李星辉讲师 电话：　　
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所属学科：仪器科学与技术



【个人简历】
2017年10月至今，清华大学深圳研究生院 讲师
2016年12月-2017年9月，清华大学深圳研究生院 研究助理
2014年11月-2016年11月，清华大学深圳研究生院 博士后
2012年12月-2013年1月，KAIST 访问
2011年11月-2012年1月，清华大学 访问
2011年10月-2014年9月，Tohoku University纳米机械学 工学博士
2008年9月-2011年4月，西安交通大学 机械电子工程 工学硕士
2009年10月-2010年9月，Tokyo Institute of Technology 硕士联合培养
2004年9月-2008年7月，武汉大学 机械设计制造及自动化 工学学士
【教学】
《Applied physics optics》(应用物理光学)双语课程，《微传感器》，《光学测量专题实验》
【研究领域】
从事精密几何量测量、光谱分析和精密运动控制方面的研究，包括光栅干涉测距关键技术研究、全息干涉光刻法光栅加工、平场凹面光栅光谱分析、微小型运动系统开发等。针对高端制造装备精密定位技术的需求，先后研发了六自由度光栅尺和绝对式光栅尺等新型高精度光栅干涉测距系统。针对光栅干涉测距关键元件纳米计量光栅的加工问题，研究了激光相干长度对光栅面积的影响，提出了基于紧凑型半导体激光器的光栅拼接加工技术，降低加工成本的同时，减小了加工系统的占地空间，提出了“三光束-单次曝光”和偏振调制相结合的加工方案，大幅提升了二维光栅加工质量和效率。对环境监测、物质组分分析等领域所广泛需求的光谱分析仪器的小型化需求，研究了基于凹面光栅的光谱仪技术，提出了基于光路补偿的大曲率凹面光栅加工新原理，提出了双狭缝和反射镜两种新型结构，在满足光谱仪小型化的前提下，拓展了可分析光谱的范围，提高了分辨率。
近五年共发表SCI/EI学术论文30篇，其中SCI收录17篇，SCI论文他引30次，EI收录25篇。SCI收录论文中，第一作者、通讯作者14篇，其中JCR一区5篇，JCR二区以上11篇；已授权专利7项；主持中国博士后科学基金面上和特别资助各1项，深圳市基础研究1项，作为核心人员参与了国家自然科学基金重大科研仪器研制项目、深圳市技术攻关、学科布局、产学研合作等共计8项，累计到账经费400余万元。参加领域内国际学术会议口头报告6次。
【研究成果】
1.Xinghui Li, Qian Zhou, Xiangwen Zhu, Lin Yang, Donghan Ma, JIanhui Sun, Kai NI*, Xiaohao Wang* ，Holographic fabrication of an arrayed one-axis scale grating for a two-probe optical linear encoder，Optics Express (accepted for publication) , Optics Express, 25(13), 16028-16039,(2017).
2.Xinghui Li, Kai Ni, Qian Zhou, Peng Yan, Jinchao Pang, and Xiaohao Wang, Improved master-replica separation process for fabrication of a blazed concave grating by using a combination-type convex grating, Applied Optics. 56(2): 298 (2017). (SCI, JCR 二区，IF: 1.598)
3. Xinghui Li, Huanhuan Wang, Kai Ni, Qian Zhou, Xinyu Mao, Lijiang Zeng, Xiaohao Wang, and Xiang Xiao, Two-probe optical encoder for absolute positioning of precision stages by using an improved scale grating, Optics Express. 24(19):21378(2016). (SCI, JCR一区，IF：3.488)
4. Xinghui Li, Wei Gao, Yuki Shimizu, So Ito, A two-axis Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of two dimensional diffraction gratings, CIRP Annals-Manufacturing Technology.63(1):461-464 (2014).(SCI, JCR一区，IF：2.541)
5. Xinghui Li, Jinchao Zhang, Qian Zhou, Kai Ni, Jinchao Pang, Rui Tian, Design of a variable-line-spacing grating pattern for spectrometers based on a grating–Fresnel device, Optics Letters .41(7):1470-1473(2016). (SCI, JCR 一区，IF：3.292)
6. Xinghui Li, Kai Ni, Qian Zhou, Xiaohao Wang, Rui Tian, Jinchao Pang, Fabrication of a concave grating with a large grid-constant via a novel dual-beam interference lithography method, Optics Express. 24(9):10759(2016). (SCI, JCR一区，IF：3.488)
7. Xinghui Li, Tadahiko Shinshi, Wataru Hijikata, Yoshihiro Morimoto, Development of a suspension type sliding planar motion table using magnetic fluid lubrication, Review of Scientific Instruments. 87:065003 (2016). (SCI, JCR二区，IF：1.336)
8.Xinghui Li, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao, Fabrication of scale gratings for surface encoders by using laser interference lithography with 405 nm laser diodes, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing:14(11), 1979-1988 (2013).( SCI, JCR二区，IF:1.585)
9.Xinghui Li, Wei Gao, Hiroshi Muto, Yuki Shimizu, Ito So, Songyi Dian, A six-degree-of-freedom surface encoder for precision positioning of a planar motion stage, Precision Engineering. 37(3):771-781 (2013). (SCI, JCR三区, IF:1.393)
10. Xinghui Li, Yuki Shimizu, Takeshi Ito, Yindi Cai, So Ito, Wei Gao, Measurement of six-degree-of-freedom planar motions by using a multi-probe surface encoder, Optical Engineering. 53(12):094002(2014). (SCI, JCR三区，IF:0.954)
11. Qian Zhou, Xiaorui Qiao, Kai Ni, Xinghui Li*, and Xiaohao Wang, Depth detection in interactive projection system based on one-shot black-and-white stripe pattern, Optics Express. 25(5):5341-5351 (2017). (SCI, JCR一区，IF：3.488) (通讯作者)
12. Qian Zhou, Jinchao Pang, Xinghui Li,* Kai Ni, Rui Tian, Improving the spectral resolution of flat-field concave grating miniature spectrometers by dividing a wide spectral band into two narrow ones, Applied Optics. 54(32): 9450-9455 (2015).( SCI, JCR二区，IF：1.784，通讯作者)
13. Qian Zhou, Jinchao Pang, Xinghui Li*, Kai Ni, Rui Tian,Concave grating miniature spectrometer with an expanded spectral band by using two entrance slits, Chines Optics Letters. 13(11):110501 (2015). (SCI, JCR二区，IF：1.851，通讯作者)
14. Xinghui Li, Xiang Xiao, Kai Ni*, Qian Zhou, Huanhuan Wang, Xiaohao Wang, A precise reference position detection method for linear encoders by using a coherence function algorithm, Proceedings of SPIE, 10023, 100231D(2016).
15.李星輝， 清水裕樹，伊東聡，高偉: ２軸ロイドミラー干渉によるスケール格子の製作に関する研究，日本機械学会東北支部第49期総会講演会講演論文集, (2014)．【日语】
【学术兼职】
《International Journal of Precision Engineering and Manufacturing》杂志编委（韩国精密工学会KSPE主办）；
日本精密工学会（The Japan Society for Precision Engineering）会员；
中国微米纳米技术学会 高级会员；
国际期刊 IEEE Transactions on instrumentation measurement, Chinese Journal of Mechanical Engineering, Optics Communications，审稿人
【奖励荣誉】
1.高被引研究，国际出版集团Elsevier，2017，论文作者排名第一
2.东北大学校长奖，东北大学，日本，2015，单独受奖
3.优秀演讲奖励奖，日本精密工学会东北支部，日本, 2012, 单独受奖
4.西安交通大学优秀研究生干部，西安交通大学，2011，单独受奖
5.武汉大学优秀毕业生，武汉大学，2008，单独受奖
6.武汉大学优秀共产党员，武汉大学，2008，单独受奖
7.武汉大学第六届“自强杯”大学生课外学术科技作品竞赛优秀成果一等奖，武汉大学，2007，单独受奖