职称
教授

办公室
机械楼413

联系电话
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E-mail
xingyan@seu.edu.cn

学习经历

1989年－1993年，东南大学，机械工程学院，本科/学士

1993年－1996年，东南大学，机械工程学院，研究生/硕士

1998年－2002年，东南大学，机械工程学院，研究生/博士


工作经历

2010年－现在，东南大学 教授、博士生导师

2005年－2007年，日本 名古屋大学(Nagoya University)微纳系统工程系 博士后研究

1996年－2009年，东南大学 副教授、讲师、助教、硕士生导师

2000年－2000年, 加拿大Concordia大学访问****

教授课程

算法语言与程序设计

计算机辅助设计

现代制造系统

研究方向

1. 微纳系统制造工艺

2. 微纳系统设计与模拟MEMS CAD

3. 航空钣金模具设计、制造成形分析优化

4. 智能制造


获奖情况

江苏省“333”高层次人才培养工程

江苏省“六大人才高峰”高层次人才

江苏省科技进步奖一等奖（7）

江苏省科技进步奖二等奖（3）

东南大学教学工作优秀一等奖


论文著作

[1]Yuan Li, M A. Gosálvez, Y XingParticle Swarm Optimization-based Continuous Cellular Automaton for the simulation of Deep Reactive Ion Etching Journal of Micromechanics and microengineering. , 2015. SCI

[2]P Pal, A Ashok, Y Xing. Anisotropic Etching in Low Concentration KOH: Effects of Surfactant Concentration. Micro & Nano Letters. 2015. SCI

[3]P Pal, S Haldar, S Singh, A Ashok,Y Xing. A detailed investigation and explanation of the appearance of different undercut profles in KOH and TMAH. Journal of Micromechanics and microengineering. , 2014, V24(7) 095026 . SCI

[4]P Pal, M A Gosalvez, K Sato,Y Xing. Anisotropic etching on Si{110}: experiment and simulation for the formation of microstructures with convex corners. Journal of Micromechanics and microengineering. 2014. 24(10) 125001 SCI

[5]Jun Ni, WC Tang, Y. Xing.A Simple Algebra for Fault Tree Analysis of Static and Dynamic Systems. IEEE Transactions on Reliability, 2013, v62(4) 846-860. SCI

[6]Jun Ni, WC Tang, Y. Xing.Three-dimensional Precision Analysis with Rigid and Compliant Motions for Sheet Metal Assembly, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2014. 72(11). SCI

[7]Y. Xing,M. A. Gosalvez, and K. Sato. Evolutionary determination of Kinetic Monte Carlo rates for the simulation of evolving surfaces in anisotropic etching of silicon Journal of Micromechanics and microengineering., 2012, V22(8) 085020-085030. SCI

[8]M. A. Gosalvez, N Ferrando, Y. Xing. Simulating anisotropic etching of silicon in any etchant: evolutionary algorithm for the calibration of the continuous cellular automaton. Journal of Micromechanics and microengineering. , 2011, V21(4) 065017-065027. SCI

[9]Y. Xing,M. A. Gosalvez, and K. Sato, A Genetic Algorithm Based Kinetic Monte Carlo Simulatoin for the Evolution of Complex Surface In Anisotropic Etching 2011, IEEE Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems IEEE Transducers. P 374-378

[10]Y. Xing, M. A. Gosalvez, and K. Sato, Orientation-dependent surface morphology of crystalline silicon during anisotropic etching using a continuous cellular automaton, Journal of Micromechanics and microengineering., 2010, V20(4) 015019-015029. SCI

[11] Y. Xing,M. A. Gosalvez, and K. Sato, Step flow based Cellular Automaton for the simulation of anisotropic etching of complex MEMS structures,2007, New Journal of Physics,Vol 9(12):436-454. SCI

[12]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Discrete and continuous cellular automata for the simulation of propagating surfaces.Sensor and Actuators: Physical A:, 2009, V155, p98-112 SCI

[13]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Octree-Search Kinetic Monte Carlo. Sensor and Actuators: Physical A:, 2010, 156(3) 64-68. SCI

[14]M. A. Gosalvez, Y. Xing, and K. Sato, Atomistic method for the simulation of evolving surfaces, Journal of Micromechanics and microengineering. 2008, V18(4) 055 . SCI

[15] M. A. Gosalvez, Y. Xing,and K. Sato, Analytical solution of the Continuous Cellular Automaton for anisotropic etching, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical System. 2008, V17(2) 410-431 SCI

[16] M. A. Gosalvez, Y. Xing, T. Hynninen, M. Uwaha, A. S. Foster, R. M. Nieminen, and, K. Sato, Faster simulations of step bunching during anisotropic etching: formation of zigzag structures on Si(110),Journal of Micromechanics and Microengineering. 17 (2007) S27–S37. SCI

[17] Zhiyong Tan, Mitsuhiro Shikida, Masafumi Hirota, Yan Xing, Kazuo Sato. Characteristics of on-wall in-tube flexible thermal flow sensor under radially asymmetric flow condition. Sensor and Actuators: Physical A:, 2007, V138, p87-96. SCI

[18]幸研朱鹏易红汤文成,蒙特卡罗法单晶硅的腐蚀工艺表面微观形态仿真研究2008, 半导体学报2010 V29(10) 2027-2031 EI.

[19] 幸研朱鹏多次掩模湿法腐蚀硅微加工过程的蒙特卡罗仿真 2009机械工程学报v45(1) 240-245 EI

[20] 王树桥，幸研，仇晓黎, 齐建昌. 混合进化算法的Metropolis蒙特卡罗MEMS单晶硅湿法刻蚀工艺模型，2012机械工程学报v48(1) 240-245 EI


科研项目

项目名称
项目类别
项目时间
工作类别
项目金额

总装“十二五”基础研究项目(航空钣金制造)
总装国防基础科研
2011-2015
承担
100万

聚焦离子束气体辅助刻蚀工艺机理与界面演化模拟方法研究
国家自然科学基金
2014-2017
承担
80万

适形各向异性湿法腐蚀工艺中表面活性剂的吸附机制与模型研究
国家自然科学基金
2010-2013
承担
36万

MEMS 多物理场耦合分析设计平台及应用产品开发与产业化
江苏省科技厅，成果转化项目
2009-2011
承担
35万

硅微湿法腐蚀MEMS工艺表面质量与微观形貌的计算模型
教育部留学归国人员基金
2009-2010
承担
3万

MEMS 湿法刻蚀工艺八叉树搜索动力学蒙特卡罗法仿真研究
江苏省自然科学基金
2008-2011
承担
10万

MEMS工艺平台研究
江苏省六大人才高峰
2011-2012
承担
6万

总装“十二五”基础研究项目(薄壁件装配)
总装国防基础科研
2011-2015
参与
180万

科工局“十一五”基础科研项目（电子装备设计制造集成）
科工局国防基础科研
2008-2011
参与
210万

基于数字化全科诊断的健康云服务平台关键技术研究
江苏省科技厅
2014-2017
参与
25万

基于皮米分辨透射电镜的5纳米以下三维纳通道跨尺度集成
科技部
2011-2015
参与
350万