校新闻中心讯 近日，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项（以下简称02重大专项）实施管理办公室组织专家对“集成电路靶材用超高纯金属材料产业化技术”项目进行了综合绩效评价。专家组听取了项目负责人和课题负责人的任务完成情况汇报，并审阅了相关资料，经过认真讨论，一致同意该项目通过验收。
国家科技重大专项是为了实现国家目标，通过核心技术突破和资源集成，在一定时限内完成重大战略产品、关键共性技术和重大工程，是我国科技发展的重中之重。
02重大专项项目“集成电路靶材用超高纯金属材料产业化技术”由宁波江丰电子材料股份有限公司、宁波创润新材料有限公司、河南科技大学共同承担完成。我校材料科学与工程学院王广欣教授带领的高纯材料研究团队主持承担了课题“超高纯Co金属材料产业化技术研究”。该课题主要研究超高纯Co金属及合金材料的制备与产业化技术研发等技术难题，旨在突破高纯电子材料的技术瓶颈，真正实现半导体靶材用超高纯Co金属材料的国产化。
该课题的顺利验收标志着我国掌握了自主知识产权的芯片级超高纯Co金属及合金材料提纯与熔铸等关键核心技术，完善了超高纯Co材料与靶材的一体化供应体系，打破了国外对我国半导体关键材料的垄断，实现了超高纯Co材料的国产化，为我国半导体产业的发展提供了重要保障和支撑。
我校一直高度关注该课题的进展情况，课题执行期间，积极组织科技处、财务处、国资处、材料学院等相关单位，全力支持解决课题执行过程中出现的困难和问题，为顺利完成专项任务提供了有力的保障。
我校首次圆满完成国家02重大专项课题，是学校不断深化改革、走内涵式发展道路取得的重要成果，标志着我校科研工作具备解决国家重大需求的科技攻关能力和组织协调能力，彰显出学校科技创新蕴含着巨大的发展动力，为学校进一步争取国家科技重大专项新课题奠定了坚实基础。
（科技处材料科学与工程学院供稿）