姓名：
许开东

性别：
男

出生年月：
1977.03

学历：
博士研究生

职称：
教授

Email：
kaidong.xu@leuven-instruments.com

专业与主要研究方向：

专业：半导体器件及工艺技术
主要研究方向：半导体设备及工艺技术，具体有集成电路装备制造和相关材料刻蚀沉积等工艺研究

教授课程：

半导体器件与技术相关讲座

研究生培养基础要求：

对半导体材料、工艺和设备相关研究和科研工作有浓厚兴趣，热爱创新工作。

个人教育简历：

1995 – 1999, 北京大学 化学学士
1999 – 2004, 比利时鲁汶大学 化学博士

个人工作简历：

1999-2004，比利时微电子所（IMEC），研究员
2004-2008，瑟斯半导体（SEZ），项目经理
2008-2010, 科林研发 （Lam），奥地利, 资深工艺经理
2010–2012, 比利时微电子所（IMEC）， 等离子体刻蚀组研发主管
2012–2015, 比利时微电子所（IMEC），等离子刻蚀研发部门经理，先进图案中心运营总监
2015-至今， 江苏鲁汶仪器有限公司， 董事长兼总经理
2016年11月，中国科学院微电子研究所，客座研究员
2018-至今，江苏师范大学 教授
近期主要主持的项目：
序号
项目名称与起止时间
项目来源与类别
获得资助金额
项目进度与成果转化情况

1
90～45纳米技术代2004-01-05—2008-11-28
瑟林、欧州微电子合作开发
300w
已完成

2
湿法清洗工艺技术研发2008-12-01—2010-11-30
科林研发公司
400w
已完成

3
28纳米技术代的中道及后道等离子刻蚀工艺开发2010-12-01—2012-11-30
欧洲微电子研究所
200w
已完成

4
10纳米及7纳米技术代的中道及后道等离子刻蚀工艺开发2012-12-03—2015-09-30
欧州微电子研究所
500w
已完成

5
3D及存储器刻蚀技术开发2015-10-09—2018-04-30
鲁汶仪器有限公司
300w
已完成


代表性论文：
刊号及编号
题目
年卷页码
发表时间
第一作者/通讯作者
单位

10.1149/1.**
Modifications of porous Low-k by Plasma Treatments and Wet Cleans
409-416
2007-11-02
K.Xu
The Electrochemical Society

10.1149/1.**
Post Salicidation Clean :Selective Removal of Un-reacted NiPt towards NiPtSi(Ge)
327-334
2007-11-02
K.Xu
The Electrochemical Society

PV2008-1
Advances and Challenges in Post Salicidation Cleans for 45Nm Technology Node and Beyond
419-429
2008-01-25
K.Xu
Proceedings-Electrochemical Society

134（2008）
Aging Phenomena in the Removal of Nano-particles from Si Wafers
155-158
2008-04-03
G.Vereecke
Trans Tech Publications,Switzerland

145-146（2009）
Removal of Nano-particles by Aerosol Spray:
31-34
2009-01-06
K.Xu
Trans Tech Publications Ltd

10.1143/JAPP
Patterning of 25 nm Contact Holes at 90 nm Pitch: Combination of Line/Space Double
50.08JE07
2011-08-22
Jean-Franco de Marneffe
JAPP

10.1117/12.**
15nm HP patterning with EUV and SADP:
8685 86850C
2013-04-22
K.Xu
SPIE

参与编制国内首本关于纳米集成电路制造工艺的著作，《纳米集成电路制造工艺》清华大学出版社2014


专利：

METHOD FOR TREATING A SEMICONDUCTIOR WAFERPCT/IB2010/052648 WO 2010-12-29 1/2
METHOD FOR TREATING A SEMICONDUCTIOR WAFERPCT/IB2010/052646 US 2012-04-26 1/5
一种机械手臂上结构改良的夹爪 ZL9.3 中国 2018-01-09 1/1

获奖情况：
2016年，入选江苏省双创团队
2017年，入选江苏省双创个人
2016年，入选徐州市双创个人
2017年，入选“六大高峰人才团队”领军人才
2017年，第五届中国江苏创新创业大赛三等奖
2017年，江苏省领军型新生代企业家培养对象