基本信息
张立超 男 硕导 长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件：lichaod@yahoo.com.cn
通信地址：长春市东南湖大路3888号
邮政编码：130033

研究领域

招生信息
招生专业070207-光学

招生方向 光学薄膜技术



教育背景 2004-03--2007-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 博士
2000-09--2003-06 吉林大学 硕士
1996-09--2000-06 吉林大学 学士

学历
学位

工作经历
工作简历 2009-09--2012-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 副研究员
2007-09--2009-08 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 助理研究员

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果

出版信息
发表论文 （1） 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展，Developments of DUV coating technologies in CIOMP，光学精密工程，2012，第1作者
（2） 极紫外多层膜光栅技术研究进展，Multilayer Grating Technologies for EUV，光机电信息，2011，第1作者
（3） 多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究，Effect of Multilayer Coatings on Groove Shapes of Grating Substrates，光机电信息，2011，第1作者
（4） 溅射法制备多层膜沉积速率的标定，Cablication of deposition of deposition rates of multilayer coatings by sputtering depositions，光学精密工程，2010，第1作者
（5） 晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定，Accurate Calibration of Tooling Factors for Quartz Crystal Coating Thickness Monitoring Technique，光机电信息，2010，第1作者
（6） 极紫外多层膜技术研究进展，Progress in EUV multilayer coating technologies，中国光学（中国光学与应用光学），2010，第1作者
（7） 纳米级薄膜厚度的精确测量，Accurate Determination of Thicknesses for Nanometer Thin Ffilms，光机电信息，2010，第1作者
（8） Fabrication and efficiency measurement of a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for the extreme ultraviolet wavelength region，Chinese Optics Letters ，2009，第2作者
（9） Broadband multilayer coated normal incidence blazed grating with 10 percent diffraction efficiency through the 13 to 16 nm wavelength region，Optics Letters，2009，第1作者
（10） High-efficiency multilayer-coated ion-beam-etched blazed grating in the extreme ultraviolet wavelength region，Optics Letters ，2008，第2作者

发表著作

科研活动
科研项目 （1） XXX光学元件制造技术研究，参与，国家级，2009-01--2013-12

参与会议 （1） Method to accurate calibrate deposition rates of EUV multilayer coatings，2012年光学薄膜前沿国际会议，2012-10，张立超，高劲松
（2） Developments of high performance multilayer gratings for EUV，微纳光学工程国际会议(ICOME)，2011-06，张立超
（3） Broadband multilayer gratings, a novel application for non period multilayer coatings for EUV region，2009年光学薄膜前沿国际会议，2009-10，张立超


合作情况
项目协作单位

指导学生现指导学生
赵灵硕士研究生085202-光学工程