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教育经历
1983.9--1986.7大连工学院 理论物理 硕士
1979.8--1983.8
阜阳师范学院 物理 学士
工作经历
1994.12--至今物理与光电工程学院 教授
1991.8--1994.11
物理系 副教授
1988.3--1991.7
物理系 讲师
1986.7--1988.3
物理系 助教
研究方向
◎ 离子束及电磁波与物质相互作用◎ 大功率负氢离子源物理
◎ 等离子体工艺腔室的多场耦合理论及仿真
◎射频容性耦合等离子体物理
◎ 射频感性耦合等离子体物理
团队成员
PSEG课题组,更多信息请访问:pseg.dlut.edu.cn
宋远红
李雪春
戴忠玲
赵书霞
高飞
刘永新
胡章虎
张钰如
张莹莹
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研究领域
1.低温等离子体物理,包括低气压放电产生等离子体的机理、等离子体的输运特性、脉冲及射频等离子体特性、以及等离子体刻蚀工艺的机理等。2.离子束及电磁波与物质相互作用,包括离子束及离子团在物质(固体材料、等离子体、纳米管)中的传输过程、能量损失、库仑爆炸及二次电子发射等;电磁波在微纳米结构体系(纳米管、光子晶体、低维量子电子气等)中的传播及非线性现象。
论文成果More>>
Hui, De-Xuan,Hu, Zhang-Hu,Zhao, Yong-Tao,Cheng, Rui,Mei, Xian-Xiu,Wang, You-Nian.Modulation of ion beams in two-component plasmas: Three-dimensional particle-in-cell simulation[J],PHYSICS OF PLASMAS,2019,26(9)Wen, Ying-Ying,Zhang, Yu-Ru,Jiang, Ge,Song, Yuan-Hong,Wang, You-Nian.Secondary electron effect on sustaining capacitively coupled discharges: A hybrid modeling investigation of the ionization rate[J],AIP ADVANCES,2019,9(5)
Li, Chun-Zhi,Na, Su-Ri,Jian, Yang-Yang,Wang, You-Nian,Miskovic, Z. L..Interactions of the external charged particle beams with double-layer two-dimensional electron gases separated by insulating medium[J],RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS,2019,174(1-2):19-30
Sun, Jing-Yu,Wen, De-Qi,Zhang, Quan-Zhi,Liu, Yong-Xin,Wang, You-Nian.The effects of electron surface interactions in geometrically symmetric capacitive RF plasmas in the presence of different electrode surface materials[J],PHYSICS OF PLASMAS,2019,26(6)
高飞,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. Appl. Phys.,2019,125:23303-23303
左春彦,高飞,戴忠玲,王友年.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究[J],物理学报,2018,22:340-350
专利More>>
一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置
Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge
一种基于射频放电的正负离子源
一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针
提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室
著作成果
数学物理方法射频等离子体物理学
数学物理方法
科研项目More>>
高功率微波窗击穿诊断研究, 其他课题, 2018/01/29, 进行PECVD等离子体仿真, 企事业单位委托科技项目, 2013/07/17-2013/12/31, 完成
大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究, 国家科技部 , 2014/12/31, 进行
PECVD等离子体仿真及诊断, 企事业单位委托科技项目, 2008/02/22-2008/07/22, 完成
电容耦合等离子体增强化学气相沉淀(PECVD)仿真, 企事业单位委托科技项目, 2008/06/15-2008/12/30, 完成
12英寸PEVCD腔室的等离子体仿真及诊断, 企事业单位委托科技项目, 2009/12/20-2010/12/20, 完成
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当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 研究领域1.低温等离子体物理,包括低气压放电产生等离子体的机理、等离子体的输运特性、脉冲及射频等离子体特性、以及等离子体刻蚀工艺的机理等。
2.离子束及电磁波与物质相互作用,包括离子束及离子团在物质(固体材料、等离子体、纳米管)中的传输过程、能量损失、库仑爆炸及二次电子发射等;电磁波在微纳米结构体系(纳米管、光子晶体、低维量子电子气等)中的传播及非线性现象。
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论文成果
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果[1] Hui, De-Xuan,Hu, Zhang-Hu,Zhao, Yong-Tao,Cheng, Rui,Mei, Xian-Xiu,Wang, You-Nian.Modulation of ion beams in two-component plasmas: Three-dimensional particle-in-cell simulation[J],PHYSICS OF PLASMAS,2019,26(9)
[2] Wen, Ying-Ying,Zhang, Yu-Ru,Jiang, Ge,Song, Yuan-Hong,Wang, You-Nian.Secondary electron effect on sustaining capacitively coupled discharges: A hybrid modeling investigation of the ionization rate[J],AIP ADVANCES,2019,9(5)
[3] Li, Chun-Zhi,Na, Su-Ri,Jian, Yang-Yang,Wang, You-Nian,Miskovic, Z. L..Interactions of the external charged particle beams with double-layer two-dimensional electron gases separated by insulating medium[J],RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS,2019,174(1-2):19-30
[4] Sun, Jing-Yu,Wen, De-Qi,Zhang, Quan-Zhi,Liu, Yong-Xin,Wang, You-Nian.The effects of electron surface interactions in geometrically symmetric capacitive RF plasmas in the presence of different electrode surface materials[J],PHYSICS OF PLASMAS,2019,26(6)
[5] 高飞,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. Appl. Phys.,2019,125:23303-23303
[6] 左春彦,高飞,戴忠玲,王友年.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究[J],物理学报,2018,22:340-350
[7] 胡艳婷,张钰如,宋远红,王友年.相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响[J],物理学报,2018,67(22):288-300
[8] Wang, Xiao-Juan,Hu, Zhang-Hu,Zhao, Yong-Tao,Wang, You-Nian.Modulation of proton beams by relativistic electron beam-plasma instability[J],PHYSICS OF PLASMAS,2018,25(10)
[9] Li, Jian-quan,Lu, Wen-qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-nian.A comparative study of emissive probe techniques for vacuum space potential measurements[J],VACUUM,2018,155:566-571
[10] Yang, Wei,Li, Hong,Gao, Fei,Wang, You-Nian.A global model study of the population dynamics of molecular hydrogen and the generation of negative hydrogen ions in low-pressure ICP discharge with an expansion region: effects of EEPF[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(7)
[11] Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Wang, Xiang-Yu,Li, Ang,Xu, Jun,Jing, Zhen-Guo,Wang, You-Nian.Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-frequency capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2018,123(22)
[12] Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Liu, Wen-Yao,Xu, Jun,Wang, You-Nian.Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O-2[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(6)
[13] Zhang, Yu-Ru,Hu, Yan-Ting,Gao, Fei,Song, Yuan-Hong,Wang, You-Nian.Plasma characteristics in an electrically asymmetric capacitive discharge sustained by multiple harmonics: operating in the very high frequency regime[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(5)
[14] Xue, Chan,Gao, Fei,Liu, Yong-Xin,Liu, Jia,Wang, You-Nian.Phase shift effects of radio-frequency bias on ion energy distribution in continuous wave and pulse modulated inductively coupled plasmas[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(4)
[15] Li, Jianquan,Lu, Wenqi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, Younian.Automatic emissive probe apparatus for accurate plasma and vacuum space potential measurements[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,20(2)
[16] Liu, Gang-Hu,Liu, Yong-Xin,Bai, Li-Shui,Zhao, Kai,Wang, You-Nian.Experimental investigation of mode transitions in asymmetric capacitively coupled radio-frequency Ne and CF4 plasmas[J],PHYSICS OF PLASMAS,2018,25(2)
[17] Gao, Fei,Li, Hong,Yang, Wei,Liu, Jia,Zhang, Yu-Ru,Wang, You-Nian.Experimental and numerical investigations of electron characteristics in 2 MHz and 13.56 MHz inductively coupled hydrogen plasmas with an expansion region[J],PHYSICS OF PLASMAS,2018,25(1)
[18] 高飞,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. Appl. Phys.,2018,125:23303-23303
[19] 张小楠,梅显秀,曹兴忠,王友年,孙建荣,郑鹏飞.The effect of He ions irradiation on the micro-structure and propertyof CLF-1 steel[J],JOURNAL OF NUCLEAR MATERIALS, 509(2018) 496-503,2018,509(509):496-503
[20] 梅显秀,张琪,张小楠,王英敏,王友年.High Intensity Pulsed Ion Beam Irradiation for tructural Stability of Metallic Glass Ni62Ta38[J],IEE TRANSACITIONS ON PLASMA SCIENCE, 46 (2018)2800-2804,2018,46(46):2800-2804
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专利
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 专利[1]一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器
[2]一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置
[3]Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge
[4]一种基于射频放电的正负离子源
[5]一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针
[6]提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室
[7]一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法
[8]一种体产生负氢离子机制的等离子体腔室
[9]射频等离子体探针装置
[10]一种射频放电等离子体诊断装置
[11]等离子体诊断用多功能探针
[12]一种射频等离子体反应室
[13]一种产生负氢离子机制的等离子体腔室
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著作成果
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 著作成果[1]数学物理方法
[2]射频等离子体物理学
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科研项目
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 科研项目[1]高功率微波窗击穿诊断研究, 一般纵向, 2018/01/29, 进行
[2]PECVD等离子体仿真, 2013/07/17-2013/12/31, 完成
[3]大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究, ITER计划, 2014/12/31, 进行
[4]PECVD等离子体仿真及诊断, 2008/02/22-2008/07/22, 完成
[5]电容耦合等离子体增强化学气相沉淀(PECVD)仿真, 2008/06/15-2008/12/30, 完成
[6]12英寸PEVCD腔室的等离子体仿真及诊断, 2009/12/20-2010/12/20, 完成
[7]太阳能薄膜设备等离子体放电计算机模拟, 2011/09/01-2012/08/31, 完成
[8]PECVD工艺气体放电仿真, 2012/06/14-2012/12/31, 完成
[9]射频感性耦合等离子体源仿真模拟, 2013/06/01-2014/09/30, 完成
[10]等离子体工艺腔室仿真及实验评价, 科技部国合专项, 2012/06/01, 完成
[11]等离子体工艺腔室的多场耦合仿真, 国家科技重大专项, 2011/01/01, 进行
[12]双频容性耦合等离子体沉积多晶硅薄膜的机理研究, 辽宁省高等学校科研计划项目, 2008/01/01-2011/12/16, 完成
[13]等离子体反应腔室的多场耦合模型建立及实验验证, 高等学校博士学科点专项科研基金项目, 2009/12/02-2012/12/31, 完成
[14]高能高电荷态离子引起物质强电离激发过程研究, 973 计划项目, 2009/08/21-2014/08/31, 完成
[15]HL-2A强流中性束加热关键技术研究, ITER计划, 2010/03/30-2013/03/31, 完成
[16]甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应, 国家自然科学基金, 2013/09/25, 完成
[17]第三届微电子及等离子体技术国际会议, 国家自然科学基金, 2011/03/01-2011/07/31, 完成
[18]射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究, 国家自然科学基金, 2010/09/25-2013/12/31, 完成
[19]第9届国际核聚变技术大会, 国家自然科学基金, 2009/10/11-2009/10/16, 完成
[20]俄中等离子体高科技研讨会, 国家自然科学基金, 2007/09/20-2007/09/21, 完成
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等离子体物理学前沿(双语授课) /2019-2020 /秋学期 /2.0学分 /**等离子体物理学前沿(双语授课) /2019-2020 /秋学期 /2.0学分 /**
等离子体物理学前沿(双语授课) /2019-2020 /秋学期 /32课时 /2.0学分 /**
电动力学A /2018-2019 /春学期 /56课时 /3.5学分 /**
等离子体物理学前沿(双语授课) /2018-2019 /秋学期 /32课时 /2.0学分 /**
等离子体物理学前沿(双语授课) /2018-2019 /秋学期 /32课时 /2.0学分 /**
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课程名称学年学期学时学分课程号 等离子体物理学前沿(双语授课) 2019-2020 秋学期 - 2 ** 等离子体物理学前沿(双语授课) 2019-2020 秋学期 - 2 ** 电动力学A 2018-2019 春学期 56 3.5 ** 电动力学A 2017-2018 春学期 56 3.5 ** 电动力学A 2017-2018 秋学期 56 3.5 **
研究生课程
课程名称学年学期学时学分课程号 等离子体物理学前沿(双语授课) 2019-2020 秋学期 32 2 ** 等离子体物理学前沿(双语授课) 2018-2019 秋学期 32 2 ** 等离子体物理学前沿(双语授课) 2018-2019 秋学期 32 2 ** 等离子体物理学前沿(双语授课) 2017-2018 秋学期 32 2 **
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学生信息
当前位置: 中文主页 >> 学生信息博士
在校(10人)
黄佳伟 苏子轩 赵明亮 王晓娟 王英杰 韩道满 刘建凯 孙景毓 杜鹏程 薛婵毕业(37人)
宫子明 司雪姣 宋远红 石若夫 赵凯 李宏 杨唯 刘刚虎 梁英爽 刘巍 孙晓艳 温德奇 刘佳 张雅 徐会静 张钰如 张权治 杨杞 刘永新 胡章虎 毕振华 蒋相站 姜巍 高飞 赵书霞 王伟 李春芝 王帅 钱丹娜 王丽红 王彦霞 毛明 徐翔 王桂秋 侯璐景 李雪春 戴忠玲硕士
在校(4人)
马方方 周方杰 苏子轩 黄佳伟毕业(34人)
韩道满 刘巍 刘佳 毕振华 姜巍 毛明 赵转转 王英杰 孙婷婷 刘建凯 刘阳 江歌 姜宇超 王艳会 包欣 刘岳 梁英爽 申思 张文茹 刘晓华 李佳佳 司雪姣 王琼 李志成 李高山 陈楚刚 尤左伟 刘禹 姜克 周大鹏 王帅 钱丹娜 李宏伟 芦岩教授 博士生导师 硕士生导师
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当前位置: 中文主页 >> 招生信息硕士研究生
序号学院专业年份 1 物理学院 等离子体物理 2020 2 物理学院 等离子体物理 2019
博士研究生
序号学院专业博士研究方向年份 1 (主校区)物理学院 等离子体物理 粒子束及电磁波与物质相互作用 2019 2 (主校区)物理学院 等离子体物理 低气压射频等离子体实验与诊断 2019 3 (主校区)物理学院 等离子体物理 等离子体工艺腔室建模与仿真 2019 4 物理学院 等离子体物理 低气压射频等离子体实验与诊断 2019 5 物理学院 等离子体物理 等离子体工艺腔室建模与仿真 2019 6 物理学院 等离子体物理 粒子束及电磁波与物质相互作用 2019
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