刘骅锋

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个人信息Personal information

副研究员博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：物理学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：英国帝国理工学院
学科：微电子学与固体电子学
精密测量物理
曾获荣誉：
2012英国帝国理工学院 全额奖学金


其他联系方式Other contact

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个人简介Personal profile

刘骅锋，男，1987年9月生于河南新乡，中共党员，博士生导师，副研究员。主要从事高精度MEMS加速度计、微震仪、重力仪、重力梯度仪等方面研究，已在相关领域发表中英文学术论文47篇，合著英文专著1章，申请专利25项，已获授权10 项，研究成果被Nature等著名期刊多次引用。在英国帝国理工攻读博士期间参与研制的MEMS火星微震仪(2×10-10 g/Hz1/2@1 Hz) 随 NASA 洞察号登陆器于 2018 年成功登陆火星并首次监测到火星震信号。
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教育经历Education experience

2012.4 ~ 2016.3  英国帝国理工学院  -  微机电系统（MEMS）  -  工学博士学位  -  研究生(博士)毕业  -  电子与电气工程系 
2010.10 ~ 2011.9  英国南安普顿大学  -  微机电系统（MEMS）  -  工学硕士学位  -  研究生(硕士)毕业  -  电子与计算机科学学院 

工作经历Work experience

2016.6-2017.5 华中科技大学 -物理学院-工程师
2017.5-至今 华中科技大学 -物理学院-副研究员 -在职


社会兼职Social affiliations

2018.11-至今 中国仪器仪表学会高级会员
2017.10-至今 中国微米纳米技术学会高级会员
2017.9-至今 教育部学位中心精密仪器学科 MEMS 方向学位论文通讯评议专家



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研究方向Research focus

微机电系统（MEMS）；微纳加工；惯性传感器；MEMS加速度计；MEMS微震仪；MEMS重力仪


团队成员Research group

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副研究员博士生导师 硕士生导师
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在职信息：在职
所在单位：物理学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：英国帝国理工学院
学科：微电子学与固体电子学
精密测量物理
曾获荣誉：
2012英国帝国理工学院 全额奖学金



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研究领域
微机电系统（MEMS）；微纳加工；惯性传感器；MEMS加速度计；MEMS微震仪；MEMS重力仪


论文成果
[1] W. T. Pike, A. K. Delahunty, A. Mukherjee, G. Dou, Huafeng Liu, S. Calcutt and I. M. Standley, A self-levelling nano-g silicon seismometer, IEEE Sensors 2014, 2014.11.2-5， 2014，Valencia, Spain. (Oral全文)
[2] Huafeng Liu, W. T. Pike* and Guangbin Dou, Design , Fabrication and Characterization of a Micromachined Gravity Gradiometer Suspension, IEEE Sensors 2014, 2014.11.2-5， 2014，Valencia, Spain. (Oral全文)
[3] Huafeng Liu and W. T. Pike*, A silicon/solder bilayer thermal actuator for compensating thermal drift of silicon suspensions, 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2015), 2015.6.21-25, 2015,Anchorage, AK, USA. (Oral全文)
[4] W. T. Pike et al., A silicon seismic package (SSP) for planetary geophysics, 47th Lunar and Planetary Science Conference (LPSC2016), 2016.3.21-25, 2016, Texas, USA (Oral摘要)
[5] Xiaochao Xu, Wenjie Wu, Huafeng Liu, Ji Fan, Jinquan Liu and Liangcheng Tu*，One-step Silicon Substrate Through-wafer Etching Process for High Precision MEMS Application，IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC 2017), 2017.10.2-4, 2017, Singapore. (Poster摘要)


专利
[1] 发明名称：一种微机械万向开关的制造方法 发明人：刘骅锋，涂良成，严世涛，饶康，伍文杰 申请号：5.X 申请日： 2018-08-02
[2] 发明名称：一种微机械万向开关 发明人：刘骅锋，涂良成，胡宸源，王秋，渠自强 申请号：4.0 申请日： 2018-08-02
[3] 发明名称：一种三维微凸点的制备方法 发明人：范继，魏晓莉，刘金全，涂良成，刘骅锋，饶康 申请号：8.8 申请日： 2018-06-27
[4] 发明名称：一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计 发明人：刘骅锋，涂良成，王秋，胡方靖 申请号：0.7 申请日： 2018-06-29
[5] 发明名称：一种三分量海洋重力测量装置（实用新型） 发明人：余刚，涂良成，刘骅锋 申请号：2.5 申请日： 2018-04-09，授权公告日：2019-02-12 授权公告号：CN U


著作成果
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科研项目
[1] 微型火星重力仪研制, 其他课题
[2] 基于MEMS（微机械）加速度计的旋转式航空重力梯度仪工程样机研制, 国家重点研发计划
[3] 光纤MEMS高精度相对重力测量研究, 国家自然科学基金项目
[4] 三分量MEMS井中重力仪原理样机及数据处理软件研制

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所在单位：物理学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：英国帝国理工学院
学科：微电子学与固体电子学
精密测量物理
曾获荣誉：
2012英国帝国理工学院 全额奖学金



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微机电系统（MEMS）；微纳加工；惯性传感器；MEMS加速度计；MEMS微震仪；MEMS重力仪

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学位：工学博士学位
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学科：微电子学与固体电子学
精密测量物理
曾获荣誉：
2012英国帝国理工学院 全额奖学金



论文成果 中文主页 - 科学研究 - 论文成果

[1] W. T. Pike, A. K. Delahunty, A. Mukherjee, G. Dou, Huafeng Liu, S. Calcutt and I. M. Standley, A self-levelling nano-g silicon seismometer, IEEE Sensors 2014, 2014.11.2-5， 2014，Valencia, Spain. (Oral全文).
[2] Huafeng Liu, W. T. Pike* and Guangbin Dou, Design , Fabrication and Characterization of a Micromachined Gravity Gradiometer Suspension, IEEE Sensors 2014, 2014.11.2-5， 2014，Valencia, Spain. (Oral全文).
[3] Huafeng Liu and W. T. Pike*, A silicon/solder bilayer thermal actuator for compensating thermal drift of silicon suspensions, 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2015), 2015.6.21-25, 2015,Anchorage, AK, USA. (Oral全文).
[4] W. T. Pike et al., A silicon seismic package (SSP) for planetary geophysics, 47th Lunar and Planetary Science Conference (LPSC2016), 2016.3.21-25, 2016, Texas, USA (Oral摘要) .
[5] Xiaochao Xu, Wenjie Wu, Huafeng Liu, Ji Fan, Jinquan Liu and Liangcheng Tu*，One-step Silicon Substrate Through-wafer Etching Process for High Precision MEMS Application，IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC 2017), 2017.10.2-4, 2017, Singapore. (Poster摘要).
[6] Huafeng Liu, Xiaoxiao Song, Qiu Wang, Wenjie Wu, Ji Fan, Jinquan Liu and Liang-Cheng Tu*, Healing Pinhole Shorts for Applications using Intermetal Dielectric Films，IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC 2017), 2017.10.2-4, 2017, Singapore. (Oral摘要) .
[7] 魏晓莉，饶康，刘金全，范继，刘骅锋，涂良成*，基于锡微凸点高度控制的MEMS封装[A]. 中国微米纳米技术学会第十九届学术年会暨第八届国际会议[C]. 2017.10.26-29, 中国大连。(Oral摘要).
[8] 王秋，宋萧萧，饶康，刘骅锋，伍文杰，范继，刘金全，涂良成*，刻蚀法和剥离法对于不同间距图形制备的对比研究[A]. 中国微米纳米技术学会第十九届学术年会暨第八届国际会议[C]. 2017.10.26-29, 中国大连。((Poster摘要).
[9] 宋萧萧，王秋，饶康，刘骅锋，伍文杰，范继，刘金全，涂良成*，金属刻蚀法消除两金属层之间绝缘薄膜针孔缺陷的影响[A]. 中国微米纳米技术学会第十九届学术年会暨第八届国际会议[C]. 2017.10.26-29, 中国大连。(Oral摘要).
[10] 饶康，魏晓莉，刘骅锋，范继，刘金全，涂良成*，一种基于体硅工艺的差分变面积式MEMS加速度计[A]. 中国微米纳米技术学会第十九届学术年会暨第八届国际会议[C]. 2017.10.26-29, 中国大连。(Poster摘要).

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毕业院校：英国帝国理工学院
学科：微电子学与固体电子学
精密测量物理
曾获荣誉：
2012英国帝国理工学院 全额奖学金



专利 中文主页 - 科学研究 - 专利

[1] 发明名称：一种微机械万向开关的制造方法 发明人：刘骅锋，涂良成，严世涛，饶康，伍文杰 申请号：5.X 申请日： 2018-08-02.
[2] 发明名称：一种微机械万向开关 发明人：刘骅锋，涂良成，胡宸源，王秋，渠自强 申请号：4.0 申请日： 2018-08-02.
[3] 发明名称：一种三维微凸点的制备方法 发明人：范继，魏晓莉，刘金全，涂良成，刘骅锋，饶康 申请号：8.8 申请日： 2018-06-27.
[4] 发明名称：一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计 发明人：刘骅锋，涂良成，王秋，胡方靖 申请号：0.7 申请日： 2018-06-29.
[5] 发明名称：一种三分量海洋重力测量装置（实用新型） 发明人：余刚，涂良成，刘骅锋 申请号：2.5 申请日： 2018-04-09，授权公告日：2019-02-12 授权公告号：CN U.
[6] 发明名称：一种三分量海洋重力磁力复合测量装置（实用新型） 发明人：余刚，涂良成，刘骅锋 申请号：4.7 申请日： 2018-04-09，授权公告日：2018-12-07 授权公告号：CN U.
[7] 发明名称：一种三分量海洋重力测量装置 发明人：余刚，涂良成，刘骅锋 申请号：2.5 申请日： 2018-04-09.
[8] 发明名称：一种三分量海洋重力磁力复合测量装置 发明人：余刚，涂良成，刘骅锋 申请号：8.5 申请日： 2018-04-09.
[9] 发明名称：一种太赫兹频段可重构数字电磁超材料及其制备方法 发明人：胡方靖，涂良成，宋培义，刘骅锋 申请号：9.2 申请日： 2018-02-02.
[10] 发明名称：一种三分量重力仪探头及井中重力仪系统（实用新型） 发明人：刘骅锋，涂良成，王秋，胡宸源，范继 申请号：ZL4.X 申请日： 2017-12-08，授权公告日：2018-06-12 授权公告号：CN U.

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学科：微电子学与固体电子学
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曾获荣誉：
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[1] 微型火星重力仪研制,CAST-BISEE2017-019,
[2] 基于MEMS（微机械）加速度计的旋转式航空重力梯度仪工程样机研制,2017YFC**,
[3] 光纤MEMS高精度相对重力测量研究,**,
[4] 三分量MEMS井中重力仪原理样机及数据处理软件研制,2018YFC**,

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教学资源
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授课信息
[1] 微弱信号检测 /秋学期
[2] 大学物理（下） /秋学期


教学成果
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学科：微电子学与固体电子学
精密测量物理
曾获荣誉：
2012英国帝国理工学院 全额奖学金



授课信息 中文主页 - 教学研究 - 授课信息

[1] 微弱信号检测,秋学期/2018-2019/
[2] 大学物理（下）,秋学期/2018-2019/

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曾获荣誉：
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获奖信息 中文主页 - 获奖信息


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