11月22日下午，应电子电气工程学院和科研处的邀请，上海应用技术大学李以贵教授来校交流，作了题为“微光机电系统（MEMS）关键技术研究”的学术报告，并指导国家自然科学基金申报。电子电气工程学院院长方志军、副院长李媛媛、史志才、刘瑾，相关专业教师及研究生参加，会议由李媛媛副院长主持。

李教授从去加工（腐蚀）、附着加工（镀膜）、改质加工（掺杂）和结合加工（键合）四方面阐述了MEMS制造技术的基本工艺，分别介绍了其团队在聚合物微机电系统（PolymerMEMS）微传感器、微驱动器、微能源采集技术（MicroPowerGenerator）和光微机电系统（OpticalMEMS）四部分的主要研究工作。详细讲解了硅压阻传感器与声表面波驱动器、振动采能器、微光谐振器、纳米光栅、微干涉仪、微光开关等关键技术。

报告结束后，李教授与在座师生展开交流，并评阅了相关专业教师的国家自然科学基金申报书。李教授的精彩报告和细心辅导使师生们受益匪浅！

据介绍，李以贵，男，日本东北大学工学博士，教授，博士生导师。主要从事微光机电系统（MEMS），微传感器与微执行器研究与教学。先后共主持国家，省部级项目16项，如国家自然科学基金面上项目2项，上海浦江人才计划项目1项，航空基金2项，回国人员基金1项。已在国内外学术刊物上发表100余篇研究论文,其中SCI论文30余篇,EI论文70余篇。申请国家发明专利52项，其中已授权31项。1981年9月-1985年7月，哈尔滨工业大学精密仪器系，获学士学位。1988年8月-1991年3月，哈尔滨工业大学精密仪器系测试技术与仪器专业，获硕士学位。1997年10月-2001年3月，日本东北大学(Tohoku University)机械电子专业，获博士学位。2001年3月-2006年7月，任上海交通大学微纳科学技术研究院副教授，硕士生导师（其中2003年7月—2007年4月，任日本立命馆大学综合理工学机构副教授）。2006年3月-2013年7月，上海交通大学微纳科学技术研究院教授，博士生导师。2013年7月-至今，任上海应用技术大学理学院教授，博士生导师。目前担任教育部学位与研究生教育评审专家；科技部科技评估中心评审专家；国家自然科学基金评审人；中国微米纳米协会高级会员；《光学学报》，《Chinese Physics Letter》，《中国激光》，《光学精密工程》，《传感器技术》等杂志审稿人。