张巍 男 硕导 长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件:zhangw@sklao.ac.cn
通信地址:吉林省长春市东南湖大路3888号
邮政编码:130033
研究领域
招生信息
招生专业 光学
招生方向 精密光机系统装调,检测
衍射光学元件设计
教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位
1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位
学历
学位
工作经历
工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任
2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长
2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息
专利成果
出版信息
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者
(2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者
发表著作
科研活动
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12
(2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12
参与会议
合作情况
项目协作单位
指导学生
招生专业 光学
招生方向 精密光机系统装调,检测
衍射光学元件设计
教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位
1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位
学历
学位
工作经历
工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任
2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长
2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员
社会兼职
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专利成果
出版信息
发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者
(2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者
发表著作
科研活动
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12
(2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12
参与会议
合作情况
项目协作单位
指导学生
衍射光学元件设计
教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学 获博士学位
1998-09--2002-06 中国科学技术大学 获学士学位
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工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任
2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长
2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员
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发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者
(2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者
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科研活动
科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12
(2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12
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项目协作单位
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工作简历 2013-02--今 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 副主任
2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处 副处长
2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室 助理研究员、副研究员
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发表论文 (1) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析,光学学报,2011,第1作者
(2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者
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科研项目 (1) 大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究,主持,国家级,2012-01--2014-12
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(2) 投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计,光学精密工程,2008,第1作者
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(2) 高NA浸没光学系统关键技术研究,参与,国家级,2009-01--2013-12
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