基本信息
杨宝喜男硕导中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件： yangbx@siom.ac.cn
通信地址： 上海市嘉定区清河路390号上海光机所信息光电实验室
邮政编码： 201800
部门/实验室：信光
研究领域

招生信息
招生专业080300-光学工程

招生方向光学设计
光刻机照明系统
精密光电测量技术


教育背景2004-09--2007-07长春理工大学光学工程硕士
2000-09--2002-01北京理工大学光学设计进修
1990-09--1994-06长春光学精密机械学院工学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2008-02~现在,中国科学院上海光学精密机械研究所,工作
2004-09~2007-07,长春理工大学,光学工程硕士
2000-09~2002-01,北京理工大学,光学设计进修
1994-07~2008-01,国营第二五八厂,高级工程师
1990-09~1994-06,长春光学精密机械学院,工学学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 光学系统定心定位装置及其使用方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: CNB
（ 2 ） 光刻机设备用离轴照明装置, 2013, 第 1 作者, 专利号: CNB
（ 3 ） 光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法, 2013, 第 3 作者, 专利号: CNB
（ 4 ） 光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 0.X
（ 5 ） 透镜组镜面间距的测量装置和测量方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 1.4
（ 6 ） 高精度光学间隔测量装置和测量方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 2.5


出版信息
发表论文（1）基于低相干光干涉的大量程高精度镜面间距测量方法,光学学报,2016,第11作者
（2）大口径凸非球面面形检测方法研究,中国激光,2014,第11作者
（3）用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计,中国激光,2013,第11作者
（4）星敏感器光学系统的研制与性能测试,光学学报,2013,第11作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 高NA浸没曝光照明系统关键技术研究, 参与,国家级,2009-07--2013-12
（ 2 ） 浸没式曝光光学系统研制与小批量产品生产能力建设, 参与,国家级,2016-01--2019-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生