张巍 男 硕导 长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件:zhangw@sklao.ac.cn
通信地址:吉林省长春市东南湖大路3888号
邮政编码:130033
研究领域    
招生信息    
招生专业 光学
 
 
招生方向 精密光机系统装调,检测
 衍射光学元件设计
 
教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位 
 1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位 
学历    
学位    
工作经历    
工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任 
 2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长 
 2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员 
社会兼职    
教授课程    
专利与奖励    
奖励信息    
专利成果    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
招生专业 光学
 
 
招生方向 精密光机系统装调,检测
 衍射光学元件设计
 
教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位 
 1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位 
学历    
学位    
工作经历    
工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任 
 2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长 
 2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员 
社会兼职    
教授课程    
专利与奖励    
奖励信息    
专利成果    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
衍射光学元件设计
教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位 
 1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位 
学历    
学位    
工作经历    
工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任 
 2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长 
 2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员 
社会兼职    
教授课程    
专利与奖励    
奖励信息    
专利成果    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
学位    
工作经历    
工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任 
 2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长 
 2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员 
社会兼职    
教授课程    
专利与奖励    
奖励信息    
专利成果    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任 
 2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长 
 2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员 
社会兼职    
教授课程    
专利与奖励    
奖励信息    
专利成果    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
教授课程    
专利与奖励    
奖励信息    
专利成果    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
奖励信息    
专利成果    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
出版信息    
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者 
 (2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者 
发表著作    
科研活动    
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12 
 (2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12 
参与会议    
合作情况    
项目协作单位    
指导学生    
(2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者
