马瑾
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马瑾
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简介
马瑾，理学博士。中国电子学会高级会员，享受政府特殊津贴。连续承担国家“七、五”、“八、五”和“九、五”重点科技攻关项目；主持国家自然科学基金（七项）、教育部科学技术研究重点项目、山东省自然科学基金和教育部高等学校骨干教师资助计划等项目。取得国家级和省部级科研成果10项，获得教育部提名国家自然科学一等奖、山东省自然科学三等奖和山东省科技进步三等奖各一项，获得国家发明专利8项，发表论文130多篇。
承担科研项目
13.主持国家自然科学基金项目：“可调带隙铝-铟氧化物半导体薄膜材料的制备及性质研究”，（2013年1月—2016年12月80万，项目批准号：**）。
12.主持国家自然科学基金项目：“Beta-氧化镓单晶薄膜的外延生长及性质研究”，（2011年1月—2013年12月39万，项目批准号：**）。
11.主持国家自然科学基金项目：“单晶氧化锡外延薄膜的制备及性能研究”，（2009年1月至2011年12月，35万，项目批准号：**）。
10.主持国家自然科学基金项目： “镓铟氧化物深紫外透明半导体薄膜的制备及特性研究”，（2007年1月至2009年12月，32万，项目批准号：**）。
9.主持国家自然科学基金信息功能材料重大研究计划项目：“高质量氧化锡薄膜的制备及其发光性质的研究” ，（2005年1月至2007年12月，24万，编号：**）。
8.主持国家自然科学基金项目：“磁控溅射柔性衬底ZnO透明导” ，（1999年1月至2001年12月，12万，编号：**）。
7.主持国家自然科学基金项目：“有机材料衬底锌锡氧化物复合透明导电膜的研究” ，（2003年1月至2003年12月，7万，编号：**）。
6.承担并主持国家自然科学基金项目：“MOCVD制备的氧化锌薄膜的受激光辐射研究” ，（2001年1月至2003年12月，18万，编号：**）。
5.主持教育部科学技术研究重点项目：“有机柔性衬底氧化锌、氧化锡透明导电膜” ，（2002年1月至2004年12月，20万，编号：重点02165）。
4.主持教育部骨干教师资助计划项目：“低温磁控溅射氧化锡透明导电膜的研究” ，（2001年1月至2003年12月，12万）。
3.承担国家“九五”重点科技攻关项目；“新型超大规模集成电路清洗技术研究”（1998至2000年，270万，第二项目负责人，97-778-01-01，）
2.承担“八五”国家重点科技攻关项目“大屏幕彩色液晶投影显示器ITO玻璃衬底和高密度引线技术”，(国家计委， 排名第2位)。
1.承担“七五”国家重点科技攻关项目“大面积透明导电薄膜技术与设备的研究”。