相册


基本信息 The basic information
姓名: 郝永存

学院: 机电学院


学历: 博士研究生毕业

学位: 工学博士


职称: 助理研究员（自然科学）

职务:


学科: 机械工程-微机电系统及纳米技术


邮箱: haoyongcun@nwpu.edu.cn




工作经历 Work Experience
2018/04-至今，西北工业大学，微系统工程系，助理研究员



教育经历 Education Experience
2010/09-2017/12，西北工业大学，机械制造及其自动化，硕博
2006/09-2010/06，西北工业大学，机械设计制造及其自动化，学士



教育教学 Education And Teaching
2019/10 受聘为 西北工业大学 机械工程学科 硕士生导师

2019/09 受聘为 西北工业大学 机械类（智能制造） DL041911班 班主任



招生信息 Admission Information
欢迎微机电系统工程、机械电子工程、机械设计制造及其自动化等机械类，电气工程及其自动化、电子科学与技术等电气类同学报考，期待与大家一起探索微纳机电世界！

招生专业：
1、微机电系统及纳米技术（学术硕士）

2、机械--报考时标注微机电工程方向（工程硕士）
3、电子信息--报考时标注智能微系统工程方向（工程硕士）



荣誉获奖 Awards Information
2021年获 陕西高等学校科学技术奖 一等奖 “仿秦岭箭竹叶微纳复合结构疏冰机理研究”
2017年获 陕西省科学技术奖 一等奖 “高精度硅微机械陀螺及其工程化技术”
2016年获 陕西省国防科学进步奖励 一等奖



科学研究 Scientific Research
从事微机电系统（MEMS）器件设计及制造等研究工作，主要研究内容包括：微传感器结构设计、微纳加工技术等。
课题组经费充足，主持课题6项，参与课题8项。
主持项目：
6、2020/11-2024/11, JKW173计划重点项目，电场传感机理与应用（课题），630万元，在研
5、2020/09-2021/09, 中国工程物理研究院课题，石英加速度表耦合误差建模及多物理场仿真，16.5万元，在研
4、2020/06-2021/12, 宁波市自然科学基金，MEMS振动计屈曲降频技术研究，4万元，在研
3、2019/01-2021/12，国家自然科学基金青年项目，基于材料热失配的MEMS准零刚度低频振动传感器研究，28.3万，在研
2、2019/01-2023/12，“3-10”重大科技计划资助项目，面向火星探测的微器件研究与开发，250万，在研
1、2019/01-2020/12，陕西省自然科学基金，基于材料热失配的MEMS负刚度技术研究，3万元，结题


参与项目：
8、2021/01-2022/05, 中国工程物理研究院项目，弱耦合谐振器超高灵敏度惯性检测机理研究
7、2021/01-2024/12，国家自然科学基金面上项目，片上谐振式声光波动陀螺高精度敏感机理及实现方法研究
6、2020/12-2023/03，GF应用推进项目，微纳芯片技术
5、2020/01-2021/12，陕西省创新能力支撑计划，极端环境微纳传感芯片智能控制技术

4、2020/01-2021/12，陕西省自然科学基金，大功率高通量声表面波微流控原型装置及外泌体分离原理研究
3、2019/01-2020/12，陕西省重点研发计划，具有环境共模噪声自抑制能力的高精度谐振式加速度传感器
2、2019/01-2020/12，陕西省自然科学基金，硅微机械角速率传感器片上旋转调制高精度实现的应用基础研究
1、2018/12-2019/10，国防科技创新特区H863计划，高精度加速度计



学术成果 Academic Achievements
发表论文20余篇，书籍章节1篇，授权国家发明专利4项

期刊论文（*共同通讯作者）
19. Dong zaizai, Yan Shi,LiuBing,HaoYongcunet.al. "Single Living Cell Analysis Nanoplatform for High-Throughput Interrogation of Gene Mutation and Cellular Behavior."Nano Letters(2021).
18.HaoYongcun,Liang Jiaju,KangHao,YuanWeizheng andChang Honglong. A Micromechanical Mode-localized Voltmeter.IEEE Sens. J.2020, 21, 4325-4332.
17.Kang, H.; Ruan, B.;Hao, Y.; Chang, H. Mode-localized accelerometer with ultrahigh sensitivity.Sci. CHINA Inf. Sci.2020.（已录用）
16.Kang, H.; Ruan, B.;Hao, Y.*; Chang, H*. A Mode-Localized Resonant Accelerometer With Self-Temperature Drift Suppression.IEEE Sens. J.2020,20, 12154–12165.
15.Dong, Z.; Jiao, Y.; Xie, B.;Hao, Y.; et al. On-chip multiplexed single-cell patterning and controllable intracellular delivery.Microsystems \& Nanoeng.2020,6, 1–11.
14.Li, E.; Shen, Q.;Hao, Y.; Chang, H. A Virtual Accelerometer Array Using One Device Based on Time Domain Measurement.IEEE Sens. J.2019,19, 6067–6075.
13.Xie, J.;Hao, Y.; Yuan, W. Energy Loss in a MEMS Disk Resonator Gyroscope.Micromachines2019,10, 493.
12.Kang, H.; Ruan, B.;Hao, Y.; Chang, H. A Micromachined Electrometer With Room Temperature Resolution of 0.256 e/√Hz.IEEE Sens. J.2019,20, 95–101.
2018年以前--------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
11.Hao, Y.; Xie, J.; Yuan, W.; Chang, H. Dicing-free SOI process based on wet release technology.Micro \& Nano Lett.2016,11, 775–778.
10.Hao, Y.; Yuan, W.; Xie, J.; Shen, Q.; Chang, H. Design and verification of a structure for isolating packaging stress in SOI MEMS devices.IEEE Sens. J.2016,17, 1246–1254.
09.Yuan, G.; Yuan, W.;Hao, Y.; Li, X.; Chang, H. A Microgripper with a Post-Assembly Self-Locking Mechanism (vol 15, pg 20140, 2015).SENSORS2016,16.
08.Zhang, H.; Yuan, W.;Hao, Y.; Chang, H. Influences of the feedthrough capacitance on the frequency synchronization of the weakly coupled resonators.IEEE Sens. J.2015,15, 6081–6088.
07.Shen, Q.; Li,H.; Hao, Y.; Yuan, W.; Chang, H. Bias contribution modeling for a symmetrical micromachined Coriolis vibratory gyroscope.IEEE Sens. J.2015,16, 723–733.
06.Hao, Y.; Yuan, W.; Zhang, H.; Kang, H.; Chang, H. A rotary microgripper with locking function via a ratchet mechanism.J. Micromechanics Microengineering2015,26, 15008.
05.Yuan, G.; Yuan, W.;Hao, Y.; Li, X.; Chang, H. A microgripper with a post-assembly self-locking mechanism.Sensors2015,15, 20140–20151.
04. Xie, J.; Shen, Q.;Hao, Y.; Chang, H.; Yuan, W. Design, fabrication and characterization of a low-noise Z-axis micromachined gyroscope.Microsyst. Technol.2015,21, 625–630.
03.He, Y.; Jiang, C.; Wang, S.;Hao, Y.; Xie, J.; Cao, X.; Tian, W.; Yuan, W. Ice shear fracture on nanowires with different wetting states.ACS Appl. Mater. \& interfaces2014,6, 18063–18071.
02.Xie, J.;Hao, Y.; Shen, Q.; Chang, H.; Yuan, W. A dicing-free SOI process for MEMS devices based on the lag effect.J. Micromechanics Microengineering2013,23, 125033.
01.Xie, J.B.;Hao, Y.C.; Chang, H.L.; Yuan, W.Z. Single mask selective release process for complex SOI MEMS device. In Proceedings of the Key Engineering Materials; 2013; Vol. 562, pp. 1116–1121.
会议论文
11. Ruan, B., Hao, Y., Kang, H., Shen, Q., & Chang, H. "A Mode-localized Tilt Sensor with Resolution of 2.4 e-5 Degrees within the Range of 50 Degrees." In2020 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL),2020, pp. 1-4.
10. Li, W., Ye, F., Ruan, B., Hao, Y., Chang, H. "A Mode-Localized Magnetometer with Resolution of 6.9 NT/sqrtHz within the Range of 100 mT. In2020 IEEE 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020,pp. 190-193.
09. Z. Yan,Y. Hao, W. Li, Z. Zhang, and H. Chang, “A Mode-Localized Lorentz Force Magnetometer with 1.6 μT/√Hz Resolution,” in2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems \& Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS \& EUROSENSORS XXXIII), 2019, pp. 1815–1818.
08. J. Liang,Y. Hao, H. Kang, B. Ruan, and H. Chang, “A mode-localized voltmeter with resolution of 46.8 nanovolts,” in2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems \& Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS \& EUROSENSORS XXXIII), 2019, pp. 226–229.
07. Z. Yan, J. Liang,Y. Hao, and H. Chang, “A Micro Resonant DC Electric Field Sensor Based on Mode Localization Phenomenon,” in2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2019, pp. 849–852.
2018年以前--------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
06. E. Li, Q. Shen,Y. Hao, W. Xun, and H. Chang, “A novel virtual accelerometer array using one single device based on time intervals measurement,” in2018 IEEE SENSORS, 2018, pp. 1–4.
05.Y. Hao,W. Yuan, J. Xie, and H. Chang, “A novel packaging stress isolation structure for SOI based MEMS gyroscopes,” in2016 IEEE SENSORS, 2016, pp. 1–3.
04. H. M. Zhang, W. Z. Yuan, B. Y. Li,Y. C. Hao, M. Kraft, and H. L. Chang, “A novel resonant accelerometer based on mode localization of weakly coupled resonators,” in2015 Transducers-2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015, pp. 1073–1076.
03.Y. C. Hao, W. Z. Yuan, H. M. Zhang, and H. L. Chang, “A microgripper with a ratchet self-locking mechanism,” in2015 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2015, pp. 1106–1109.
02. Q. Shen, W. Z. Yuan, X. P. Li,Y. C. Hao, J. B. Xie, and H. L. Chang, “A fully decoupled design method for MEMS microthruster based on orthogonal analysis,” in2013 Transducers \& Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS \& EUROSENSORS XXVII), 2013, pp. 2353–2356.
01. H. Chang, H. Zhao, J. Xie,Y. Hao, F. Zhang, and W. Yuan, “Design and fabrication of a rotary comb-actuated microgripper with high driving efficiency,” in2012 IEEE 25th international conference on micro electro mechanical systems (MEMS), 2012, pp. 1145–1148.
书籍章节
01.H. Chang andY. Hao, “A Rotary Microgripper,” inMicro Electro Mechanical Systems, Q.-A. Huang, Ed. Singapore: Springer Singapore, 2018, pp. 997–1015.
发明专利
06. 郝永存，常洪龙，苑伟政，一种MEMS器件的刚度调节方法，2020.04.22，中国，CNA（发明公布）
05. 郝永存，张钊，苑伟政，常洪龙，一种MEMS线性静电驱动技术，2019.12.06，中国，CNA（发明公布）
04. 常凌乾，郝永存，常洪龙，一种向细胞递送目标分子的生物芯片及其制备方法和应用，2019.07.10，中国，ZL20**

2018年以前--------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
03. 苑伟政，郝永存，谢建兵，常洪龙，一种SOI基微惯性传感器封装应力隔离方法，2016.10.21，中国，ZL2.0
02. 苑伟政，郝永存，李小平，申强，电阻置顶型微推进器及其制备方法，2013.06.04，中国，ZL3.4
01. 谢建兵，郝永存，常洪龙，申强，苑伟政，微型半球谐振陀螺及其制备方法，2013.1.21，中国，ZL6.1



团队信息 Team Information
2021/03 集体活动 探索隐居圣地秦岭终南山（小峪-终南山 环形穿越），山上多雪，路程较远，未能登顶。
2020/09 首次集体活动 走进秦岭烧烤胜地黄峪寺（净业寺-黄峪寺-子午峪 短程穿越），小伙子们体力不错。
2020/09 开张营业啦！欢迎王成刚、孙郑两位同学加入课题组。

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在学硕士生：王成刚（20级）孙郑（20级 联合指导）




综合介绍 General Introduction
微系统工程系拥有极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）、空天微纳系统 教育部重点实验室、国防科工委先进工业技术（微系统）工程应用中心和微机电系统及纳米技术 国防重点学科，具备国内一流、国际先进的4英寸硅基/聚合物基微纳加工与封装测试科研平台，在特种MEMS传感器与致动器、典型航空航天微器件系统、MEMS集成设计等方面形成了鲜明的研究特色与技术优势，2010年至今共获得国家技术发明二等奖3项、国家教学成果一等奖1项，是我国重要的微纳系统科研及创新人才培养基地。





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