中国科学院上海硅酸盐研究所湖州先进材料产业创新中心碳化硅晶体项目试验线于2016年12月25日实现贯通，建成了包括“晶体生长-晶圆加工-清洗封装”在内的完整碳化硅晶体晶圆产品生产试验线。试验线贯通以来，项目部研发人员围绕碳化硅晶体产品生产的“一致性、重复性、低成本”三大基本要求开展了系统研究，重点围绕晶体生长和晶片加工技术进行了大量工作，提高了4英寸碳化硅晶体生长的产业化技术水平，加工技术达到国际领先并跑水平，晶片表面粗糙度最低达到0.1nm，并进一步提升了6英寸碳化硅晶体的制备技术。

　　上海硅酸盐所在长期开展碳化硅晶体研究的过程中同步形成了包括“碳化硅晶体生长装备、晶体生长技术、加工技术、检测表征、清洗封装”在内的碳化硅晶体产品成套生产技术。其中碳化硅晶体产品相关关键技术涉及晶锭制备技术、晶体成片加工、晶片精细加工、检测表征四大部分共计22项专有技术，具体形式包括：非专利技术成果、材料配方、制备工艺、设计图纸、模具、实验数据、研究报告、计算机程序、市场情报、文件资料、保密性教材及管理诀窍等。上述成套关键技术是上海硅酸盐研究所的长期研究成果和重要知识产权，也是今后推动碳化硅晶体产业化发展的关键技术基础。

　　上海硅酸盐所深刻认识到上述专有技术对该项目成果转化及产业化的重要性，经与项目团队的充分讨论、酝酿，为更好地保护知识产权，保障研发团队成员在后续成果转化中的合法收益权，2017年5月16日项目团队成员分别与上海硅酸盐所就专有技术秘密签署了商业秘密保密协议，进一步完善了相关的知识产权体系建设，为进一步推动碳化硅晶体产业化工作打下了坚实的基础。

　　附注：商业秘密（Business Secret），按照我国《反不正当竞争法》的规定，是指不为公众所知悉、能为权利人带来经济利益，具有实用性并经权利人采取保密措施的技术信息和经营信息。





　　签署商业秘密保密协议