基本信息
袁泉男硕导中国科学院半导体研究所
电子邮件： yuanquan@semi.ac.cn
通信地址： 北京市海淀区清华东路甲35号
邮政编码：
部门/实验室：集成技术中心
研究领域

招生信息
招生专业080501-材料物理与化学
080502-材料学
080503-材料加工工程

招生方向半导体材料，MEMS，微纳传感器
射频器件，能量采集器
柔性器件


教育背景2007-09--2012-07北京大学硕博连读
2002-09--2006-07西北工业大学本科

学历
学位

工作经历
工作简历2012-09~现在,中国科学院半导体研究所/国科大,助理研究员/副研究员

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种封装结构及其应用, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 7.5
（ 2 ） 频率可调的 MEMS 谐振器, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 0.6
（ 3 ） 一种微机械谐振器及其制作方法, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 7.1
（ 4 ） 微型电磁式能量采集器及制备方法, 发明, 2009, 第 1 作者, 专利号: ZL1.9
（ 5 ） 频率可调的 MEMS 滤波器, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL7.1


出版信息
发表论文（1）Design and Characterization of a 3D Encapsulation with Silicon vias for RF MEMS Resonators,Chin. Phys. B,2017,第2作者
（2）A Low Feed-through 3D Vacuum Packaging Technique with Silicon Vias for RF MEMS Resonators,J. Micromech. and Microeng.,2016,第2作者
（3）A zero-level vacuum encapsulation technique with less parasitic effect for VHF MEMS resonators,Sens. Actuators, A,2016,第2作者
（4）Frequency stability of RF-MEMS disk resonators,IEEE transactions on electron devices,2015,第1作者
（5）Frequency Stability of RF Oscillator with MEMS-based Encapsulated Resonator,18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2015),2015,第1作者
（6）Design and Fabrication of Integrated Magnetic MEMS Energy Harvester for Low Frequency Applications,Journal of Microelectromechanical Systems,2014,第1作者
（7）Electrodeposition and characterization of CoNiMnP permanent magnet arrays for MEMS sensors and actuators,Sensors and Actuators A,2012,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 集成化高性能微纳机电射频谐振器件研究, 参与,国家级,2013-01--2017-12
（ 2 ） 硅基MEMS射频前端模块技术研究, 参与,国家级,2018-01--2022-12
（ 3 ） 基于机械耦合谐振器的MEMS超窄带滤波器研究, 主持,国家级,2015-12--2017-12
（ 4 ） 可调MEMS 耦合谐振窄带滤波器研究, 主持,市地级,2016-12--2019-01
（ 5 ） 高灵敏、快速病原微生物检测系统研制, 参与,部委级,2017-01--2018-12
（ 6 ） 基于射频MEMS器件的低功耗无线生化信号传输系统, 参与,部委级,2017-01--2021-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生