基本信息
杨富华男博导中国科学院半导体研究所
电子邮件： fhyang@semi.ac.cn
通信地址： 北京912信箱
邮政编码： 100083
部门/实验室：集成技术中心
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
080901-物理电子学
085208-电子与通信工程

招生方向MEMS
纳米结构光电子物理与器件
纳米结构光电子物理和器件


教育背景1993-10--1998-07法国Paul Sabatier大学硕士和博士学位
1979-09--1983-07南开大学大学/学士

学历
学位

工作经历
工作简历1993-10~1998-07,法国Paul Sabatier大学,硕士和博士学位
1983-09~2016-08,中国科学半导体研究所,助理研究员、副研究员、研究员
1979-09~1983-07,南开大学,大学/学士

社会兼职

教授课程半导体量子电子器件物理
科学前沿进展名家系列讲座III
半导体器件物理


专利与奖励
奖励信息（1） 政府特殊津贴专家, , 国家级, 2011

专利成果（ 1 ） 一种水平全限制相变量子点相变机理的检测方法, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL. 4.3
（ 2 ） 一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: ZL. 5.4
（ 3 ） 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法, 2015, 第 5 作者, 专利号: ZL.9.0
（ 4 ） 具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法, 2016, 第 5 作者, 专利号: ZL. 9.8
（ 5 ） 太赫兹波探测器, 2017, 第 3 作者, 专利号: ZL.6.1
（ 6 ） 基于埋层的垂直结构存储器的制备方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: ZL.6.4
（ 7 ） SOI叉指结构衬底Ⅲ-Ⅴ族材料沟道薄膜晶体管及制备方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: ZL.4.7
（ 8 ） 基于腐蚀的水平全限制相变存储器的自对准制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: ZL.1.1


出版信息
发表论文（1）A Double-Step Unscented Kalman Filter and HMM-Based Zero-Velocity Update for Pedestrian Dead Reckoning Using MEMS Sensors,IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS,2020-01,第11作者
（2）Observation of hopping transitions for delocalized electrons by temperature-dependent conductance in silicon junctionless nanowire transistors,Chin. Phys. B,2019-10,第7作者
（3）Asymmetry Analysis of the Resonance Curve in Resonant Integrated Optical Gyroscopes,sensors,2019-07,第2作者
（4）Enhancing oxidation rate of 4H–SiC by oxygen ion implantation,J Mater Sci,2019-06,第11作者
（5）Si-grating-assistedSPRsensorwithhighfigureofmeritbasedonFabry–Pérot cavity,Optics Communications,2019-05,第5作者
（6）Research on Wafer-Level MEMS Packaging with Through-Glass Vias,micromachines,2018-12,第11作者
（7）High-efficiency photon capturing in ultrathin silicon solar cells with double-sided skewed nanopyramid arrays,Journal of Optics，J. Opt.,2017,第11作者
（8）Analysis of Substrate Effect in Field Effect Transistor Terahertz Detectors,IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics,2016,第11作者
（9）A low feed-through 3D vacuum packaging technique with silicon vias for RF MEMS resonators,Journal of Micromechanics and Microengineering,2016,第5作者
（10）A zero-level vacuum encapsulation technique with less parasitic effect for VHF MEMS resonators,Sensors & Actuators: A. Physical,2016,第6作者
（11）A high accuracy cantilever array sensor for early liver cancer diagnosis,Biomedical Microdevices,2016,第8作者
（12）Observation of Degenerate One-Dimensional Subbands in-Single n-Channel Junctionless Nanowire Transistors,IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS,2015,第11作者
（13）Electron transport behaviors through donor-induced quantum dot array in heavily n-doped junctionless nanowire transistors,JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2015,第11作者
（14）A novel MEMS electromagnetic actuator with large displacement,Sensors and Actuators A,2015,第4作者
（15）Frequency Stability of RF-MEMS Disk Resonators,IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES,2015,第4作者
（16）A novel MEMS actuator with large lateral stroke driven by Lorentz force,J. Micromech. Microeng,2015,第4作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） MEMS器件的研发, 主持,院级,2016-01--2020-12
（ 2 ） 基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工与器件应用研究, 参与,国家级,2016-07--2021-06

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生