在柔性电子技术实现过程中,需将传统刚性衬底上的功能材料转移至柔性基底。然而,在材料转移过程中,相关材料往往会出现阵列的排列次序混乱、偏移等问题,给后续柔性电子器件的制造带来挑战。上海微系统所SOI材料课题组针对材料转移过程中问题,以Si/Ge纳米薄膜为例,提出了一种简易、可控的技术手段,即“边缘-剪切转移”技术。该技术以图形化SOI/GOI作为源材料,采用HF酸溶液对埋氧层进行腐蚀制备出悬空的Si/Ge纳米带,并通过调节腐蚀时间控制悬空纳米带的宽度;在此基础上,利用埋氧层腐蚀边界对悬空Si/Ge纳米带的固定作用来保持原有图形化时的排列次序,从而成功制备出与它排列次序完全一致的柔性Si/Ge纳米带,实现了Si/Ge纳米带在柔性基底上的确定性组装。
该工作中采用的柔性Si/Ge纳米薄膜具有出众的电学、光学、热电、光电等物理学性质和优异的机械柔性,是当今无机柔性电子技术领域中重要功能材料之一;该工作中所提出的“边缘-剪切转移”技术可以简便、可控地将柔性无机单晶纳米薄膜应用于柔性电子技术,同时有望与卷对卷(roll-to-roll)工艺结合拓展于规模生产。
该工作得到国家自然科学基金委创新研究群体、优秀青年基金、中国科学院高迁移率材料创新研究团队等相关研究计划支持。
文章链接:http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/smll.201500505/epdf
Materials Views China追踪报道链接:http://www.materialsviewschina.com/2015/05/edge-flexible-shear-transfer-technology-based-on-silicon-germanium-nanoparticles-assembled-with-certainty-and-its-van-der-waals-heterostructures/
Small封面(左)及研究论文的部分实验结果(右)
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