中文题目: 基于LIBS的光学玻璃微量杂质三维分布检测技术
作者: 张海裕;步扬;郑臻荣;徐静浩;王向朝;
来源图书: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
年: 2016 页： "1"
会议名称: 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
中文关键词:
LIBS;光学系统;微量杂质;激光诱导;光束质量;元素种类;光学器件;三维分布;元素分析;研磨抛光;
中文摘要:
高精密、高功率光学系统中的光学玻璃所含杂质会严重影响光学系统性能,如光学玻璃研磨抛光后,表面残留液会严重影响高功率光学系统光束质量,甚至导致光学器件损伤。为了保证高精密、高功率光学系统的性能,必须对光学玻璃中存在的杂质进行检测。X射线荧光仪等传统元素检测方法所能检测的元素种类有限且易受干扰。激光诱导击穿光谱技术(LIBS)作为一种新型元素分析技术,具有样品无需准


文献类型: 会议论文
正文语种: chinese
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