中国半导体装备制造业的创新崛起之路
文献类型：期刊
作者：彭效冉[1]
机构：[1]中国人民大学
[2]中国科学院半导体研究所
年：2016
期刊名称：高科技与产业化
期：02
页码范围：86-89
增刊：增刊
语言：中文
ISSN：1006-222X
关键词：制造业现状;半导体设备;半导体工业;协同攻关;技术密集型产业;学科人员;工艺集成;精密光学;国内生产总值;制造业主;
摘要：<正>半导体装备制造业是典型的资本密集型和技术密集型产业,而且是多学科、多工艺集成的具体表现,是一项集半导体材料学、流体力学、化学、精密光学、精密机械学、真空、电子电路、自动化控制和计算机等多学科于一体的大系统工程,需要多学科人员的协同攻关。半导体行业的回升和衰退与国内生产总值(GDP)的回升和衰退密切相关。
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