张立锋工程师
电话:**
邮箱:lfzhang@fudan.edu.cn
地址:复旦大学邯郸校区微电子学楼B208室
研究所:微纳电子器件研究所
研究方向:
原子层淀积(ALD)薄膜制备
集成电路MIM电容研究
高K介质研究
教育背景:
复旦大学,微电子学与固体电子学,博士
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