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副教授硕士生导师
主要任职：无
性别：男
毕业院校：东京工业大学
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所在单位：物理学院
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教育经历Education Background
工作经历Work Experience
2002.42005.3
东京工业大学
物质科学创造
博士
1993.91996.7
大连理工大学
理论物理
硕士
1996.7至今
大连理工大学
1991.81993.7
石家庄36中
教师
研究方向Research Focus
社会兼职Social Affiliations
1. 等离子体诊断
2. 薄膜材料
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研究领域
等离子体诊断技术
等离子体应用技术
材料薄膜
论文成果 More>>
Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Effects of Hf buffer layer at the Y-doped HfO2/Si interface on ferroelectric characteristics of Y-doped HfO(2 )films formed by reactive sputtering[J],CERAMICS INTERNATIONAL,2018,44(11):12841-12846
Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Structural and electrical properties of reactive magnetron sputtered yttrium-doped HfO2 films[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(4)
Li, Jianquan,Lu, Wenqi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, Younian.Automatic emissive probe apparatus for accurate plasma and vacuum space potential measurements[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,20(2)
徐军,周大雨,陆文琪.Structrual and Electrical Properties of Reactive Magnetron Sputtered Yttrium-doped HfO2 Films[J],Chinese Physics B,2018,27(4):481031-481036
Li, Jian-Quan,Lu, Wen-Qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-Nian.Automatic emissive probe apparatus for efficient plasma potential measurements[J],REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2017,88(11):115106
李建泉,陆文琪,徐军.基于虚拟仪器的自动发射探针诊断装置[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
专利 More>>
一种凸凹探针及其等离子体诊断方法
数据采集卡的等效采样方法
一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法
基片梯度加热器
射频等离子体探针装置
一种射频放电等离子体诊断装置
著作成果
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科研项目 More>>
纳米涂层等离子体制备新技术研发, 企事业单位委托科技项目, 2017/09/18-2020/09/30, 进行
磁控放电等离子体探针诊断系统研制, 企事业单位委托科技项目, 2006/12/20-2007/12/21, 完成
ITCP增强磁控发放电等离子体探针诊断系统, 企事业单位委托科技项目, 2007/12/05-2008/12/31, 完成
同轴射频CCP放电等离子体探针诊断系统, 企事业单位委托科技项目, 2008/08/25-2009/12/31, 完成
电子束电离等离子体探针诊断系统, 企事业单位委托科技项目, 2009/04/20-2010/04/30, 完成
双频放电等离子体诊断探针系统研制, 企事业单位委托科技项目, 2009/06/05-2009/12/31, 完成
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论文成果
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果[1]Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Effects of Hf buffer layer at the Y-doped HfO2/Si interface on ferroelectric characteristics of Y-doped HfO(2 )films formed by reactive sputtering[J],CERAMICS INTERNATIONAL,2018,44(11):12841-12846
[2]Zhang, Yu,Xu, Jun,Zhou, Da-Yu,Wang, Hang-Hang,Lu, Wen-Qi,Choi, Chi-Kyu.Structural and electrical properties of reactive magnetron sputtered yttrium-doped HfO2 films[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(4)
[3]Li, Jianquan,Lu, Wenqi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, Younian.Automatic emissive probe apparatus for accurate plasma and vacuum space potential measurements[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,20(2)
[4]徐军,周大雨,陆文琪.Structrual and Electrical Properties of Reactive Magnetron Sputtered Yttrium-doped HfO2 Films[J],Chinese Physics B,2018,27(4):481031-481036
[5]Li, Jian-Quan,Lu, Wen-Qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-Nian.Automatic emissive probe apparatus for efficient plasma potential measurements[J],REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2017,88(11):115106
[6]李建泉,陆文琪,徐军.基于虚拟仪器的自动发射探针诊断装置[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
[7]Li, S. L.,Ma, C. Y.,Zhang, Q. Y.,Ren, C. S.,Lu, W. Q..Ion nitriding of pure iron using high-density plasma beam generated by a tubular plasma source[J],SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY,2017,309(309):47-53
[8]Li, Jian-quan,Xu, Jun,Bai, Yu-jing,Lu, Wen-qi,Wang, You-nian.Improved inflection point method of emissive probe for accurate measurement of plasma potential[J],JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A,2016,34(6)
[9]谭伟,徐军,王行行,陆文琪.射频反应磁控溅射制备AlN多晶薄膜及其择优取向研究[J],真空科学与技术学报,2016,36(10):1092-1098
[10]Bai, Yu-jing,Lu, Wen-qi,Li, Jian-quan,Xu, Jun,Wang, You-nian.Influence of the bias signal amplitude and frequency on the harmonic probe measurements in plasma diagnostics[J],PHYSICS OF PLASMAS,2016,23(8)
[11]Shi, D. Q.,Xu, W.,Miao, C. Y.,Ma, C. Y.,Ren, C. S.,Lu, W. Q.,Zhang, Q. Y..A high-activity nitrogen plasma flow source for deposition of silicon nitride films[J],SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY,2016,294:194-200
[12]Xu Jun,Lu Wenqi,Wang Younian.Improvement of the Harmonic Technique of Probe for Measurements of Electron Temperature and Ion Density[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2016,18(1):58-61
[13]Ma, Chunyu,Ren, Chunsheng,Lu, Wenqi,Zhang, Qingyu.Mode Transition and Related Discharge Phenomena of a Tube Plasma Source Operating in Low-Pressure Pure Nitrogen Atmosphere[J],IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE,2015,43(2):544-551
[14]李慧,吴爱民,张文兰,陆文琪,秦福文,董闯.线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备[J],哈尔滨工程大学学报,2015,36(3):423-426
[15]陆文琪,董闯.Effects of deposition temperature on the structure and hardness of BN films prepared by a gradient temperature method[J],Rare Metal Materials and Engineering,2015,44(5):1018-1111
[16]Liu, Jia,Wen, De-Qi,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Lu, Wen-Qi,Wang, You-Nian.Experimental and numerical investigations of electron density in low-pressure dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges[J],JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A,2013,31(6)
[17]Liu Wenyao,Zhu Aimin,Li Xiaosong,Zhao Guoli,Lu Wenqi,Xu Yong,Wang Younian.Determination of Plasma Parameters in a Dual-Frequency Capacitively Coupled CF4 Plasma Using Optical Emission Spectroscopy[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2013,15(9):885-890
[18]张文兰,陆文琪.脉冲放电等离子体参数的高时间分辨静电探针诊断技术[A],第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会,2013,186-186
[19]刘永新,张权治,刘佳,陆文琪,王友年.双频容性耦合氧气放电中电子反弹共振加热[A],第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会,2013,322-322
[20]王行行,陆文琪.离子能量分析器的ANSYS模拟及优化[A],第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会,2013,315-315
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数据采集卡的等效采样方法
一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法
基片梯度加热器
射频等离子体探针装置
一种射频放电等离子体诊断装置
等离子体诊断用多功能探针
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科研项目
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 科研项目纳米涂层等离子体制备新技术研发, 2017/09/18-2020/09/30, 进行
磁控放电等离子体探针诊断系统研制, 2006/12/20-2007/12/21, 完成
ITCP增强磁控发放电等离子体探针诊断系统, 2007/12/05-2008/12/31, 完成
同轴射频CCP放电等离子体探针诊断系统, 2008/08/25-2009/12/31, 完成
电子束电离等离子体探针诊断系统, 2009/04/20-2010/04/30, 完成
双频放电等离子体诊断探针系统研制, 2009/06/05-2009/12/31, 完成
脉冲等离子体推力器静电探针诊断技术开发研究, 2009/10/20-2010/06/30, 完成
2.65MHz射频无极放电等离子体探针, 2010/03/01-2010/08/31, 完成
微秒脉冲放电等离子体参数诊断装置研制, 2010/09/30-2011/12/31, 完成
Langmuir-1型朗谬尔探针, 2010/09/30-2011/12/31, 完成
基于三探针方法的脉冲放电等离子体参数诊断技术, 2010/12/01-2011/05/31, 完成
DLC薄膜沉积环境离化率测量技术开发研究, 2011/03/30-2011/12/31, 完成
微波电子回旋共振磁场线圈与电源, 2011/12/28-2012/06/30, 完成
DLC薄膜沉积过程诊断监控技术开发研究, 2012/04/11-2012/12/31, 完成
中频脉冲磁控放电等离子体时间分辨诊断技术, 2012/11/05-2013/11/05, 完成
超低密度等离子体诊断技术, 2012/12/01-2013/06/30, 完成
半导体先进封装工艺中射频偏置电压稳定性控制研究, 2017/06/26-2018/01/03, 进行
面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究, 国家自然科学基金, 2016/08/17, 进行
纳米涂层等离子体制备新技术二期研发, 2018/11/09-2019/12/31, 进行
基于三探针方法的脉冲放电等离子体参数诊断技术, 2010/12/01-2011/05/31, 进行
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