基本信息
杨恒男博导中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： h.yang@mail.sim.ac.cn
通信地址： 长宁路865号
邮政编码： 200050

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085208-电子与通信工程

招生方向微纳机电加工


教育背景1998-02--2001-01复旦大学博士
1995-09--1998-01复旦大学研究生（提前攻博）
1990-09--1995-07复旦大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2003-09~现在,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,副研究员/研究员
2001-04~2003-08,Delft University of Technology, the Netherlands,博士后
1998-02~2001-01,复旦大学,博士
1995-09~1998-01,复旦大学,研究生（提前攻博）
1990-09~1995-07,复旦大学,学士

社会兼职

教授课程微机电系统设计


专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种多晶硅应力传感器及其制作方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: 4.1
（ 2 ） 多层多采集点的起重机械结构健康监测系统, 2013, 第 2 作者, 专利号: 20**
（ 3 ） 一种压阻式加速度传感器及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 2.8
（ 4 ） 一种压阻式加速度传感器及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 3.1
（ 5 ） 耦合谐振的谐振式应变传感器, 2015, 第 1 作者, 专利号: 1.X
（ 6 ） N型重掺杂恒温控制振荡器及其恒温控制方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 9.7
（ 7 ） 压阻式恒温控制振荡器及其制备方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 4.1
（ 8 ） 微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 6.7
（ 9 ） 硅基电容式声发射传感器及其制备方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 8.X
（ 10 ） 一种用于硅基MEMS电容式传感器的防静电结构, 2017, 第 2 作者, 专利号: 3.8
（ 11 ） 一种硅通孔互连的制作工艺、由此形成的硅通孔互连结构及其应用, 2018, 第 2 作者, 专利号: 2.1


出版信息
发表论文（1）Oven controlled N++ [100] length-extensional mode silicon resonator with frequency stability of 1 ppm over industrial temperature range,Journal of Micromechanics and Microengineering,2017,第11作者
（2）Transferring stress and temperature sensors for stress measurement of wafer level packaging,Microsystem Technologies,2017,第11作者
（3）Fabrication of high aspect ratio self?aligned stepped polysilicon electrode for single?crystal silicon microstructure,Microsystem Technologies,2017,第11作者
（4）Electrostatic tuning in linear regime for 25.9?MHz micromechanical resonator with 120?nm capacitive gap,Microsystem Technologies,2017,第11作者
（5）Symmetrical design in piezoresistive sensing for micromechanical resonator,Microsystem technologies,2015,第11作者
（6）A novel approach for MEMS with galvanic protection on SOI wafer,Microsystem Technologies,2014,第11作者
（7）Field-effect piezoresistors for vibration detection of nanobeams by using monolithically integrated MOS capacitors,Journal of Micromechanics and Microengineering,2013,第11作者
（8）Nanofabrication, effects and sensors based on micro-electro-mechanical systems technology,Philosophical Transactions of the Royal Society,2013,第3作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 硅基MEMS射频前端模块技术研究, 参与,国家级,2018-01--2022-12
（ 2 ） 中医诊断传感器研制及微系统集成, 参与,省级,2018-07--2020-06

参与会议（1）Micro-oven-controlled MEMS oscillator with electrostatic tuning for frequency trimming1.Binbin Pei, Peng Zhong, Ke Sun, Heng Yang, and Xinxin Li2018-01-21
（2）Wide bandwidth capacitive acoustic emission sensorHeng Yang, Ke Sun, Binbin Pei, Chuanguo Dou and Xinxin Li2017-06-18
（3）Frequency trimming of silicon resonators after package with integrated micro-evaporators3.Weilong You, Heng Yang, Binbin Pei, Ke Sun, Xinxin Li2017-01-22
（4）Phase noise suppression effect at the turnover temperature in oven controlled MEMS oscillator4.Weilong You, Heng Yang, Ke Sun, Binbin Pei, Xinxin Li2017-01-22
（5）Micro-oven-controlled N++ [100] length-extensional-mode oscillator for near zero temperature driftWeilong You, Lei Zhang, Lijian Yang, Heng Yang, XinXin Li2016-01-25
（6）DOUBLE-ENDED TUNING FORK RESONANT STRAIN SENSOR OPERATED IN ATMOSPHERIC ENVIRONMENT USING A GALVANIC PROTECTION TECHNIQUEWenshan Wei, Feng Yu, Weilong You,Dayang Liu, Heng Yang, Xinxin Li2015-06-23
（7）Study on Silicon Oscillators for Timing ApplicationsHeng Yang, Xinxin Li2015-02-20
（8）Fabrication of z-axis accelerometer with galvanic etch stop and antifuse isolationXiang Jiang, Heng Yang, Yanhong Wu, Xinxin Li, Yuelin Wang2013-11-03
（9）硅基MEMS技术现状与发展趋势杭州（国际）物联网传感技术高峰论坛杨恒，李昕欣2013-10-23
（10）A Transfer Technique of stress sensors for versatile applicationsC. Dou, H. Yang, Y. Wu, X. Li, Y. Wang2013-04-07


合作情况
项目协作单位

指导学生