近年来,中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室(筹)微加工实验室一直致力于3D微纳结构的加工方法和器件应用研究。他们发明了一种基于聚焦离子束的应变诱导3D微纳米结构加工新方法,可以将一维和二维材料进行不同程度的多次有序折叠,实现纳米结构单元在空间、尺寸、周期与几何形貌可调制的大面积可控加工[Appl. Phys. Lett. 102, 213112 (2013); Light: Science & Application 4, e308 (2015);Sci. Rep. 6, 28764 (2016)]。最近,该实验室的刘哲博士以及李俊杰和顾长志研究员等将这种折叠式3D结构的材料从金属纳米线和纳米薄膜扩展到金属/介质复合结构,以透明SiNx薄膜为骨架,利用聚焦离子束应变诱导折叠加工工艺,将微米尺寸的金属开口谐振环结构在3D空间以不同的开口方向和空间位置进行组合,获得具有高构型自由度的3D光学超材料(图1)。在垂直方向入射光的激发下,金属谐振环产生LC共振,不同开口方向谐振环的共振模式发生耦合,导致磁偶极矩沿环形首尾相接,形成环磁偶极共振(图2)。该环磁共振位于中红外波段,且品质因子高达20.78,是在光频波段已有报导的最高值。通过分析环磁偶极矩的辐射能量谱,他们观察到在共振频率处TZ取得最大值,证明了环磁偶极共振的存在。为了使环磁偶极辐射的强度高于电偶极和磁偶极,他们利用斜入射的TM波进行激发,发现随着入射角度的增加,TZ辐射分量逐渐增强,并且在75°入射角时其辐射强度超过电偶极和磁偶极,同时仍保持较高的品质因子(图3)。这一结果证明了利用折叠式3D结构实现高品质因子环磁偶极共振的可能性,显示出在高性能传感和等离激元激光等领域的广泛应用前景。该研究结果作为Frontispiece发表在Advanced Materials 29, 1606298 (2017)上。
以上工作得到了科技部(2016YFA0200803, 2016YFA0200400, 2016YFA0301102)、国家自然科学基金委员会(91323304, 11504414, 11674387, 11574368, 61505164, 11574369, 11574385)和中国科学院相关项目的资助。
Frontispiece |
图1:利用聚焦离子束折叠加工方法制备3D金属/介质复合结构的流程图和SEM图 |
图2:环磁偶极超材料的透过谱和多极矩远场辐射谱 |
图3:斜入射激发时样品的多极矩辐射强度和不同角度下的透过谱 |
Liu_et_al-2017-Advanced_Materials.pdf