导师代码： 11037
导师姓名： 朱煜
性别： 男
特称：

职称： 教授
学位：
属性： 兼职
电子邮件： zhuyu@tsinghua.edu.cn

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学术经历： 1983.7获北京师范大学无线电电子学系理学学士学位；1993.9获中国矿业大学信电学院计算机系工学硕士学位；2001.7获中国矿业大学机电工程学院工学博士学位。2007.12-今，清华大学精密仪器与机械学系教授、博士生导师。 2009.12-今 电子科技大学兼职教授。

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个人简介： 研究方向：作为国家创新团队负责人，带领清华9名教师、以及研究生与工程研究人员等组成的百余人重大科技研究攻关团队，面向IC制造装备超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备精密机电系统，围绕纳米级运动精度的生成，在清华建设有国内一流的精密机械、测控及集成平台，支撑超精密机电系统基础理论及关键技术研究。具体方向包括：特种电机设计与功率驱动；精密与超精密机电系统结构动力学设计、分析与集成；精密与超精密运动系统建模、分析与控制；多自由度运动系统精密与超精密动态测量；高性能隔震系统设计与振动检测、主动控制等。主要荣誉：2012年入选国家“****”首批科技创新领军人才，科技部“重点领域创新团队”带头人；2011年获科技部“十一五国家科技计划执行突出贡献奖”；重大专项实施管理办公室“产学研合作奖”（2011）与“突出贡献奖”（2010）主要兼职：IC装备重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长(装备组组长)；中国机械工程学会高级会员，IEEE会员，北京电子制造装备行业协会常务理事，《半导体学报》常务理事、编委，《仪器科学》编委，长期担任《机械工程学报》等国内外学术期刊审稿人；中科院光电研究院、复旦大学微电子学院等兼职教授；光刻设备产业技术创新战略联盟副理事长、专家委员会副主任，沈阳IC装备产业技术创新联盟专家委员会副主任。

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科研项目： 近5年主持国家级科研项目近20项，包括973、国家自然科学基金、国家科技重大专项、863等，累计科研经费近3.5亿元。主持撰写国家科技专项发展战略报告及专题研究报告30余份，出版学术专著2部，发表学术论文160余篇，其中SCI收录近40篇，EI收录近140篇。申请国家发明专利120余项(其中9项美国发明专利、14项PCT专利)，授权40余项(其中4项美国发明专利)。

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研究成果： 1) Badong Chen，Zhu Yu，Hu Jinchun, Jose C.Principe. System Parameter Identification Information Criteria & Algorithms，Elsevier(英文版).2013. 清华大学出版社(中文版).20142) 陈霸东，朱煜，胡金春. 《系统参数辨识的信息准则及算法》，清华大学出版社，20113) Yang, J; Zhu, Y; Yin, WS; Hu, CX; Yang, KM; Mu, HH. LFT Structured Uncertainty Modeling and Robust Loop-Shaping Controller Optimization for an Ultraprecision Positioning Stage. IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS. 2014. 61(12): 7013-7025(SCI:AP7UQ EI:20**1)4) Yu, DD; Zhu, Y; Yang, KM; Hu, CX; Li, M. A time-varying Q-filter design for iterative learning control with application to an ultra-precision dual-stage actuated wafer stage. PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART I-JOURNAL OF SYSTEMS AND CONTROL ENGINEERING. 2014. 228: 658-667 (SCI: AR0SH,EI:20**0)5) Jiang, Y; Yang, KM; Zhu, Y; Li, X; Yu, DD. Optimal feedforward control with a parametric structure applied to a wafer stage. PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART I-JOURNAL OF SYSTEMS AND CONTROL ENGINEERING. 2014. 228: 97-106(SCI:AJ8OA,EI:20**2)6) Chen, H; Hu, CX; Mu, HH; Zhu, Y; Cai, T; Zhang, M. Structure Design and Trajectory Planning of a Precision Repetitive-Scanning Stage with Separated Drive Units for Heat-Reduction. IEEE ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics. 859-864. 2014. (SCI:BB8FG, EI:20**9)7) Ji, Guofeng; Hu, Jinchun; Zhu, Yu; Gao, Zhenyu; Yu, Changliang. A novel method to reduce accumulative switching errors in multi-sensor incremental measurement systems. ECS Transactions. 2014. 60(1): 863-868(EI: 20**1)8) Liu, Zhao; Zhang, Ming; Zhu, Yu; Qi, Lishan; Wu, YafengIEEE Int. Study on generation mechanism and stability analysis for air hammer of air-bearing slider. Conf. Mechatronics Autom., (IEEE ICMA). 2014. 1405-1410(EI:20**3)9) Liu, Zhao; Zhang, Ming; Xu, Jing; Zhu, Yu; Hirata, Yasuhisa; Kosuge, Kazuhiro. A passive dance robot with active coordination capability. IEEE Int. Conf. Mechatronics Autom., (IEEE ICMA). 2014. 686-691(EI:20**8)10) Song, Yujing; Zhang, Ming; Zhu, Yu. Modeling of halbach array magnetic field and motor thrust. Diangong Jishu Xuebao. 2014. 29(11): 61-67. (EI:20**3)11) Li, Xin; Zhu, Yu; Yang, Kaiming; Wang, Xi. Decoupled control for planar motor based on self-adaptive correction for current distribution coefficient. Diangong Jishu Xuebao. 2014. 29(11): 53-60(EI:20**2)12) Jiang, Yi; Zhu, Yu; Yang, Kaiming; Li, Xin; Yu, Dongdong. Coupled dynamic modeling and analysis of ultra-precision 6-DOF fine stage. Zhongguo Dianji Gongcheng Xuebao. 2014. 34(30): 5451-5457(EI:20**1)

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专业研究方向： 专业名称 研究方向 招生类别
080200机械工程 02智能制造与装备 博士
080200机械工程 03智能感知与控制技术 博士
080200机械工程 05装备智能设计与仿真 博士
085500机械 01不区分研究方向 博士
080200机械工程 02智能制造与装备 硕士
080200机械工程 03智能感知与控制技术 硕士
080200机械工程 05装备智能设计与仿真 硕士
085500机械 02装备智能技术 硕士
085500机械 03产品智能设计与数值仿真技术 硕士

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