基本信息

谭鑫男 研究员 博士生导师 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件： xintan_grating@163.com tanxin@ciomp.ac.cn
通信地址： 吉林省长春市东南湖大路3888号
邮政编码： 130033
长期从事全息离子束刻蚀光栅的设计、开发、制作及光栅制造、检测装备的研制等科研工作，在凹面光栅消像差设计、光栅槽形结构优化设计、全息-离子束刻蚀工艺过程模拟等方面进行了诸多创新性工作，形成了稳定的研究方向与研究队伍。主持参与多项国家科技计划项目，科技部“国家重大科学仪器研发专项”-高端光栅研发子课题“全息光栅设计、制造与检测”负责人；“国家863重大项目”-高光谱与高空间分辨率CO₂探测仪子课题“碳卫星光栅研制”项目负责人等国家级课题负责人；中国科学院重大科研装备研制项目“多功能曲面光栅性能测试系统的研制”等课题；2011年获吉林省科技进步一等奖；在《Optics Express》、《Applied Optics》、《Ultrasonics Sonochemistry》、《物理学报》、《光学学报》和《光学精密工程》等国内外权威期刊上发表学术论文30余篇，其中被SCI（EI）检索28篇，申请发明专利17项，授权发明专利11项。




教育背景2006-06--2007-06康奈尔访问学生
2003-07--2008-07中国科学技术大学博士
1999-07--2003-07中国科学技术大学本科


工作经历
工作简历2008-07~现在,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,副研究员
2006-06~2007-06,康奈尔,访问学生
2003-07~2008-07,中国科学技术大学,博士
1999-07~2003-07,中国科学技术大学,本科

社会兼职2017-01-01-今,《Optic Express》评审专家,
2016-05-01-今,Elsevier评审专家,
2014-01-01-今,《纳米技术与精密工程》评审专家,


教授课程离子束刻蚀技术


专利与奖励
奖励信息（1） 吉林省科技进步一等奖, 国家级, 2012
（2） 科技创新论坛一等奖, 国家级, 2007
（3） 科技创新论坛二等奖, 部委级, 2006

专利成果（ 1 ） X射线全系衍射光栅分束器, 发明, 2008, 第 2 作者, 专利号: 5.0
（ 2 ） 调整闪耀光栅离子束刻蚀装置中栅 线与束流垂直度的方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN6.2


出版信息
发表论文（1）Convex blazed grating of high diffraction efficiency fabricated by swing ion-beam etching method,Optics Express,2018,通讯作者
（2）The effect of ultrasonic vibration and surfactant additive on fabrication of 53.5 gr/mm silicon echelle grating with low surface roughness in alkaline KOH solution,Ultrasonics - Sonochemistry,2018,通讯作者
（3）Study of influence of the removal depth of the silicon modification layer on grating structures in reaction-sintered silicon carbide substrate and improvement method,Applied Optics,2018,通讯作者
（4）用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析,光学精密工程,2018,通讯作者
（5）The effect of ultrasonic vibration and surfactant additive on fabrication of 53.5 gr/mm silicon echelle grating with low surface roughness in alkaline KOH solution,Ultrasonics Sonochemistry,2018,通讯作者
（6）实现高端全息光栅技术突破　辐射带动光谱产业进步 ——国家重大科学仪器设备开发专项项目“高端全息光栅研发”成果,科技成果管理与研究,2017,第1作者
（7）深紫外倍频用KBBF晶体光栅耦合器设计,光学精密工程,2017,第1作者
（8）Effect of ultrasonic agitation and surfactant additive on surface roughness of Si(111) crystal plane in alkaline KOH solutionl,Ultrason. Sonochem.,2016,通讯作者
（9）Fabrication of high-efficiency and low-stray-light grating by inductively coupled plasma(ICP) etching-polishing method,Optics Express,2016,第1作者
（10）反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅,纳米技术与精密工程,2015,第1作者
（11）宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺,光学精密工程,2015,通讯作者
（12）Numerical simulation of ultrasonic enhancement on mass transfer in liquid-solid reaction by a new computational model,Ultrason. Sonochem.,2014,第3作者
（13）The effects of ultrasound frequency and power on the activation energy in Si-KOH reaction system,Chin. Chem. Lett.,2014,通讯作者
（14）超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响,光学学报,2014,通讯作者
（15）基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅,光学精密工程,2013,第1作者
（16）Fabricate blazed concave gratings by curing ion beam etching,Adv. Mater. Res.,2013,第1作者
（17）闪耀全息光栅离子束刻蚀工艺模拟及实验验证,光学精密工程,2012,通讯作者
（18）Fabrication of high-efficiency ultraviolet blazed gratings by use of direct Ar2–CHF3 ion-beam etching through a rectangular photoresist mask,Proc. of SPIE ,2011,第1作者
（19）基于矩形掩模离子束刻蚀工艺制作紫外全息闪耀光栅,光学精密工程,2011,第1作者
（20）紫外全息闪耀光栅的制作,光学精密工程,2010,第1作者
（21）Performance of a soft x-ray splitter grating parallelism measuring system by diffraction method,Journal of Functional Materials and Devices,2009,第1作者
（22）13.9nm Laminar分束光栅的研制,光学精密工程,2009,第1作者
（23）Soft x-ray holographic grating beam splitter including a double frequency grating for interferometer pre-alignment,Optic Express,2009,第1作者
（24）变间距光栅光谱分辨研究,光学精密工程,2008,第2作者
（25） The splitter grating used in the soft x-ray laser interferometer for plasma diagnosis,Proc. of SPIE,2007,第1作者
（26）Measuring the parallelism of the splitter grating used in a soft X-ray laser interferometer,Proc. of SPIE,2007,第1作者
（27）Design and fabrication of soft X-ray blazed diffraction gratings,Proc. of SPIE,2006,第2作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 国家重大科研装备研制项目, 参与,国家级,2008-07--2012-12
（ 2 ） 863重大项目, 主持,国家级,2011-03--2014-03
（ 3 ） 中国科学院重大科研装备研制项目, 主持,部委级,2010-07--2012-07
（ 4 ） 国家创新方法工作专项项目, 参与,国家级,2008-07--2012-07
（ 5 ） 吉林省科技发展计划项目, 参与,省级,2010-07--2013-07
（ 6 ） 吉林省科技发展计划项目, 参与,省级,2008-06--2012-06
（ 7 ） 高端全息光栅研发, 主持,国家级,2011-10--2017-09
（ 8 ） 1.5米扫描干涉场曝光系统, 参与,国家级,2012-01--2017-12
（ 9 ） 大相对孔径高衍射效率消像差凹面光栅的纳米压印-分区摆动刻蚀制作方法研究, 主持,国家级,2017-01--2017-12

参与会议

合作情况
项目协作单位（1）中国科学技术大学
（2）吉林大学
（3）中国工程物理研究院




指导学生已指导学生
孟竹硕士研究生070207-光学
现指导学生
张嘉航硕士研究生070207-光学
刘爽硕士研究生080300-光学工程
沈晨博士研究生070207-光学
宁鸿章硕士研究生080300-光学工程