【校庆115周年活动学术报道】中山大学材料科学与工程学院奚斌教授来我校进行学术交流 应南京师范大学化学与材料科学学院、生物医药功能材料协同创新中心和国家地方联合工程研究中心邀请，中山大学材料科学与工程学院奚斌教授于2017年5月22-23日来我校进行学术交流，并于22日下午在新化学楼226会议室作了题为“Atomic Layer Deposition of Sc2O3 as high-k dielectrics”的精彩学术报告。化学与材料科学学院相关领域的师生踊跃参加了此次报告会。

奚斌2003 年本科毕业于南开大学；2009 年于普渡大学获得博士学位；2009 年至2013 年在哈佛大学从事博士后研究；2013 年至2017 年在默克高性能材料担任高级科学家；2017 年4 月正式加入中山大学材料与科学工程学院。奚斌教授的主要研究方向是纳米亚纳米级薄膜材料的原子层沉积技术及其在半导体集成电路、新能源和催化等领域的应用。

奚斌教授在报告中以用简单凝练的语言，将微电子领域中应用广泛的原子层沉积技术呈现在与会师生的面前。奚斌教授首先向大家详细介绍了原子层沉积技术的原理和应用，在此基础上详述了关于高介电常数材料的重要性和实际应用意义，然后Sc2O3为例，详细解读了原子层沉积技术的前体合成、薄膜制备、薄膜的鉴定和及性能测试、以及应用研究。奚斌教授从事电子材料及原子层沉积技术相关研究多年，有丰富的学术背景和工业背景，他也从基础研究和应用研究两个方面分析了原子层沉积技术的现状和发展前景。与会听众都表示受益匪浅，纷纷提问讨论，奚斌教授也和大家分享了学术界和工业界做研究的不同体会，报告会在热烈的掌声中顺利结束。


化学与材料科学学院

2017.5.23.