王凌云副教授 研究方向：MEMS器件的设计、基于气浮、静电、压电喷射的微纳制造技术、装备开发及其在柔性电子领域的应用
系别：机电工程系
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研究成果
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学术奖励


教育背景2004/09-2009/12，厦门大学，机电工程系，硕博连读，获测试计量技术与仪器专业博士学位
1997/09-2001/07，厦门大学，机电工程系，获测控技术与仪器专业工学学士
教学工作1.《传感器原理及应用》（本科生）
2.《电子技术》（本科生）
3.《机械工程测试技术基础》（本科生）
4.《微纳机电系统设计与工艺》（研究生）
5.《集成电路设计基础》（本科生）
6.《工业4.0与智能制造》（全校本科生大类通识课程）
7.《机械学科入门指导》（本科生）
研究领域1）MEMS器件的设计，工艺开发、封装集成及测试；
2）现代传感器技术开发及功能应用；
3）基于气浮、静电、压电喷射的微纳制造技术、装备开发及其在柔性电子领域的应用；
4）聚合物纳米结构成型及其应用；
5）微弱信号检测。



[1] Lingyun Wang*,Yong He, Zhan Zhan, Lingke Yu, Huan Wang, Daner Chen, A novel sacrificial-layer process based on anodic bonding and its application in an accelerometer, AIP Advances, 2015, 5(4): 041323.
[2] Lingyun Wang, Xiaohui Du, Yipan Li, Zhiwei Luo, Gaofeng Zheng & Daoheng Sun*. Simulation and experiment study on adhesive ejection behavior in jetting dispenser. Journal of Adhesion Science and Technology, 2014, 28(1): 53-64.
[3] Lingyun Wang, Jiang Du, Zhiwei Luo, Xiaohui Du, Yipan Li, Juan Liu, Daoheng Sun*. Design and Experiment of a jetting dispenser driven by piezostack Actuator. IEEE Transactions On Components Packaging and Manufacturing Technology, 2013, 3(1): 147-156.
[4] Lingyun wang, Yongrong Qiu, Yanbo Pei, Yuanzhe Su, Zhan Zhan, Wenlong Lv, Daoheng Sun*, A novel electrohydrodynamic printing jet head with retractable needle. Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part N: Journal of Nanoengineering and Nanosystems, 2011, 225(2): 85-88.
[5] Yifang Liu, Daner Chen, Liwei Lin, Gaofeng Zheng, Jianyi Zheng, Lingyun Wang*, Daoheng Sun*, Glass frit bonding with controlled width and height using a two-step wet silicon etching procedure, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 26(3): 035018
[6] Xiaohui Du, Yifang Liu, Anlin Li, Zhou Zhou, Daoheng Sun*, Lingyun Wang*, Laterally Driven Resonant Pressure Sensor with Etched Silicon Dual Diaphragms and Combined Beams, Sensors, 2016, 16(2): 158
[7] Zhan Zhan, Lingke Yu, Jin Wei, Cheng Zheng, Daoheng Sun, Lingyun Wang*, Application of Aerosol Jet technology in through via interconnection for MEMS wafer level packaging. Microsystem Technologies, 2015, 21(2): 451-455
[8] 刘益芳，王凌云*，孙道恒，微机械隧道陀螺仪的时变线性二次高斯预测控制，光学精密工程，2011，19（11）：2657-2662
[9] Tingping Lei, Xiaomei Cai, Xiang Wang, Lingke Yu, Xingwang Hu, G. Zheng, Wenglong Lv, Lingyun Wang, Dezhi Wu, Daoheng Sun*, Liwei Lin, Spectroscopic evidence for a high fraction of ferroelectric phase induced in electrospun polyvinylidene fluoride fibers, RSC Adv., 2013, 3: 24952.
[10] Tingping Lei, Lingke Yu, Lingyun Wang, Fan Yang & Daoheng Sun*. Predicting Polymorphism of Electrospun Polyvinylidene Fluoride Membranes by Their Morphologies, Journal of Macromolecular Science, Part B: Physics, 2013, 54(1): 91-101
[11] Wenwang Li, Gaofeng Zheng, Xiang Wang, Yulong Zhang, Lei Li, Lingyun Wang, Han Wang, Daoheng Sun*, Directly electrospun ultrafine nanofibres with Cu grid spinneret. Journal of Physics D: Applied Physics, 2011, 44(13): 135502-135509.
[12] Wang L.,Du X., Su Y., Zhan Z., Zuo W., Sun D.*, Application of nonlinear driving in frequency matching of tunneling gyroscope, 7th IEEE international conference on Nano/Micro Engineered and molecular systems, NEMS 2012, Kyoto, Japan, 2012.3.5-2012.3.8
[13] Wang L.，Su Y.，Lei Y., Li W., Liu Y., Sun D.*, A Novel Bulk Micromachined Tunneling Gyroscope, 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems. February 20-23, 2011, Kaohsiung, Taiwan, P.R. China, 2011.2.20-2011.2.23
[14] Yu L., Wang S., Li Y., Daner Chen D., Liang C., Lei T., Sun D., Zhao Y., Wang L.*, Piezoelectric Performance of Aligned PVDF Nanofibers Fabricated by Electrospinning and Mechanical Spinning. Proceedings of the 13th IEEE International Conference on Nanotechnology, Beijing, China, 2013.8.5-2013.8.8

发明专利
(1)王凌云，蔡建法，李益盼，何勇，杜晓辉，王小萍. 一种喷射点胶头，2015.05.27，中国，ZL2.1
(2)王凌云，陈梦月，梁楚尉，蔡建法，周如海，杜晓辉. 可加热自动对心匀胶机, 2015.05.13，ZL0.5
(3)王凌云，王申，张豪尔，杜晓辉，蔡建法，占瞻，孙道恒. 一种重掺杂硼硅片的再分布方法，2015.04.01,中国，ZL6.8
(4)王凌云，吕文龙，杜晓辉，苏源哲，占瞻，左文佳，孙道恒. 一种微器件的真空封装方法，2015.02.18，中国，ZL0.8
(5)王凌云，杜晓辉，邱小椿，何杰，何广奇，李益盼，孙道恒. 一种硅微谐振式压力传感器及其制作方法，2014.08.27，中国，ZL1.1
(6)王凌云，苏源哲，杜晓辉，占瞻，孙道恒，一种基于纳米压电纤维的压力传感器，2013.07.24，中国，ZL1.3
(7)王凌云，孙道恒，杜江，吴德志，吕文龙，刘益芳. 可起停控制的电纺直写喷头. 发明专利，专利号：ZL3.9.
(8)王凌云，江毅文，杜江，吕文龙，张弛，邹建男，孙道恒. 一种全对称硅微谐振式压力传感器.发明专利，专利号：Zl8.1.
(9)王凌云，席凯伦，杨争雄，左文佳，孙道恒。 一种用于研磨抛光的晶圆粘片机. 实用新型. 专利号：ZL8.5.
(10)王凌云，杜晓辉，占瞻，左文佳，苏源哲，吕文龙，孙道恒。 一种基于智能调温断电保护的电烙铁座. 实用新型. 专利号：ZL7.4.

1.国家自然科学基金面上项目，**，面向MEMS封装的多孔纳米支架基吸气剂的构效关系及能控吸气行为研究，2017/01-2020/12，66万元（直接经费），在研，主持
2.福建省科技计划重大项目，2015H6022，高速高黏度精密喷射点胶系统的产业化研发，2015/04-2018/04，45万元，在研，主持
3.国家自然科学基金青年基金项目，**，近场电纺纳米纤维物理性能的诱变机制与行为规律，2012/01-2014/12，26万元，已结题，主持
4.航空科学基金项目，，硅－玻璃键合片单晶硅层研抛减薄工艺研究，2011/10-2013/10，10万元，已结题，主持
5.中央高校基本科研业务费专项资金’项目，，精密喷射点胶头的研发，2011/10-2013/10，30万元，已结题，主持
6.中航工业产学研专项项目，cxy2013XD31，高性能电容式 MEMS 陀螺仪关键技术研究，2014/09-2016/12，188万元，在研，参加（排名第二）
7.中航工业产学研专项项目，cxy2011XD25，谐振式MEMS压力传感器的关键技术研究，2012/09-2014/12,150万元，已结题，参加（排名第三）
8.国家自然科学基金青年基金项目，**，耦合超高频激振技术制备低应力薄膜的调控机制，2014/01-2016/12，25万元，在研，参加（排名第二）
9.国家自然科学基金重点项目，**，柔性电子跨尺度喷印制造中动力学行为与多场调控，2011/1-2014/12，250万元，已结题，参加（排名第六）
10.企业合作项目“XXXXX无源无线压力传感器的研究（第三期器件工艺）”，保密项目，2014/12-2016/12，140万元，承担项目整体工艺规划及过程管理，在研。
11.企业合作项目“XXXXX压力传感器的工艺研究（第二期器件工艺）”，保密项目，2013/12-2014/12，198万元，承担项目整体工艺规划及过程管理，在研。
12.企业合作项目“XXXXX微机械陀螺仪的工艺研究（第二期器件工艺）”，保密项目，2011/05-2013/05，65万元，承担项目总体规划及实施管理，结题。
13.企业合作项目“XXXXX微机械陀螺仪的工艺研究（第一期关键工艺）”，保密项目，2009/05-2010-12，15万元，承担项目关键工艺实施及规律总结，结题。
14.企业合作项目“XXXXX压力传感器的工艺研究（第一期关键工艺）”，保密项目，2010/01-2010/12，93万元，承担项目整体工艺实施流程及过程管理，结题。
15.企业合作项目“XXXXX压力传感器的拆解及分析报告”，保密项目，2010/06-2011/03，30万，承担项目XXXXX的压力传感器拆解及工艺可行性分析，结题。