基本信息科学研究教育教学论文专著
基本信息


田丽，女，汉族，1973年生。哈尔滨工业大学 航天学院微电子科学与技术系 副教授。



出版物
《电子科学与技术专业英语（微电子技术分册）》（2003年6月，哈工大出版社出版，承担编写12.6万字）

《集成电路制造技术—原理与工艺》（2010年9月，电子工业出版社出版，承担编写25万字）

工作经历
时间工作经历
1995.07-2000.07哈尔滨工业大学航天学院 助教
2000.08-2008.12哈尔滨工业大学航天学院 讲师
2009.01-哈尔滨工业大学航天学院 副教授



教育经历
1991年-1995年, 就读于哈尔滨工业大学精密仪器系 学士1999年-2002年, 就读于哈尔滨工业大学微电子学与固体电子学 硕士2006年-2009年, 就读于哈尔滨工业大学微电子学与固体电子学 博士


研究领域
微电子学与固体电子学 主要研究方向:微纳电子器件、BioMEMS、微流控芯片、生物芯片

荣誉称号
获 2009-2010年度何鸿燊奖教金

获 2010年度航天学院青年教师基本功竞赛3等奖

获 2012年度优秀专兼职学生工作者称号

2011年《集成电路制造技术----原理与工艺》教材 黑龙江省教材成果二等奖

2012年度“微电子工艺/实习”课程模块的整合教学模式 学校教学成果二等奖

讲授课程
简介:《微电子工艺》课程主要讲授集成电路芯片制造技术中，当前普遍采用的单项工艺的原理、方法、用途及所依托的物理基础。包括：硅片制备，外延，氧化，扩散，离子注入，化学汽相淀积，物理汽相淀积，光刻，腐蚀等单项工艺。介绍金属互连和典型工艺集成（流程）技术，以及近年出现的新工艺技术、方法、未来发展趋势。为全系本科生学习“集成电路”、“MEMS技术”等后继课程以及毕业后从事微电子专业工作建立必要的理论基础知识。

简介:本课程是本科生的一门技术课程，它研究微纳米技术概念、MEMS与NEMS器件的工作原理、性能及应用等方面的知识。通过对本门课程的学习，要求：
1．对微纳米技术的基本概念和基本分析方法有明确的认识。
2．了解、掌握常用的微纳米加工技术和方法。
3．能够分析微纳米器件的工作原理与基本特性。
4．对于常用的微纳米传感器和执行器的设计与制作工艺有较明确的认识，并能够设计出典型微纳米器件及其工艺流程。

微电子工艺微纳米技术


论文期刊
[1] 田 丽，陈伟平，刘晓为，霍明学，王喜莲.毛细管电泳芯片分离DNA片段的实验研究. 哈工大学报.2004.08：1020-1022 Ei:**

[2] Tian L, Wang W., Chen W.P, Liu X.W, Bao Zh.Y. A Novel Integrated Capillary Electrophoresis Chip with a Self-rinsing Micropump. ICMIT’2005 Chongqing.2005.09： 60411E Ei：**

[3] Tian L., Wang W., Liu X.W, Wang X.L., Bao Zh.Y. The PDMS micro-/nanovalve driven by PZT piezoelectric actuator on the silicon wafer. The conference on MEMS, MOEMS and Micromachining II Photonics2006，Strasbourg，France.2006.04：61860W Ei：**

[4] Chen Weiping, Tian Li, Li Mingjiang, Liu Xiaowei. Simulation and Design of Self-heating Continuous-flow PCR Chip. 《哈工大学报》英文版. 2007.14(2):248-251 Ei：**

[5]田丽，周贤中，刘晓为等.基于低雷诺数理论的电泳芯片微管道电渗流仿真.功能器件与材料学报.2008，14（2）：404-407

[6]Tian Li，Wang Wei，Liu Xiaowei， et al. Portable UV absorbance detection system for microchip electrophoresis. Proc. SPIE . 2009， 7133：71334G1-6

[7] Tian Li，Wang Wei，Liu Xiaowei, et al. Fabrication and performance analysis of PMMA substrate diffuser/nozzle micropump by CNC milling machine. Advanced Materials Research. 2009，（60-61）： 198-201

[8] Tian Li，Wang Wei，Liu Xiaowei, et al. Performance analysis of microchip electrophoresis fabricated by the precision CNC milling. HPLC2008, Kyoto, Japan. 2008,12

[9] Tian Li*，Wu Lei, Wang Wei，Liu Xiaowei. Research on the PDMS surface modification technique. 14th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology , 3rd International Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technolog. Nov.04~07, 2012, Hangzhou,China.

[10]Tian Li*，Wang Wei，Liu Xiaowei. Electroosmosis performance analysis of microchip electrophoresis fabricated by the ultra-precision CNC milling. Digital Manufacturing and Automation (ICDMA2012), Jul. 31-Aug. 2, 2012, 380 – 383. Ei: **835

[12]Tian Li*，Wang Wei，Liu Xiaowei. Performance analysis of microchip electrophoresis with portable UV absorbance detection system. Applied Mechanics and Materials Vols. 220-223 (2012) , 1883-1886 Ei: **995

[13]Tian Li*，Wang Wei，Liu Xiaowei， et al. Portable UV absorbance detection system for microchip electrophoresis, Proc. SPIE . 2009， 7133,71334G1-6 Ei：**373

[14] Tian Li*，Wang Wei，Liu Xiaowei, et al. Fabrication and performance analysis of PMMA substrate diffuser/nozzle micropump by CNC milling machine, Advanced Materials Research, 2009，（60-61）, 198-201 Ei：**183

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团队成员
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讲授课程
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