纳米加工与新器件集成技术研究室主要从事下一代先进新型存储器、碳基电子器件及集成、衍射光学元件、新型传感器、先进光学掩模制造与纳米加工技术等基础前沿领域研究，是国内最早开展微纳光刻与纳米加工技术研究的单位之一。研究室拥有一支在领域内有影响力的科研团队，拥有深厚的技术积累和一条先进完整的纳米加工科研线，具备扎实的纳米材料制备与加工、表征与检测基础和丰富工艺经验，在相关研究领域形成了自有特色。

　　研究室先后承担和参与了多项国家科技重大专项、“863”计划、“973”计划、国家自然科学基金和中国科学院等项目和任务。近5年在EDL、APL、OL、TED、Sensor B、JAP等国际权威期刊上发表论文50多篇，荣获国家技术发明二等奖1项、国家科技进步奖二等奖1项、北京市科技进步一等奖2项和部级二等奖1项，研究成果应邀参加“十五”863成就展和“十一五”国家重大科技成就展。

　　研究室积极与国内外著名大学、公司开展合作研究，联合进行人才培养，与上海宏力、中芯国际等国际先进半导体集成电路芯片制造企业开展多元、长期、有效的科技成果转化合作，为国内外数百家高科技企业、高校和研发机构提供制版和工艺支撑服务。

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