrodes for deep-brain stimulation using microfabrication and electroplating process
作者: Qin Ge; Liu Yaxiong; Liu Hongzhong; 等.
来源出版物: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
出版年: JUN 2009
22. 标题: Novel imprint lithography process used in fabrication of micro/nanostructures in organic photovoltaic devices
作者: Liu Hongzhong; Ding Yucheng; Jiang Weitao; 等.
会议名称: 4th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technologies
会议地点: Tainan, TAIWAN 会议日期: JUN , 2008
来源出版物: JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS
出版年: APR-JUN 2009
23. 标题: Research on the cast molding process for high quality PDMS molds
作者: Ye Xiangdong; Liu Hongzhong; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: MICROELECTRONIC ENGINEERING
出版年: MAR 2009
24. 标题: Fabrication of carbon nanotube arrays for field emission and sensor devices by nanoimprint lithography
作者: Yin Lei; Liu Hongzhong; Ding Yucheng; 等.
会议名称: Workshop on Recent Advances on Low Dimensional Structures and Devices
会议地点: Univ Nottingham, Nottingham, ENGLAND 会议日期: APR 07-09, 2008
来源出版物: MICROELECTRONICS JOURNAL
出版年: MAR 2009
25. 标题: Mold deformation in soft UV-nanoimprint lithography
作者: Lan HongBo; Ding YuCheng; Liu HongZhong; 等.
来源出版物: SCIENCE IN CHINA SERIES E-TECHNOLOGICAL SCIENCES
出版年: FEB 2009
26. 标题: Matrix induced synthesis of Y(3)Al(5)O(12):Ce phosphor through the Pechini method
作者: Zhang Kai; Hu Wenbin; Li Jun; Liu Hongzhong;等.
来源出版物: INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
出版年: FEB 2009
27. 标题: A novel loading and demoulding process control in UV nanoimprint lithography
作者: Liu Hongzhong; Jiang Weitao; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: MICROELECTRONIC ENGINEERING
出版年: JAN 2009
28. 标题: Strategy for a loading force induced overlay position shift in step imprint lithography
作者: Shao J. Y.; Ding Y. C.; Liu H. Z.; 等.
来源出版物: PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE
出版年: JAN 2009
29. 标题: Investigation of ink transfer in a roller-reversal imprint process
作者: Jiang Weitao; Liu Hongzhong; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
出版年: JAN 2009
30. 标题: PtIr Microwire Bonding for Deep-Brain Microelectrode by Electroplating
作者: Qin Ge; Ding Yucheng; Liu Yaxiong; Liu Hongzhong;等.
来源出版物: SENSORS AND MATERIALS
出版年: 2009
31. 标题: Alignment measurement method for imprint lithography using moire fringe pattern
作者: Shao Jinyou; Liu Hongzhong; Ding Yucheng; 等.
来源出版物: OPTICAL ENGINEERING
出版年: NOV 2008
32. 标题: A novel overlay process for imprint lithography using load release and alignment error pre-compensation method
作者: Shao Jinyou; Ding Yucheng; Tang Yiping; Liu Hongzhong;等.
会议名称: IEEE International Symposium on Advanced Gate Stack Technology (ISAGST) 会议地点: Austin, TX 会议日期: 2006
来源出版物: MICROELECTRONIC ENGINEERING
出版年: JAN 2008
33.标题: Fabrication and characterization of nanostructural vanadium pentoxide hollow microspheres
作者: Zhu Ding; Liu Heng; Yao Ya-Dong; Liu Hongzhong;等.
来源出版物: JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
出版年: JAN 2008
34. 标题: Optimal Geometry and Stimulating Mechanism of Deep-brain Electrode - Role of Electrode Contact Geometry
作者: Lian Qin; Wang Jue; Liu Hongzhong; 等.
编者: Simos TE; Psihoyios G; Tsitouras C
会议名称: International Conference on Numerical Analysis and Applied Mathematics 会议地点: Psalidi, GREECE 会议日期: SEP 16-20, 2008
来源出版物: NUMERICAL ANALYSIS AND APPLIED MATHEMATICS丛书: AIP CONFERENCE PROCEEDINGS
出版年: 2008
35. 标题: Development of a step micro-imprint lithography tool
作者: Lan Hongbo; Ding Yucheng; Liu Hongzhong; 等.
来源出版物: JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
出版年: OCT 2007
36. 标题: Review of the wafer stage for nanoimprint lithography
作者: Lan Hongbo; Ding Yucheng; Liu Hongzhong; 等.
来源出版物: MICROELECTRONIC ENGINEERING
出版年: APR 2007
37. 标题: Distortion reduction by load release for imprint lithography
作者: Li HS; Ding YC; Tang YP; Liu HZ;等.
来源出版物: MICROELECTRONIC ENGINEERING
出版年: MAR 2006
38. 标题: Novel nano-scale overlay alignment method for room-temperature imprint lithography - art. no. 61491V
作者: Wang L; Ding YC; Lu BH; Liu HZ;等.
编者: Yang L; Wen S; Chen Y; 等.
会议名称: 2nd International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies 会议地点: Xian, PEOPLES R CHINA 会议日期: NOV 02-05, 2005
来源出版物: 2nd International Conference on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Advanced Optical Manufacturing Technologies丛书: PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE)
出版年: 2006
39. 标题: UV curing imprint lithography for micro-structure in MEMS manufacturing
作者: Ding Yucheng; Liu Hongzhong; Lu Bingheng; 等.
书籍作者: Tay, FEH; Jianmin, M; Bergstrom, J; 等.
会议名称: International MEMS Conference 2006 会议地点: Singapore, SINGAPORE 会议日期: MAY 09-12, 2006
来源出版物: INTERNATIONAL MEMS CONFERENCE 2006丛书: Journal of Physics Conference Series
出版年: 2006
40. 标题: A measurement system for step imprint lithography
作者: Liu HZ; Lu BH; Ding YC; 等.
来源出版物: MEASUREMENT TECHNOLOGY AND INTELLIGENT INSTRUMENTS VI
出版年: 2005
41. 标题: A motor-piezo actuator for nano-scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation
作者: Liu HZ; Lu BH; Ding YC; 等.
来源出版物: JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
出版年: MAR 2003
研究成果 - 红忠 刘研究结果展示页一
一 辊压印机
本团队所作的光栅尺辊压印机可以实现线纹周期为4-40μm,长度为2m 高精度光栅尺(玻璃基底)及柔性超长光栅(50m以上) 的连续制造。
二 光栅尺读数系统
本团队所作的旋转曝光台采用步进式光刻工艺方法,将平面掩模版上光栅微结构通过多步光刻方法转移至整个圆周表面,使筒状模具表面具有光栅微结构的光刻胶掩蔽层。
此模具为辊压印光栅母版模具,以此模具为母版可以实现高精度,高效率、低成本、大面积的光栅尺胚的制造。
三柔性二维微结构
大面积微结构的纳米精度与纳米结构,将赋予构件许多美妙的性能。 本团队所作的柔性二维微结构的应用面很广,如光学和光电子工程及生物医疗领域。
四 光学透镜
本团队所作的光学透镜为球面透镜,上面具有一定的微纳米结构,具有较为特殊的光学性能。
五 大面积UV固化压印结构成型
六 新型场发射阴极制造
七 微纳米超亲水/超疏水复合结构
八 PDP障壁
本团队制备的PDP障壁利用金属障壁结构可以复制出大量的障壁结构,实现批量化生产。障壁在彩色等离子体平板显示( PDP)中的作用是防止本单元的紫外光激发相邻单元的荧光粉,引起光的串扰;防止本单元的电荷及外加电场作用到不该作用的相邻单元引起电串扰。另外,由于障壁增加放电电荷存贮的表面积,增加了存储能力。
九微结构复型
对于复杂异形体结构的制造一直以来是一件比较困难的事情,采用机械加工方法或激光制作法,由于有热和力的作用,对微结构表面都会有破坏作用,因此需要找出一种简单高效的方法。采用复型制造的方法,可以精确的将微结构进行复型,这种方法成本低而且可以批量生产,对复杂异形体的复型制造是一种有效的方法。
平面光栅主要用于光谱分析和光波长的测量等方面,理想的反射式平面光栅,可视作是相互平行,等宽,等间距,均匀排列的许多狭缝。大面积高线数面光栅的制造在国内外一直是难题,对军事尤其对于国家“点火计划”的实施至关重要,因此,如何低成本、精确的复型制造大面积高线数面光栅,已成为人们关注的热点。如图为复型的1740线高线数面光栅,复型过程中需保证面光栅面型平整而且结构完整。
研究结果展示页二
?2010–至今 西安交通大学 机械工程学院 教授、博士生导师
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?2004 – 2006西安交通大学学 机械工程学院 博士后研究工作
?1998 – 2001 兰州交通大学自动控制专业 教学、计算机控制研发工程师
闹钟