中科院化学所和理化所联合研发的“极紫外光刻胶”入选中国科协“科创中国”先导技术榜单，成为先进材料领域10项先导技术之一。“极紫外光刻胶”由中国感光学会向中国科协推荐。
“极紫外光刻胶”研发团队由化学所和理化所共同建立，是国内最早从事EUV光刻胶研发的专业团队。团队面向国家半导体产业重大需求，瞄准国外垄断的EUV光刻技术材料领域，着力研发EUV光刻胶材料和相关设备，解决半导体领域关键材料和设备“卡脖子”问题。团队先后承担了国家02专项、中国科学院先导项目和国家自然科学基金委项目的光刻胶研发任务，开发出具有国际先进水平和完全自主知识产权的EUV光刻胶，实现了从材料设计到中试生产的全流程，填补了国内技术空白。标志着我国在高端光刻胶领域已跻身世界先进行列，为国内半导体产业安全、国家经济安全和信息安全提供有力保障。
附：2020年“科创中国”先导技术榜单
聚焦电子信息、生物医药、先进材料、装备制造、资源环境等五个“科创中国”试点城市（园区）需求最为集中、最为迫切的领域，优选能够代表前沿水平，实现技术重大突破，商业模式可见、商业潜力巨大的50项技术成果。这些技术成果达到了一定成熟度且通过早期验证，具备技术转化条件。本榜单排名不分先后。
【电子信息领域】
大长径比纳米探针可控制备技术及应用
高光效黄光LED 材料与芯片制造技术
高精度定位平台
硅基光电子集成技术
珞珈一号01 星设计与数据处理关键技术
人工智能基层临床辅助决策
柔性电子多维感知及应用
四维地球遥感云服务平台
天眼情报——隐匿网络空间情报监测与溯源分析
虚拟手术关键技术及应用
【生物医药领域】
仿病毒纳米药物载体——高分子囊泡
腹部提压心肺复苏技术
基于GPU 并行处理架构的新一代超声诊断仪关键技术
基于大数据和人工智能的药物设计前沿技术
基于结构和计算机虚拟筛选的中药现代化项目
聚焦超声治疗技术
抗新型冠状病毒感染肺炎的多肽融合抑制剂研发
全智能植物工厂产业化关键技术
新型冠状病毒灭活疫苗的研制
移动分子诊断技术
【先进材料领域】
超纯净高稳定性轴承钢关键技术研究与开发
大尺寸铌酸锂晶体、单晶薄膜及器件
DNA 纳米机器疫苗
高功率高能量先进储能技术
极紫外光刻胶
可高温炭化不熔滴阻燃聚酯及纤维
全光谱高显色LED 照明用高性能荧光粉及应用
生物医用颗粒的可控制造技术
系列耐高温双马树脂基复合材料关键技术及开发应用
先进交通运输装备用高性能粉末冶金摩擦材料制备与应用技术
【装备制造领域】
第三代半导体碳化硅高温化学气相沉积外延设备
多通道数控纺纱机与数字化彩色纺纱技术
高效动压气悬浮制冷离心压缩机技术
高性能机器人触觉传感智能系统
连续纤维增强复合材料3D 打印工艺及装备
时速350 公里“复兴号”动车组研制
微纳材料表面纳米包覆技术和装备
一种压力自匹配能量利用技术
中药全产业链智能制造解决方案
50% 热效率高效高可靠性柴油机关键技术及应用
【资源环境领域】
废弃锂电池中稀有金属的高值化回收关键技术及推广应用
钢铁烟气超低排放多功能耦合关键技术
高效治理有害藻华的绿色环保新材料及其专用设施设备
基于MBBR 功能性载体的污水深度脱氮处理及原位提标改造关键技术
基于地震动信号反演的重大地质灾害（链）事件与风险一体化预警方法
聚酯纤维筒子纱超临界二氧化碳无水染色技术
空间基因解析与传承技术
锂电池废料短程利用与污染全过程控制技术
一种沙漠造林方法
重金属污染耕地土壤的安全可持续利用技术
