个人简介 - 赵 立波基本信息

赵立波
1978年7月生，山东省海阳市人，教授/博导。
现任中国机械工程学会微纳制造技术分会副主任兼总干事、中国微米纳米技术学会微纳执行器与微系统分会副理事长、中国微米纳米技术学会微纳米制造与装备分会理事兼副秘书长、中国仪器仪表学会量子传感与精密仪器分会常务理事、中国仪器仪表学会传感器分会理事、陕西省机械工程学会常务理事兼常务副秘书长。
电话：
传真：
邮箱：libozhao@mail.xjtu.edu.cn
单位：精密工程研究所
基地：机械制造系统工程国家重点实验室、“微纳制造与测试技术”教育部国际合作联合实验室、“微纳制造与纳米测试技术”111引智基地

在MEMS传感器研究方面，获得2017年和2007年国家技术发明二等奖2项（第2和3）、教育部技术发明一等奖1项（第3）、陕西省科技进步一等奖3项（第3、5、7）等。已发表学术论文170余篇，授权发明专利61项。
1）2012年，被评选为“陕西省青年科技新星”
2）2013年，获“第三届西安青年科技人才奖”
3）2014年，获第十届“陕西青年科技奖”及“陕西青年科技标兵”
4）2015年，获中国机械工程学会“青年科技成就奖”
5）2016年，获“全国优秀科技工作者”称号
6）2019年，获“中国青年科技奖特别奖”





@科研新闻@
压电振动能量收集用于无线传感器节点自供电
2020-05-04

柔性压力传感器
2020-05-04

MEMS谐振黏密度传感器
2020-05-04

谐振式压力传感器
2020-05-04

压电式微加工超声传感器PMUTs
2020-05-04

电容式微加工超声传感器CMUTs
2020-05-04


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工作经历
1）2019年8月－至今，西安交通大学，智能传感技术与系统研究院，院长
2）2017年1月－至今，西安交通大学，机械工程学院，教授
3）2015年10月－至今，西安交通大学，机械工程学院精密仪器系，系主任
4）2014年9月－2015年10月，加州大学伯克利分校，机械工程系，访问****
5）2012年6月－至今，西安交通大学，机械工程学院，博士生导师
6）2011年12月－2013年7月，西安交通大学，机械工程学院，院长助理
7）2011年1月－2016年12月，西安交通大学，机械工程学院，副教授
8）2009年6月－2011年7月，清华大学，精仪系制造工程研究所，博士后研究
9）2008年6月－至今，陕西省微纳传感器工程技术研究中心，副主任
10）2007年7月－2010年12月，西安交通大学，机械工程学院，讲师




教育经历

1）2007年，获西安交通大学仪器科学与技术专业工学博士学位
2）2003年，获西安交通大学测试计量技术及仪器专业硕士学位
3）2000年，获西安交通大学机械工程及自动化专业学士学位




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个人简介 - 赵 立波基本信息

赵立波
1978年7月生，山东省海阳市人，教授/博导。
现任中国机械工程学会微纳制造技术分会副主任兼总干事、中国微米纳米技术学会微纳执行器与微系统分会副理事长、中国微米纳米技术学会微纳米制造与装备分会理事兼副秘书长、中国仪器仪表学会量子传感与精密仪器分会常务理事、中国仪器仪表学会传感器分会理事、陕西省机械工程学会常务理事兼常务副秘书长。
电话：
传真：
邮箱：libozhao@mail.xjtu.edu.cn
单位：精密工程研究所
基地：机械制造系统工程国家重点实验室、“微纳制造与测试技术”教育部国际合作联合实验室、“微纳制造与纳米测试技术”111引智基地

在MEMS传感器研究方面，获得2017年和2007年国家技术发明二等奖2项（第2和3）、教育部技术发明一等奖1项（第3）、陕西省科技进步一等奖3项（第3、5、7）等。已发表学术论文170余篇，授权发明专利61项。
1）2012年，被评选为“陕西省青年科技新星”
2）2013年，获“第三届西安青年科技人才奖”
3）2014年，获第十届“陕西青年科技奖”及“陕西青年科技标兵”
4）2015年，获中国机械工程学会“青年科技成就奖”
5）2016年，获“全国优秀科技工作者”称号
6）2019年，获“中国青年科技奖特别奖”





@科研新闻@
压电振动能量收集用于无线传感器节点自供电
2020-05-04

柔性压力传感器
2020-05-04

MEMS谐振黏密度传感器
2020-05-04

谐振式压力传感器
2020-05-04

压电式微加工超声传感器PMUTs
2020-05-04

电容式微加工超声传感器CMUTs
2020-05-04


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工作经历
1）2019年8月－至今，西安交通大学，智能传感技术与系统研究院，院长
2）2017年1月－至今，西安交通大学，机械工程学院，教授
3）2015年10月－至今，西安交通大学，机械工程学院精密仪器系，系主任
4）2014年9月－2015年10月，加州大学伯克利分校，机械工程系，访问****
5）2012年6月－至今，西安交通大学，机械工程学院，博士生导师
6）2011年12月－2013年7月，西安交通大学，机械工程学院，院长助理
7）2011年1月－2016年12月，西安交通大学，机械工程学院，副教授
8）2009年6月－2011年7月，清华大学，精仪系制造工程研究所，博士后研究
9）2008年6月－至今，陕西省微纳传感器工程技术研究中心，副主任
10）2007年7月－2010年12月，西安交通大学，机械工程学院，讲师




教育经历

1）2007年，获西安交通大学仪器科学与技术专业工学博士学位
2）2003年，获西安交通大学测试计量技术及仪器专业硕士学位
3）2000年，获西安交通大学机械工程及自动化专业学士学位




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科学研究 - 赵 立波研究领域
研究领域：机械工程、仪器科学与技术
研究方向：
1）微型机械电子系统（MEMS）与微纳米技术
2）MEMS传感器技术
3）精密测量技术



















科研项目

主持项目：
1）国家自然科学基金重大项目课题：**、电静液驱动执行器热流固环境多源感知和智能健康监测，2019/01-2023/12，368万元，在研。
2）国家自然科学基金面上项目：**、基于耦合效应的高性能PMUTs工作机理与测试技术研究，2019/01-2022/12，60万元，在研。
3）陕西省****科学基金项目：2019JC-06、微纳制造与先进传感技术，2019/01-2021/12，30万元，在研。
4）国家重点研发计划子课题任务：2016YFB**-04、天临空地车轨道交通系统状态信息获取、监测与预警技术、2016/07-2020/06，70万元，在研。
5）2011教育部纳米科技协同创新中心协同攻关项目：xjtusz007、高温压力传感器关键技术开发及工程化中试、2016/7-2018/6，100万元，在研。
6）2016年度留学人员科技活动项目择优资助（优秀类）：高性能MEMS加速度传感器的关键技术研究、2016/11-2017/10，5万元，在研。
7）国家自然科学基金项目：**、基于水平剪切声表面波的新型黏度/密度传感器测量机理与关键技术研究、2014/01-2017/12、80万元，在研。
8）陕西省青年科技新星项目：2012KJXX-01、谐振式MEMS黏度传感器技术研究、2012/04-2015/04、10万元，结题。
9）霍英东教育基金会第十三届高等院校青年教师基金应用研究课题：132010、痕量污染物生物筛选与监测技术、2012/01-2014/12、2万美金，结题。
10）教育部新世纪优秀人才支持计划：NCET-10-0685、MEMS/NEMS流体热物性传感器研究、2011/01-2013/12、50万元，结题。
11）国家自然科学基金青年项目：**、GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器、2010/01-2012/12、20万元，结题。
12）中国博士后科学基金委特别资助项目：、耐高温高量程压力传感器的设计及制造技术研究、2010/01-2011/11、10万元，结题。
13）陕西省自然科学基金项目：2009JQ7015、压电式车辆动态称重传感器、2009/06-2011/12、4万元，结题。
主要参加项目：
1）国家自然科学基金联合基金重点项目，U**、基于MEMS技术的智能机器人用多功能集成传感器关键技术研究、2020/01-2023/12、200万元、参加。
2）陕西省重点研发计划项目，2018ZDXM-GM-103、高性能MEMS压阻式微压传感器及其制造技术研究、2018/08-2020/07、50万元、参加。
3）陕西省重点研发计划项目，2018ZDXM-GY-02-02、高精度压力传感器的研发、2018/01-2020/12、90万元、参加。
4）国家重大科学仪器设备开发专项，2012YQ**、自动化核酸检测与分析关键技术及部件研制、2012/10-2016/09、4600万元、参加。
5）高档数控机床科技重大专项，2011ZX04004-061、Φ1500大尺寸超精密非球面车磨复合加工机床及应用工艺、2011/01-2013/12、961万元、参加。
6）国家自然科学基金重点项目，**、流体热物性测试新方法及其应用研究、2009/01-2012/12、185万元、参加（第2参加人，分课题组长）。
7）国家863计划重点项目，2008AA042202、油井监测微传感器及系统、2008/10-2010/09、610万元、参加。
8）国家863计划探索类项目，2007AA04Z325、集成化三维微力传感器研究、2007/10-2010/06、87万元、参加（第2参加人，副组长）。

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科研成果 - 赵 立波科技奖励

1）2017年度，“高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品”，国家技术发明二等奖，主要完成人：赵玉龙、赵立波、田边、蒋庄德等
2） 2007年度，“耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发”，国家技术发明二等奖，主要完成人：蒋庄德、赵玉龙、赵立波等
3） 2005年度，“棉条检测硅微传感器的研制及其应用”，陕西省科学技术一等奖，主要完成人：蒋庄德、赵玉龙、赵立波
4） 2006年度，“耐高温压力传感器设计、制备技术及系列产品开发”，教育部技术发明一等奖，主要完成人：蒋庄德、赵玉龙、赵立波等
5） 2012年度，“危化品安全储运状态检测MEMS传感器及系统”，陕西省科学技术一等奖，主要完成人：赵玉龙、蒋庄德、田边、王瑞、赵立波等
6）2019年度，“多靶标高通量核酸自动化定量检测关键技术及产业化应用”，陕西省科学技术一等奖，主要完成人：彭年才、李明、苗保刚、李政、韦学勇、李红东、赵立波等
7） 2005年度，SOI（梁膜结合）耐高温压力传感器，西安市科学技术一等奖，主要完成人：蒋庄德、赵玉龙、赵立波





授权发明专利
Method of On-Line Rapid Fluid Density Measurement Using a Piezoresistive Micro-Cantilever，美国发明专利，授权号：US 13/658,639，授权日：2016.1.5，发明人：蒋庄德、张桂铭、赵立波等。
一种梳齿式CMUTs流体密度传感器及其制备方法，中国发明专利，授权号：9.2，授权发文日：2020.4.15，发明人：赵立波、李杰、李支康、卢德江、赵一鹤、张家旺、徐廷中、蒋庄德。
一种双H型受拉梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 9.8，授权日：2020.3.31，发明人：赵立波、韩香广、李雪娇、卢德江、郭鑫、王鸿雁、吴永顺、赵玉龙、蒋庄德。
一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 8.7，授权日：2019.10.11，发明人：赵立波、于明智、蒋维乐、贾琛、李支康、王久洪、赵玉龙、蒋庄德。
多梁式单质量块面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 6.9，授权日：2019.10.11，发明人：赵立波、贾琛、蒋维乐、于明智、李支康、王久洪、赵玉龙、蒋庄德。
基于CMUTs谐振式生化传感器的敏感功能层制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 8.X，授权日：2019.3.12，发明人：赵立波、赵一鹤、夏勇、李支康、李杰、张家旺、李萍、蒋庄德。
一种支撑梁式MEMS复合传感器及其制备和测试方法，中国发明专利，授权号：ZL 8.4，授权日：2019.5.21，发明人：赵立波、黄祥祥、夏勇、徐廷中、郭鑫、罗运运。
基于可动栅极式场效应晶体管的微力传感器及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 6.8，授权日：2019.5.21，发明人：赵立波、高文迪、蒋庄德、李支康、赵玉龙、孙东。
一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 7.X，授权日：2019.10.11，发明人：赵立波、胡英杰、黄琳雅、李支康、赵玉龙、蒋庄德。
一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 7.6，授权日：2019.10.11，发明人：赵立波、黄琳雅、胡英杰、李支康、赵玉龙、蒋庄德。
一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 5.9，授权日：2019.4.12，发明人：赵立波、黄琳雅、蒋维乐、胡英杰、王久洪、李支康、苑国英、赵玉龙、蒋庄德。
一种分段质量块应力集中结构微压传感器芯片及制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 6.3，授权日：2017.5.17，发明人：赵立波、徐廷中、蒋庄德等。
一种浮雕式岛膜应力集中结构微压传感器芯片及制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 9.9，授权日：2017.3.29，发明人：赵立波、徐廷中、蒋庄德等。
一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 0.9，授权日：2017.2.22，发明人：赵立波、许煜、蒋庄德等。
一种自增强圆筒式双液体腔结构的耐高温超高压力传感器，中国发明专利，授权号：ZL 8.4，授权日：2017.1.11，发明人：赵立波、郭鑫、薛方正等。
一种基于MEMS双加热器的热导率和热扩散系数传感器，中国发明专利，授权号：ZL 6.3，授权日：2016.10.19，发明人：赵立波、陈闯、蒋庄德等。
一种微压力传感器及其制备与检测方法，中国发明专利，授权号：ZL 3.0，授权日：2016.4.27，发明人：赵立波、李支康、蒋庄德等。
一种磨削力传感器及其测量方法，中国发明专利，授权号：ZL 9.4，申请日：2013.12.26，授权日：2016.3.30，发明人：赵立波、乔智霞、薛方正等。
一种高温CMUT压力传感器及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 8.6，申请日：2013.3.15，授权日：2016.2.24，发明人：赵立波、李支康、蒋庄德等。
一种磁激励压阻拾振式MEMS谐振器的主动频率调谐方法，中国发明专利，授权号：ZL 9.8，申请日：2013.4.23，授权日：2016.1.13，发明人：赵立波、张桂铭、蒋庄德等。
基于CMUT的海洋生化物质监测传感器及其制备与测量方法，中国发明专利，授权号：ZL 1.6，申请日：2013.8.20，授权日：2016.1.13，发明人：赵立波、李支康、蒋庄德等。
一种基于CMUT的温度传感器及其制备方法与应用方法，中国发明专利，授权号：ZL 4.9，申请日：2013.3.15，授权日：2015.4.29，发明人：赵立波、叶志英、李支康、蒋庄德等。
一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法，中国发明专利，授权号：ZL 9.7，授权发文日：2014.1.29，发明人：赵立波、张桂铭、蒋庄德等。
一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 7.7，授权发文日：2014.1.27，发明人：赵立波、李支康、蒋庄德等。
一种电容式微加工超声传感器及其制备与应用方法，中国发明专利，授权号：ZL 6.4，授权发文日：2013.12.31，发明人：赵立波、李支康、蒋庄德等。
一种基于MEMS技术的热扩散率传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 8.8，授权发文日：2013.11.27，发明人：赵立波、周睿、蒋庄德等。
一种复合式MEMS密度传感器，中国发明专利，授权号：ZL 7.5，授权日：2013.11.6，发明人：赵立波、徐龙起、黄恩泽等。
基于ZnO纳米线阵列的压力传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 5.2，授权日：2013.11.6，发明人：蒋庄德、许煜、赵立波。
一种双C型压电式动态轴重传感器，中国发明专利，授权号：ZL 6.3，授权日：2013.4.17，发明人：赵立波、梁建强、赵玉龙等。
基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器，中国发明专利，授权号：ZL 1.0，授权日：2013.3.13，发明人：赵立波、黄恩泽、张桂铭等。
一种复合式MEMS耐高温超高压力传感器，中国发明专利，授权号：ZL 8.6，授权日：2012.7.4，发明人：赵立波、郭鑫、孟夏薇等。
MEMS筒式耐高温超高压力传感器，中国发明专利，授权号：ZL 8.2，授权日：2012.6.31，发明人：赵立波、郭鑫、赵玉龙等。
基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 1.8，授权日：2011.11.16，发明人：赵立波、黄恩泽、蒋庄德等。
基于微机电系统技术的粘度传感器芯片及其制备方法，中国发明专利，授权号：ZL 8.6，授权日：2011.8.31，发明人：赵立波、张桂铭、蒋庄德等。





发表论文
Tingzhong Xu, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Shuaishuai Guo, Zhikang Li*, Ping Yang, Lin Sun, Guoxi Luo and Liangchi Zhang. Array design of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with low-crosstalk and high-emission performance [J]. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 67(4): 789-800, APRIL 2020. (IF: 2.989)
Guoxi Luo, Yunyun Luo, Qiankun Zhang, Shubei Wang, Lu Wang, Zhikang Li, Libo Zhao*, Kwok Siong Teh* and Zhuangde Jiang. The Radial Piezoelectric Response from Three-Dimensional Electrospun PVDF Micro Wall Structure [J]. Materials, 13(6): 1368(10pp.), 2020.3 (IF: 2.972)
Libo Zhao, Linya Huang, Guoxi Luo, Jiuhong Wang, Hongyan Wang, Yongshun Wu, Zhikang Li, Xiangyang Zhou*, Zhuangde Jiang. An immersive resonant sensor with microcantilever for pressure measurement [J]. Sensors and Actuators A: Physical, 303: 111686(9pp), 2020.3. (IF: 2.739)
Guoxi Luo, Kowk Siong Teh*, Yong Xia, Yunyun Luo, Zhikang Li, Shubei Wang, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang. A novel three-dimensional spiral CoNi LDHs on Au@ErGO wire for high performance fiber supercapacitor electrodes [J]. Materials Letters, 236: 728-731, 2019.02 (SCI: HA9CY, WOS: 185, EI:20**0, IF:2.99)
Ping Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Mingzhi Yu, Zhen Li, and Xuejiao Li. Self-Powered Flexible Sensor Based on the Graphene Modified P(VDF-TrFE) Electrospun Fibers for Pressure Detection [J]. Macromolecular Materials and Engineering, 304(12): **(8pp), 2019.10.3 (EI: 20**6, IF: 3.038)
Ping Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Mingzhi Yu, Zhen Li, Xiangyang Zhou* and Yulong Zhao. A wearable and sensitive graphene-cotton based pressure sensor for human physiological signals monitoring [J]. Scientific Reports, 9 (1): 14457(7pp), 2019.10.8. (WOS: 053, SCI: JC2IB, IF: 4.011)
Lu Wang, Guoxi Luo*, Zhuangde Jiang, Fuzheng Zhang, Libo Zhao*, Ping Yang, Qijing Lin, Ryutaro Maeda. Broadband Vibration Energy Harvesting for Wireless Sensor Node Power Supply in Train Container [J]. Review of Scientific Instruments, 90(12): 125003(9pp.), 2019.12; (IF: 1.587)
Yihe Zhao, Libo Zhao*, Zhikang Li, Jie Li, Ping Yang*, Tingzhong Xu, Zichen Liu, Shuaishuai Guo, Jiuhong Wang and Zhuangde Jiang. Capacitive micromachined ultrasonic transducers for transmitting and receiving ultrasound in air [J], Journal of Micromechanics and Microengineering, 29(12): 125015 (15pp), 2019.10. (WOS: 001, SCI: JK3OX,IF: 2.141)
Lu Wang, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Guoxi Luo*, Ping Yang, Xiangguang Han, Xiang Li, Ryutaro Maeda. High accuracy comsol simulation method of bimorph cantilever for piezoelectric vibration energy harvesting [J]. AIP Advances, 9(9): 095067(9pp), 2019.9. (WOS: 066, SCI: JB4HJ, IF: 1.579)
Lu Wang, Jianjun Ding*, Zhuangde Jiang, Guoxi Luo, Libo Zhao*, Dejiang Lu, Xiao Yang, Ryutaro Maeda. A Packaged Piezoelectric Vibration Energy Harvester with High Power and Broadband Characteristics [J]. Sensors and Actuators A-Physical. 295: 629-636, 2019.8. (WOS: 069, SCI: IU5OA, IF: 2.739)
Tingzhong Xu, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Shuaishuai Guo, Zhikang Li, Guoxi Luo, Lin Sun, Liangchi Zhang. An analytical equivalent circuit model for optimization design of a broadband piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with an annular diaphragm [J]. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 66(11): 1760-1776, 2019.11. (WOS: 007, SCI: JJ9JF, EI: 20**1, IF: 2.989)
Libo Zhao*, Jie Li, Zhikang Li*, Yihe Zhao, Guoxi Luo, Tingzhong Xu, Shuaishuai Guo, Zichen Liu, Jiuhong Wang and Zhuangde Jiang. A CMUT-based gas density sensor with high sensitivity [J]. Journal of Micromechanics and Microengineering, 29(11): 115012 (10pp), 2019.9. (WOS: 005, SCI: JA3ND, EI: 20**9, IF: 2.141)
Libo Zhao, Yihe Zhao, Yong Xia, Zhikang Li, Jie Li, Jiawang Zhang, Jiuhong Wang, Xiangyang Zhou*, Yuanjie Li, Yulong Zhao and Zhuangde Jiang. A Novel CMUTs-based Resonant Biochemical Sensor Using Electrospinning Technology [J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 66(9): 7356-7365, 2019.9 (SCI: HW9KT, WOS: 0701, EI: 20**3, IF: 7.05)
Jianjun Ding*, Linya Huang, Guoxi Luo, Dejiang Lu, Jiuhong Wang, Libo Zhao* and Zhuangde Jiang. A resonant microcantilever sensor for in-plane multi-axis magnetic field measurements [J]. Journal of Micromechanics and Microengineering, 29(6): 065010(9pp.), 2019.4 (SCI: HX3HM, WOS: 001, EI: 20**0, IF: 2.141)
Wendi Gao, Chen Jia, Zhuangde Jiang, Xiangyang Zhou*, Libo Zhao*, Dong Sun. The Design and Analysis of a Novel Micro Force Sensor Based on Depletion Type Movable Gate Field Effect Transistor [J]. IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, 28(2): 298-310, 2019.4. (WOS:015, SCI: CF1BI, EI: 20**3, IF: 2.621)
Yong Xia, Libo Zhao, Yunyun Luo, Rahmanohebibul, Jiuhong Wang, Lei Li, Guoxi Luo, Xiangyang Zhou*, Zhuangde Jiang. Optimizing electrospinning-hydrothermal hybrid process based on Taguchi method for modulation of point defects in ZnO micro/nano arrays towards photoelectronic application [J]. Journal of Alloys and Compounds, 779: 167-174, 2019.3.30. (WOS: 021, SCI: HJ4PA, EI: 20**4, IF: 4.175)
Libo Zhao, Yunyun Luo, Xiangxiang Huang, Xiangyang Zhou*, Rahman·hebibul, Jianjun Ding, Zhikang Li, Zhuangde Jiang. A Novel Micro Sensor for Measuring Thermal Conductivity of Fluid Based on three omega Method [J]. Review of Scientific Instruments, 90(1): 015002 (9pp.), 2019.1. (WOS: 048, SCI: HJ7XX, EI: 20**3, IF: 1.587)
Libo Zhao, Linya Huang, Yingjie Hu, Weile Jiang, Dejiang Lu, Zhikang Li, Xiangyang Zhou* and Jiuhong Wang. Temperature compensation in fluid density measurement using micro-electromechanical resonant sensor [J]. Review of Scientific Instruments, 89(12): 125001(8pp.), 2018.12. (WOS: 055, SCI: HG0KC, EI: 20**4, IF: 1.428)
Lu Wang, Dejiang Lu, Zhuangde Jiang, Chen Jia, Yumeng Wu, Xiangyang Zhou*, Libo Zhao*, and Yulong Zhao. A Piezoelectric Cantilever with Novel Large Mass for Harvesting Energy from Low Frequency Vibrations [J]. AIP Advances, 8: 115205(9pp.), 2018. (WOS:076, SCI: HC3XX, EI: 20**7, IF: 1.65)
Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Yihe Zhao, Jie Li, Jiawang Zhang, Yulong Zhao, and Liwei Lin. A closed-form approach for the resonant frequency analysis of clamped rectangular microplates under distributed electrostatic force [J], Sensors and Actuators A, 280: 447-458, 2018.8.11. (SCI: GW6UE, EI: 20**8, IF: 2.311)
Guoxi Luo, Kwok Siong The*, Yong Xia, Zhikang Li, Yunyun Luo, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang. Construction of NiCo2O4@NiFe LDHs core/shell nanowires array on carbon cloth for flexible, high-performance pseudocapacitor electrodes [J], Journal of Alloys and Compounds, 767: 1126-1132, 2018.7.18. (SCI: GV7OD, EI: 20**7, IF: 3.779）
Libo Zhao*, Yong Xia, Rahman·hebibul, Jiuhong Wang, Xiangyang Zhou*, Yingjie Hu, Zhikang Li, Guoxi Luo, Yulong Zhao and Zhuangde Jiang. Evaluation of width and width uniformity of near-field electrospinning printed micro and sub-micrometer lines based on optical image processing [J], Journal of Micromechanics and Microengineering, 28(3): 035010(11pp.), 2018.2.2. (SCI: FU7MH, EI: 20**7, IF: 1.794)
Libo Zhao∗, Yingjie Hu, Rahman Hebibul, Yong Xia, Linya Huang, Yulong Zhao, Zhuangde Jiang. Density measurement sensitivity of micro-cantilevers influenced by shape dimensions and operation modes [J], Sensors and Actuators B: Chemical, 245: 574-582, 2017.2.1. (SCI: ER4HW, EI: 20**0, IF: 5.401)
Libo Zhao*, Jie Li, Zhikang Li, Jiawang Zhang, Yihe Zhao, Jiuhong Wang, Yong Xia, Ping Li, Yulong Zhao, Zhuangde Jiang. Fabrication of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers with Low-Temperature Direct Wafer-Bonding Technology [J], Sensors and Actuators A: Physical, 264: 63-75, 2017.9.1. (SCI: FI2NF, EI: 20**0, IF: 2.499)
Tingzhong Xu, Dejiang Lu, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Hongyan Wang*, Xin Guo, Zhikang Li, Xiangyang Zhou and Yulong Zhao. Application and Optimization of Stiffness Abruption Structures for Pressure Sensors with High Sensitivity and Anti-Overload Ability [J], Sensors, 17(9): 1965 (25pp.), 2017.8.26. (SCI: FH8WD, EI: 20**2, IF: 2.677)
Dezhi Wu, Yu Sun, Kwok Siong Teh, Yuchao Zhu, Yihui Luo, Lei Deng, Libo Zhao, Guoxi Luo, Yang Zhao, Lingyun Wang and Daoheng Sun. Investigation of electrohydrodynamic behaviors from open planar solution under rod-induced electrospinning [J], Journal of Physics D: Applied Physics, 50: 455602(10pp), 2017.10.23.
Tingzhong Xu, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Yu Xu, Yulong Zhao. Modeling and analysis of a novel combined peninsula–island structure diaphragm for ultra-low pressure sensing with high sensitivity [J], Journal of Physics D: Applied Physics, 49(7): 075110 (26pp), 2016.1. (SCI: DC7MG, EI: 20**0, IF: 2.588)
Yu Xu, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Jianjun Ding, Niancai Peng and Yulong Zhao. A Novel Piezoresistive Accelerometer with SPBs to Improve the Tradeoff between the Sensitivity and the Resonant Frequency [J], Sensors, 16(2): 210 (15pp), 2016.2.6. (SCI: DG0WX, EI: 20**4, IF: 2.677)
Yue Chuang, Yu Yingjian, Wu Zhenguo, Sun Shibo, He Xu, Li JunTao, Zhao Libo, Wu Suntao, Li Jing*, Kang Junyong, Lin Liwei. High stability induced by the TiN/Ti interlayer in 3D Si/Ge nanorod arrays as anode in Micro Lithium Ion Battery [J], ACS Applied Materials & Interfaces, 8(12):7806-7810, 2016.3.8. (SCI: DI5DQ, EI: 20**3, IF: 7.145)
Tingzhong Xu, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Xin Guo, Jianjun Ding, Wei Xiang, Yulong Zhao. A high sensitive pressure sensor with the novel bossed diaphragm combined with peninsula-island structure [J], Sensors and Actuators A: Physical, 244: 66-76, 15 June 2016. (SCI: DN8JC, EI: 20**4, IF: 2.499)
Yu Xu, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Jianjun Ding, Tingzhong Xu, Yulong Zhao. Analysis and design of a novel piezoresistive accelerometer with axially stressed self-supporting sensing beams [J], Sensors and Actuators A: Physical, 247: 1-11, 15 August 2016. (SCI: DW7JX, EI: 20**4, IF: 2.499)
Libo Zhao*, Yingjie Hu, Tongdong Wang, Jianjun Ding, Xixiang Liu, Yulong Zhao, Zhuangde Jiang. A MEMS Resonant Sensor to Measure Fluid Density and Viscosity under Flexural and Torsional Vibrating Modes [J], Sensors, 16(6): 830 (15pp.), 2016.6.6. (SCI: DP8OC, EI: 20**2, IF: 2.677)
Libo Zhao*, Yingjie Hu, Rahman Hebibul, Jianjun Ding, Tongdong Wang, Tingzhong Xu, Xixiang Liu, Yulong Zhao and Zhuangde Jiang. A Novel Slope Method for Measurement of Fluid Density with a Micro-cantilever under Flexural and Torsional Vibrations [J], Sensors, 16(9): 1471 (13pp.), 2016.9.11. (SCI: DZ0KN, EI: 20**2, IF: 2.677)
Libo Zhao*, Tingzhong Xu, Rahman.hebibul, Zhuangde Jiang, Jianjun Ding, Niancai Peng, Xin Guo, Yu Xu, Hongyan Wang, Yulong Zhao. A bossed diaphragm piezoresistive pressure sensor with peninsula-island structure for ultra-low-pressure range with high sensitivity [J], Measurement Science and Technology, 27(12): 124012 (21pp), 2016.10.25. (SCI: DN8JC, EI: 20**4, IF: 1.585)
Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Zhiying Ye, Lu Dai and Yulong Zhao. Mechanical behavior analysis on electrostatically actuated rectangular microplates [J], Journal of Micromechanics and Microengineering, 25(3): 035007(12pp.), 2015.2. (SCI: CC3PQ, EI: 20**4, IF: 1.725)
Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Zhiying Ye, and Yulong Zhao. An improved method for the mechanical behavior analysis of electrostatically actuated microplates under uniform hydrostatic pressure [J], IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, 24(2): 474-485, April 2015. (SCI: CF1BI, EI: 20**3, IF: 1.915)
Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Sina Akhbari, Jianjun Ding, Yihe Zhao, Yulong Zhao, and Liwei Lin. Capacitive micromachined ultrasonic transducer for ultra-low pressure measurement: Theoretical study [J], AIP Advances, 5(12): 127231 (10pp), 2015.12.24. (SCI: DA1ZY, EI: 20**2, IF: 1.590)
Yuan Zhong, Chuang Yue, Binbin Chen, Shibo Sun, Mingsen Zheng, Libo Zhao, Suntao Wu, Jing Li*, Junyong Kanga and Liwei Lin. Synthetic preparation of novel 3D Si/TiO2–Ti2O3 composite nanorod arrays as anodes in lithium ion batteries [J], RSC Advances, 5(47): 37399-37404, 2015.4. （SCI: CG9QT, EI: 20**9, IF: 3.289）
Libo Zhao, Longqi Xu, Guiming Zhang, Zhuangde Jiang, Yulong Zhao, Jiuhong Wang, Xiaopo Wang, and Zhigang Liu. In-Situ Measurement of Fluid Density Rapidly Using a Vibrating Piezoresistive Microcantilever Sensor Without Resonance Occurring [J], IEEE Sensors Journal, 14(3): 645-650, 2014.（SCI源刊, EI: 20**6, IF: 1.52）
Guiming Zhang, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Longqi Xu, Yulong Zhao, Jiuhong Wang, Xiaopo Wang and Zhigang Liu. DC current measurement utilizing a reasonant magnetically actuated piezoresistive microcantilever [J], Measurement Science and Technology, 24(12): 125102(6pp), 2013.（SCI: 260LZ, EI: 20**3, IF: 1.435）
Libo Zhao, Xin Guo, Xiawei Meng, Rahman Hebibul, Yulong Zhao, Jianzhu Wang and Zhuangde Jiang. An ultra-high pressure sensor with cylinder structure [J], Journal of Mechanical Science and Technology, 27(8): 2383-2389, 2013.（SCI: 219YS, EI: 20**5, IF: 0.616）
Guiming Zhang, Libo Zhao*, Longqi Xu, Zhuangde Jiang, Yulong Zhao, Xiaopo Wang, and Zhigang Liu. Active Frequency Tuning for Magnetically Actuated and Piezoresistively Sensed MEMS Resonators [J], IEEE Electron Device Letters, 34(7): 921-923, 2013.（SCI: 208NL, EI: 20**9, IF:2.789）
Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhiying Ye, Hongyan Wang, Yulong Zhao and Zhuangde Jiang. Resonant frequency analysis on an electrostatically actuated microplate under uniform hydrostatic pressure [J], J. Phys. D: Appl. Phys. 46(19): 195108 (7pp), 2013.（SCI: 133OC, EI: 20**6 , IF: 2.528）
Li-bo ZHAO, Long-qi XU, Gui-ming ZHANG, Yu-long ZHAO, Xiao-po WANG, Zhi-gang LIU, Zhuang-de JIANG. A trapezoidal cantilever density sensor based on MEMS technology [J], Journal of Zhejiang University-SCIENCE C (Computers & Electronics), 14(4):274-278, 2013.（SCI: 123DN, EI: 20**6, IF: 0.297）
Guiming Zhang, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Shuming Yang, Yulong Zhao, Enze Huang, Rahman·Hebibul, Xiaopo Wang and Zhigang Liu. Surface stress-induced deflection of a microcantilever with various widths and overall microcantilever sensitivity enhancement via geometry modification [J], Journal of Physics D: Applied Physics, 44(42): 425402(11pp), 2011.（SCI: 842IF, EI: 201**, IF: 2.528）
Libo Zhao, Yulong Zhao, Yuanhao Liu, Jianbo Li, Jianqiang Liang, and Zhuangde Jiang. Development of a Piezoresistive Force Transmitter for Gauging Yarn's Linear Density in High-Speed Textile Machinery [J], IEEE Sensors Journal, 11(10): 2279-2285, 2011.（SCI: 807RM, EI: 201**, IF: 1.52

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科研团队 - 赵 立波研究队伍

！课题组合影（2014年6月24日拍摄）！
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张桂铭，2009级，硕博连读，博士研究生，方向：MEMS谐振式传感器。
！2014年6月博士毕业，工作单位：中国电子科技集团公司第二十九研究所！
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郭鑫，2009级，2012年转博，博士研究生，方向：MEMS超高压力传感器
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李支康，2010级，硕博连读，博士研究生，方向：CMUTs传感器
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许煜，2011级，博士研究生，方向：MEMS加速度计
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黄恩泽，2009级，硕士研究生，方向：MEMS密度传感器
！2012年6月硕士毕业，工作单位：上海大众！
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徐龙起，2011级，硕士研究生，方向：MEMS谐振式密度传感器
！2014年6月硕士毕业，工作单位：天津直升机研发中心！
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叶志英，2012级，硕士研究生，方向：CMUTs生化传感器
！2015年6月硕士毕业，工作单位：盾安传感科技有限公司！
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乔智霞，2012级，硕士研究生，方向：MEMS磨削力传感器
！2015年6月硕士毕业，工作单位：中国航天科技集团六院第十一所！
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陈闯，2012级，硕士研究生，方向：MEMS热扩散率传感器
！2015年6月硕士毕业，工作单位：北京精雕科技集团有限公司！
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徐廷中，2013级，硕士研究生，方向：MEMS微压传感器
！2015年9月转博，方向：MEMS超声传感器！
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李萍，2014级，博士研究生，方向：CMUT黏密度传感器
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教学与招生 - 赵 立波讲授课程
本科生教学
1）《传感器技术》
2）《精密加工技术》

3）《机械精度设计基础》
4）《几何量公差与检测》


研究生教学
1）《误差理论与数据处理》




招生信息
欢迎有志青年报考研究生！

博士研究生方向：
1）机械工程（080200-01），研究方向：微纳机械电子系统（MNEMS)与微纳制造技术
2）机械工程（080200-02），研究方向：精密超精密加工及光电测试技术与装备
3）机械工程（080200-03），研究方向：微纳传感器设计与制造
4）仪器科学与技术（080400-01），研究方向：微纳机械电子系统与微纳米测试技术
5）仪器科学与技术（080400-02），研究方向：精密测试仪器与先进传感技术
6）仪器科学与技术（080400-07），研究方向：微流体与纳米生物工程技术
硕士研究生方向：
1）机械制造及其自动化（**、12），研究方向：微型机械电子系统（MEMS)与微米纳米技术、微纳米检测技术
2）测试计量技术及仪器（**），研究方向：微型机械电子系统(MEMS)
3）测试计量技术及仪器（**），研究方向：传感器技术、智能仪器与生物测试技术

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学术交流 - 赵 立波学术交流

2012年8月，参加IEEE NANO 2012国际学术会议

2012年5月，访问新南威尔士大学

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English C.V. - 赵 立波Basic Information
Personal Information:
Date of Birth: 2 July 1978
Gender: Male
Nationality: Chinese
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Education:
PhD in Instrument Science and Technology, 2003-2007, Xi’an Jiaotong University (XJTU).Dissertation: Key Techniques Research on the High-temperature & High-frequency Pressure Sensors
Master in Test and Measurement Technology and Instruments, 2000-2003, XJTU. Thesis: Research of the High-Temperature Pressure Sensor with the Round Flat Diaphragm Structure
Bachelor in Mechanical Engineering and Automation, 1996-2000, XJTU. Topic:Packaging technology of the MEMS pressure sensor
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Employment:
Professor in XJTU, January 2017 - present
Associate professor in XJTU, January 2011 - December 2016
Postdoctoral research in Tsinghua University, June 2009 - June 2011
Lecturer in XJTU, July 2007 - December 2010
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Honor and Membership:
In 2011, elected to “the New Century Excellent Talents Support Program” of the Ministry of education, China government
In 2012, elected to “the Youth New Star of Technology in Shaanxi Province”
In 2013, awarded as “the 3rd Xi'an Youth Science and Technology Talent Award”
In 2006, as the third prize-winning people, authorized by National Award for Technological Invention 2nd Prize
Director of Sensors branch of China Instrument and Control Society
Director and vice Secretary-general of Shaanxi Mechanical Engineering Society
Senior member of Chinese Society of Micro-Nano Technology (CSMNT)
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Research Interests:
MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) Sensor technology, such as pressure sensor, acceleration sensor, viscosity & density sensor, biosensor
Precision machining and measuring technology
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Research experience:
Leading two items of the National Nature Science Foundation of China, such as “MEMS high temperature piezoresistive pressure sensor with GPa range” and “Research on measuring principle and key technologies of a novel viscosity & density sensor based on shear horizontal surface acoustic wave”.
Leading one item of 13th Fok Ying Tung Education Foundation, that is “biologicfiltrating and testing technology of trace contamination”.
Mainly participating in three key items of National Natural Science Foundation of China, such as “testing & measuring technology and theory of MEMS”, “the traceability and metrology for nano-manufacturing”.
Mainly participating in several key item of the Hi-Tech Research and Development Program of China (863 Program), such as “practical development of high temperature micro pressure sensor”, “research on manufacturing technology and its application of MEMS pressure sensor”, “MEMS multi-sensor and array sensor”.
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Publications:
Libo Zhao, Longqi Xu, Guiming Zhang, Zhuangde Jiang, Yulong Zhao, Jiuhong Wang, Xiaopo Wang, and Zhigang Liu. In-Situ Measurement of Fluid Density Rapidly Using a Vibrating Piezoresistive Microcantilever Sensor Without Resonance Occurring [J], IEEE Sensors Journal, 14(3): 645-650, 2014.
Libo Zhao, Longqi Xu, Guiming Zhang, Zhuangde Jiang, Yulong Zhao, Jiuhong Wang, Xiaopo Wang, and Zhigang Liu. In-Situ Measurement of Fluid Density Rapidly Using a Vibrating Piezoresistive Microcantilever Sensor Without Resonance Occurring [J], IEEE Sensors Journal, 14(3): 645-650, 2014.
Guiming Zhang, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Longqi Xu, Yulong Zhao, Jiuhong Wang, Xiaopo Wang and Zhigang Liu. DC current measurement utilizing a reasonant magnetically actuated piezoresistive microcantilever [J], Measurement Science and Technology, 24(12): 125102(6pp), 2013.
Libo Zhao, Xin Guo, Xiawei Meng, Rahman Hebibul, Yulong Zhao, Jianzhu Wang and Zhuangde Jiang. An ultra-high pressure sensor with cylinder structure [J], Journal of Mechanical Science and Technology, 27(8): 2383-2389, 2013.
Guiming Zhang, Libo Zhao*, Longqi Xu, Zhuangde Jiang, Yulong Zhao, Xiaopo Wang, and Zhigang Liu. Active Frequency Tuning for Magnetically Actuated and Piezoresistively Sensed MEMS Resonators [J], IEEE Electron Device Letters, 34(7): 921-923, 2013.
Zhikang Li, Libo Zhao*, Zhiying Ye, Hongyan Wang, Yulong Zhao and Zhuangde Jiang. Resonant frequency analysis on an electrostatically actuated microplate under uniform hydrostatic pressure [J], J. Phys. D: Appl. Phys. 46(19): 195108 (7pp), 2013.
Li-bo ZHAO, Long-qi XU, Gui-ming ZHANG, Yu-long ZHAO, Xiao-po WANG, Zhi-gang LIU, Zhuang-de JIANG. A trapezoidal cantilever density sensor based on MEMS technology [J], Journal of Zhejiang University-SCIENCE C (Computers & Electronics), 14(4):274-278, 2013.
Guiming Zhang, Libo Zhao*, Zhuangde Jiang, Shuming Yang, Yulong Zhao, Enze Huang, Rahman·Hebibul, Xiaopo Wang and Zhigang Liu. Surface stress-induced deflection of a microcantilever with various widths and overall microcantilever sensitivity enhancement via geometry modification [J], Journal of Physics D: Applied Physics, 44(42): 425402(11pp), 2011.
Libo Zhao, Yulong Zhao, Yuanhao Liu, Jianbo Li, Jianqiang Liang, and Zhuangde Jiang. Development of a Piezoresistive Force Transmitter for Gauging Yarn's Linear Density in High-Speed Textile Machinery [J], IEEE Sensors Journal, 11(10): 2279-2285, 2011.
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Invention Patents:
Libo Zhao, Guiming Zhang, Zhuangde Jiang, et al. A fast online measurement of fluid density with piezoresistive micro-cantilever beam, 2014.1.29, Chinese invention patent, ZL 9.7
Libo Zhao, Zhikang Li, Zhuangde Jiang, et al. A CMUT for the trace amount detection of biochemical substances and its preparation method, 2014.1.27, Chinese invention patent, ZL 7.7
Libo Zhao, Zhikang Li, Zhuangde Jiang, et al. A capacitive micromachined ultrasonic transducers, its preparation and application methods, 2013.12.31, Chinese invention patent, ZL 6.4
Libo Zhao, Longqi Xu, Enze Huang, et al. A compositive MEMS density sensor, 2013.11.6, Chinese invention patent, ZL 7.5
Libo Zhao, Xin Guo, Xiawei Meng, et al. A hybrid MEMS pressure sensor for high temperature and ultra-high pressure, 2012.7.4, Chinese invention patent, No. ZL 8.6
Libo Zhao, Xin Guo, Yulong Zhao, et al. A cylinder type MEMS pressure sensor for high temperature and ultra-high pressure, 2012.6.13, Chinese invention patent, No. ZL 8.2
Libo Zhao, Enze Huang, Zhuangde Jiang, et al. Density sensor based on MEMS technology and its preparation method, 2011.11.16, Chinese invention patent, No. ZL 1.8
Libo Zhao, Guiming Zhang, Zhuangde Jiang, et al. Viscosity sensor based on MEMS technology and its preparation method, 2011.8.31, Chinese invention patent, No. ZL 8.6