椭偏法测量薄膜参数的实验改进
EXPERIMENTAL IMPROVEMENT OF MEASURING THIN FILM PARAMETERS BY ELLIPSOMETRY METHOD 姚志;丁洪斌;杨华; 1:大连理工大学物理与光电工程学院 摘要(Abstract)：

介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整简单易调,测量精度得到提高.

关键词(KeyWords)： 椭偏仪;;载物台;;等幅椭圆偏振光;;光接收器

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作者(Author): 姚志;丁洪斌;杨华;

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