相册


基本信息 The basic information
姓名: 马志波

学院: 机电学院


学历: 博士研究生毕业

学位: 工学博士


职称: 研究员（自然科学）

职务:


学科: 机械工程-微机电系统及纳米技术


邮箱: zbma@nwpu.edu.cn

电话:




科学研究 Scientific Research


马志波，男，工学博士，博士生导师，空天微纳系统教育部重点实验室副主任。主要从事微/纳制造工艺，微光学和高温传感器等器件制造技术研究。主持基础计划加强重点基础研究项目课题、国家自然科学基金重大研发计划、国家自然科学基金面上项目、国防973专题、装备发展部预研基金、航空科学基金、西北工业大学基础研究基金等科研项目几十项，获2019年国家技术发明二等奖1项（排名第3），机械工程学会技术发明一等奖1项，教育部技术发明二等奖1项，国防科学技术发明二等奖1项，第一作者发表论文20余篇，SCI收录10余篇，获得授权发明专利12项。



近5年主持的国家级项目：

[1] 面向发动机噪声原位测试的光纤MEMS传感及其高温自补偿方法研究，国家自然基金重大研究计划，2021.1.1-2023.12.31, 65万，负责人。
[2] 蓝宝石基***技术，基础计划加强重点基础研究项目，2019.12.10-2022.12.31，1800万/550万，课题二负责人。
[3] 耐高温**加工技术，装备预研共用技术项目，2016.12~2020.12，221万，负责人。
[4] 高温下应变解析方法研究，国家安全重大基础研究计划，2016.1~2018.12，270万，专题二负责人。
[5] 超高深宽比仿生纳米纤毛阵列研究（**），国家自然科学基金面上项目，2015.1~2018.12，85万，负责人。



学术成果 Academic Achievements

代表性研究论文包括：
[1] MA Zhibo, CHANG Sen, SONG Xuemei, LI Min, WANG Kunjun, LI Yongguo, XU Xinming, ZHANG Qiqi, WANG Lei, YU Rong, LUAN Xin gang, CHENG Laifei. Effect of E-44 Epoxy Resin and Pyrolysis Temperature on the Adhesion Strength of SiBCN Ceramic. Journal of Wuhan University of Technology-Mater. Sci. Ed., 2020, 35(1), 81-86.（012）
[2] Zhibo Ma , Tongxin Guo, Shaolei Cheng, Zechen Song, Jiayan Wang and Weizheng Yuan. Fabrication of ultrahigh-aspect-ratio and periodic silicon nanopillar arrays using dislocation lithography and deep reactive-ion etching. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2019, 29(10): 105011.
[3] Zhibo Ma, Tongxin Guo, Tianyang Zhang, Wei Wang, Haibin Chen, Xiongxing Zhang, and Weizheng Yuan. Compact Powell Lens-Based Low-Coherence Correlation Interrogation System for Fiber-Optic Fabry-Perot Sensors.IEEE Photonics Journal, 2019, 11(4).
[4] Zhibo Ma, Zechen Song, Xirui Huang, Tongxin Guo, Weizheng Yuan, Haibin Chen, Tianyang Zhang and Wei Wang. A Zero-Cross Detection Algorithm for Cavity-Length Interrogation of Fiber-Optic Fabry–Perot Sensors. Sensors, 2019, 19, 3868.
[5] Zhibo Ma, Shaolei Cheng, Wanying Kou, Haibin Chen, Wei Wang, Xiongxing Zhang and Tongxin Guo. Sensitivity-Enhanced Extrinsic Fabry-Perot Interferometric Fiber-Optic Microcavity Strain Sensor, Sensors, 2019, 19, 4097.
授权发明专利包括：
[1] 马志波，姜澄宇，苑伟政，一种高深宽比微纳复合结构制造方法，ZL.7.5
[2] 马志波，姜澄宇，苑伟政，高占空比自支撑纳米透射光栅及其制作方法，ZL.9.3
[3] 苑伟政，马志波，乔大勇，任森，吕湘连，一种高悬浮空间MEMS可动器件的制作方法，ZL. 6.3
[4] 苑伟政，乔大勇，马志波，吕湘连，微型纵向驱动器，ZL.6.9
[5] 苑伟政，乔大勇，虞益挺，马志波，一种微型平板静电驱动器及其制作方法，ZL.2.0



荣誉获奖 Awards Information

获得机械工程学会技术发明一等奖一项，国防科学技术二等奖1项：
[1] 航空航天特种MEMS制造技术及其应用，国家技术发明二等奖，2019年
[2] 特种MEMS制造技术及其应用，教育部技术发明二等奖，2015年
[3] 柔性微纳结构制造技术及其应用，中国机械工业科学技术发明一等奖，2014年，排名第五。

[4] 聚合物基柔性微结构***, 国防科学技术发明二等奖，2012年，排名第五。





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