非传统微纳制备技术在驻极体研究中的应用
文献类型：会议
作者：曹廷炳[1]
机构：[1]中国人民大学化学系
[2]中国人民大学化学系
[3]中国人民大学化学系
[4]中国人民大学化学系
年：2010
会议名称：2010年两岸三地高分子液晶态与超分子有序结构学术研讨会（暨第十一次全国高分子液晶态与超分子有序结构学术论文报告会）
会议论文集： 2010年两岸三地高分子液晶态与超分子有序结构学术研讨会（暨第十一次全国高分子液晶态与超分子有序结
页码范围：3
会议地点：中国河南郑州
会议开始日期：2010-08-23
所属部门：化学系
语言：中文
关键词：非传统技术;聚合物有序组装;驻极体;图案化
摘要：非传统微纳制备技术主要是指软刻蚀及其衍生的技术,与目前在微制造领域广泛使用的光刻蚀技术相比,软刻蚀的优势主要集中在过程简单,成本低,可以有效提高微制作的效率,并且能够实现平面和曲面上的微/纳米图案(1,2,3维)的微图形转移和微制造等方面。
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