华中科技大学博士研究生入学考试《微纳制造技术》考试大纲

（科目代码：3558）

一、考试性质及对象

本课程考试是为电子封装专业招收博士生而设置，其评价标准是高等学校硕士毕业生能达到的及格或及格以上水平，考试对象是参加博士研究生入学考试的具有硕士学位或具有同等学力的在职人员。

二、考试的学科范围

应考范围：微电子制造科学原理与工程技术，MEMS制造技术。

三、评价目标

考查考生了解和掌握微纳制造原理与工艺的能力。

四、考查要点

1．微纳制造概况

2．微电子制造技术

3．体微加工技术

4．表面微纳加工技术

5．纳加工技术

五、样题（略）