非传统微纳加工技术在驻极体领域的应用
文献类型：会议
作者：曹廷炳[1]
机构：[1]中国人民大学化学系
[2]中国人民大学化学系
[3]中国人民大学化学系
[4]中国人民大学化学系
年：2009
会议名称：2009年全国高分子学术论文报告会
页码范围：1
会议地点：中国天津
会议开始日期：2009-08-18
所属部门：化学系
语言：中文
关键词：微纳加工;图案化;驻极体;自组装
摘要：微纳米精细图案化在微电子行业、化学和生物分析、微流体、光子晶体、微机电以及生物芯片等领域有着广泛的应用,而软刻蚀等非传统微纳米加工技术较之传统的光刻技术在成本、环境适应性以及可操作性等方面显示了重要的优势。我们为了在驻极体——一类能够研
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