基本信息
齐月静女博导中国科学院微电子研究所
电子邮件： qiyuejing@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100094
部门/实验室：光刻总体部
研究领域

招生信息
招生专业080300-光学工程

招生方向精密仪器与光学


教育背景2002-09--2007-03北京理工大学硕博连读

学历 北京理工大学 -- 研究生

学位 北京理工大学 -- 博士

出国学习工作

工作经历2007年~2009年，北京理工大学博士后流动站。
2009年~至今，中国科学院光电研究院光电工程部。
工作简历2015-01~现在,中国科学院光电研究院,研究员
2009-06~现在,中国科学院光电研究院,副研究员
2007-04~2009-06,北京理工大学,博士后

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种调焦调平装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL0.4
（ 2 ） 一种调焦调平装置的起偏光路, 实用新型, 2012, 第 2 作者, 专利号: ZL1.7
（ 3 ） 一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL0.6
（ 4 ） 基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL9.0
（ 5 ） 一种V形块位置转换机构, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 7.7
（ 6 ） 一种内窥镜用摄像适配器光学系统, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CNB
（ 7 ） 一种用于内窥镜摄像适配器的光机结构, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: CNA
（ 8 ） 一种光刻投影物镜系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CNB
（ 9 ） 一种光学系统波像差测量装置与测量方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: CNB
（ 10 ） 一种微孔衍射波前质量的测量装置与方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CNB
（ 11 ） 一种激光干涉仪调整座, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CNA
（ 12 ） 一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 2.4
（ 13 ） 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 1.X
（ 14 ） 一种基于夏克哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 6.9
（ 15 ） 一种光谱共焦测量系统在线标定装置与方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 7.1


出版信息
发表论文（1）环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析,analysis of effect of ambient temperature variation on measurement accuracy of shack-hartmann wavefront sensor,中国激光,2016,第2作者
（2）Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor,SPIE,2016,第3作者
（3）环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析,中国激光,2016,第2作者
（4）Analysis of the pinhole array illumination source for high precision wavefront error metrology,SPIE,2015,第2作者
（5）Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor,SPIE,2015,第2作者
（6）照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析,中国激光,2015,第1作者
（7）Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor,Proc. SPIE Vol.9621(2015),2015,第2作者
（8）Effect of illumination parameters on the quality of wave-front diffracted by pinhole,Proc. SPIE Vol.9282(2014),2014,第2作者
（9）亚波长金属单狭缝填充金属条的聚焦特性研究,激光与光电子学进展,2014,第2作者
（10）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor,Proc. SPIE Vol.9282(2014),2014,第1作者
（11）基于光弹调制器的对准光路装调方法,Installation and Setting Method of Alignment System based on Photoelastic Modulator,仪器仪表学报,2012,第2作者
（12）基于FPGA的非标准二次群路的分接处理,仪器仪表学报,2008,第2作者
（13）基于虚拟仪器的大型温度场测试系统,仪器仪表学报,2008,第1作者
（14）Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method,spie,2007,第1作者
（15）提高二元计算全息图设计精度的新途径,光学技术,2007,第1作者
（16）Compensator design for aspheric testing using virtual glass model,spie,2007,第3作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） NA0.75光学系统样机攻关/投影曝光系统像质参数检测, 主持,国家级,2009-07--2017-12
（ 2 ） 光学外差干涉测量技术研究, 主持,院级,2015-01--2016-05
（ 3 ） 高NA浸没光学系统关键技术研究/投影曝光系统系统参数检测, 主持,国家级,2017-05--2018-12
（ 4 ） 20W 4KHz ArF曝光光源研发/准分子激光器模块设计与检测平台研究, 主持,国家级,2009-07--2017-12

参与会议（1）confocal position alignment in high precision wavefront error metrology using shack-hartmann wavefront sensor国际先进光刻技术会议2016-02-24
（2）A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor国际先进光学制造与检测学术会议齐月静2014-04-26
（3）Design of a CGH wavefront generator for aspheric testing with wavefront tracing method国际先进光学制造与检测学术会议qiyuejing2007-08-16


合作情况
项目协作单位

指导学生已指导学生
李伟超**
孟庆宾**
现指导学生
庄函**
马敬**