中文题目: 干涉仪测量中频波面误差的技术问题讨论
作者: 张雪洁;沈卫星;杨相会;马晓君;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
干涉仪测量;光学元件;自聚焦;激光系统;高频信息;功率谱密度;透射波;高功率激光;低通滤波;傅里叶分析;
中文摘要:
针对高功率激光驱动装置中的大口径光学元件,空间周期位于0.12~33mm的中频波面误差是光束非线性小尺度自聚焦的主要诱因,严重威胁激光系统的安全运行。基于傅里叶分析的功率谱密度(PSD)函数被用于中频波面误差的评估。然而,在利用干涉仪检测光学元件反射/透射波面时,干涉仪固有的低通滤波特性会造成波面中高频信息的丢失。如何有效地提取中频波纹信息,获得光学元件相对真实的波面误差PSD分布,是本报告的主要内容。


文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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