本门课程主要讲授微机电系统所涉及的基本理论、专业知识、关键技术，分五章讲述，具体内容如下：第一章 微型机电系统技术导论第一节 微型机电系统技术的基本概念第二节 微型机电系统技术的发展第三节 实现微型机电系统的关键技术第四节 微型机电系统的物理学概述第五节 微型机电系统的设计方法论第六节 微型机电系统的应用第二章 微型机电系统的制造技术第一节 微型机电系统的常用材料第二节 半导体微加工技术第三节 LIGA加工技术第四节 其它微细加工技术第三章 微驱动器技术第一节 微驱动器概述第二节 压电驱动技术及压电驱动器第三节 静电型驱动技术及静电驱动器第四节 形状记忆合金记忆效应及形状记忆合金驱动器第五节 电磁型驱动技术及电磁驱动器第六节 其它驱动技术及其驱动器第四章 微传感器技术第一节 微传感器的基本原理、特点及分类第二节 微传感器的材料和封装技术第三节 微传感器技术需要解决的关键问题及现代传感器技术的发展第四节 微型线位移、线速度和线加速度传感技术及传感器第五节 微型角位移、角速度和角加速度传感技术及传感器第六节 微型视觉传感器技术第七节 微型压力传感技术及传感器第八节 微型触觉传感器第九节 其它微传感器第十节 多传感器信息处理技术及系统第十一节 智能化传感器技术第五章 微型机电系统的控制技术第一节 微型机电系统控制概述第二节 微型机电系统的几种新控制算法第三节 微型机电系统及控制第四节 自律分散群微型机电系统控制

The curriculum consists of five chapters that include introduction of MEMS, manufacturing technique of MEMS (micro-electromechanical system), micro-driver technique, micro-sensor technique and control technology of MEMS. They crown the basic theories, specialized knowledge and key technologies that relate to MEMS. After thorough learning this course, the students would improve their comprehension of MEMS, enhance understanding of development, achievement and practical application in MEMS field, then establish a solid foundation of later research on MEMS subject.