姓 名：马志斌

学历学位：研究生博士

专业技术职务： 教授

主要研究方向：低温等离子体应用,薄膜材料

基本情况：男，出生于1968年10月，1991年毕业于武汉大学物理系，获学士学位；1994年7月毕业于中国科学院等离子体物理研究所获硕士学位，2001年9月毕业于中国科学院等离子体物理研究所获博士学位。湖北省学位与研究生教育管理工作先进个人。主要从事等离子体技术与功能薄膜材料方面的研究工作，在新型等离子体源的设计、金刚石薄膜材料的制备等方面的研究成果得到转化应用。先后主持完成国家、省自然科学基金等纵横向科研项目10余项。科研进账220万。作为第一作者或通讯作者在国内外核心刊物上发表研究论文50余篇，其中SCI收录12篇，EI收录9篇。获国家发明专利7项，转化实施2项。负责开发设计的等离子体教学、科研设备为国内100余所高校和研究机构采用，产生良好的社会效益。获中国化工教育科学研究成果奖三等奖,第1，(2011)；2.省教学研究成果奖三等奖，第1，(2012)；

主要研究成果：

一、主持的主要教学、科研项目

（1） 回旋离子束及其与CVD金刚石膜表面作用机理的研究（**），2009-2011，国家自然科学基金

（2） 等离子体装置的研制，2005-2009，企业委托

（3） 等离子体技术实验平台及配套设备开发，2005-2010，企业委托依托该项目，开发的等离子体技术实验教学装置得到全国100多所高等院校和研究所使用，为企业赢得了较好的社会和经济效益。

（4）“十一五”国家级课题“我国高校应用型人才培养模式研究”子课题

适应现代工业的材料类的实践教学体系的探索和建立（FIB**A6-07）,2008

（5）用于宝石材料制备与加工的微波等离子体装置研制，2011-2013，高校委托

二、发表的主要论文

[1] Xianfeng Zheng, Zhibin Ma, Lei Zhang and Jianhua Wang. Investigation on the etching of thick diamond film and etching as a pretreatment for mechanical polishing.Diamond and Related Materials. 2007, 16(8):1500-1509.

[2] Xianfeng Zheng, Zhibin Ma. Plasma-etching enhanced mechanical polishing for CVD diamond films. Plasma Science and Technology.2008，10(3):336-339

[3] 吴利峰,马志斌,何艾华.Decomposition of silicon tetrachloride by microwave plasma jet at atmospheric pressure. Journal Inorganic Materials. 2009,45(12)：1403-1407.

[4] 吴利峰,马志斌, 何艾华. Studies on destruction of silicon tetrachloride using microwave plasma jet. Journal of Hazardous Materials, 2010

[5] 万 军, 马志斌,曹 宏, 吴振辉, 汪建华.溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体. 新型炭材料,2010,25(1):48-52

[6] 谭必松,马志斌,沈武林,吴振辉. 非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜. 强激光与粒子束,2010,22(8):1887-1890.

[7] 吴利峰,马志斌,翁国峰,湛玉龙. 高气压微波氢等离子体发射光谱诊断. 强激光与粒子束,2010,22(9):2027-2031.

[8] 谭必松,马志斌,沈武林,曹宏,汪建华. Measurement of Ion Parameters by Ion Sensitive Probe in ECR Plasma.Plasma Science and Technolog, 2011,13(1):68-72.

[9] Lei Zhang, Zhibin Ma, Lifeng Wu .Growth and Characterization of Diamond Films Deposited at High-Pressure Using a Low-Power Microwave Plasma Reactor. Journal Inorganic Materials. 2011,47(3):255-261

三、授权发明专利：

1.制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置，ZL**.4，发明人：马志斌，万军

2.一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置，ZL**0.9，发明人：马志斌，汪建华

3.一种从工业有机废气中回收微细碳粉的方法和装置，ZL**9.4，发明人：马志斌，何艾华

4.在石英圆管内或外壁（类）金刚石薄膜的方法及装置ZL**3.0，发明人：马志斌，张磊

5.一种从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法ZL**0.7，发明人：马志斌，何艾华

6. 利用大气压微波射流等离子体技术脱除工业烟气中二氧化硫的方法ZL**1.6，发明人：马志斌，吴俊，吴利峰，孙刚，胥明

7. 等离子体发射光谱法测定熏蒸罐中溴甲烷浓度的方法及装置ZL**2.6，发明人：马志斌，彭建，翁国峰，艾华，陶洪

四、获奖情况

1. 等离子体技术实验教学体系和平台的构建与实施，中国化工教育科学研究成果奖三等奖，2011年

2.DH2004多功能微波等离子体实验装置，杭州市科技进步奖 三等奖，2007年

3. 依托优势学科培养材料物理专业特色人才的探索与实践，湖北省教学成果三等奖，2012年

研究生培养情况：

现有在读研究生6名，已指导毕业研究生15名，其中5名分别到中国科学院、华中科技大学、武汉理工大学等科研院所攻读博士学位，其余毕业生在新能源、微电子等行业工作从事生产管理或技术开发工作。毕业研究生共发表SCI收录论文20余篇。