中文题目: 基于改进的全内反射显微技术检测玻璃亚表面缺陷
作者: 倪开灶;刘世杰;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
表面缺陷;全内反射;显微技术;激光损伤阈值;光学元件;损伤特性;图像清晰度;数字图像处理;小波变换;缺陷深度;
中文摘要:
光学元件亚表面缺陷是限制其激光损伤阈值的主要因素之一。因此,对亚表面缺陷进行准确检测和去除是提升光学元件损伤特性的重要手段。全内反射显微技术是一种无损的,易于实现的亚表面缺陷检测技术。但是,现有的全内反射显微检测技术只能定性或半定量地表征亚表面缺陷。本文利用一种改进的全内反射显微技术检测玻璃元件亚表面缺陷。在传统的全内
文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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基于改进的全内反射显微技术检测玻璃亚表面缺陷_上海光学精密机械研究所
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