基本信息
欧文男硕导中国科学院微电子研究所
电子邮件： ouwen@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
部门/实验室：感知中心
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程

招生方向集成电路先导工艺技术
MEMS传感器技术


教育背景1989-09--1992-07中国科技大学研究生院（北京）硕士
1985-09--1989-07浙江大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2009-05~现在,中国科学院微电子研究所,研究员
1997-07~1998-07,香港科技大学,访问
1992-08~1997-07,中国科学院微电子中心,助理研究员

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息（1） 北京市科技进步奖, 二等奖, 省级, 2005

专利成果（ 1 ）  红外焦平面阵列器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 2.8
（ 2 ） 非制冷红外探测器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 3.0
（ 3 ） 非平面结构的非挥发性存储器单元及制作方法, 发明, 2003, 第 1 作者, 专利号: **.0
（ 4 ） 嵌入式快闪存储器中隧穿氧化层的制备方法, 发明, 2005, 第 1 作者, 专利号: **.2
（ 5 ） 红外焦平面阵列器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 7.8
（ 6 ） 热电堆红外探测传感器及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 1.8
（ 7 ） 微透镜阵列及其制作方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 1.6
（ 8 ） 一种双面微透镜阵列及其制造方法, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: 6.7


出版信息
发表论文（1）基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试平台,红外与激光工程,2014,通讯作者
（2）Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology,AIP Advances,2014,通讯作者
（3）Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates,SCIENCE CHINA Information Sciences,2014,通讯作者
（4）Design of thermopile-based infrared detectors with suspended absorber-thermopile bi-layers,CHINESE JOUＲNAL OF SENSOＲS AND ACTUATOＲS,2014,通讯作者
（5）SOI二极管型非制冷红外焦平面结构的改进设计,红外与毫米波学报,2014,第2作者
（6）一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器 ,传感技术学报,2014,通讯作者
（7）Improved structure design for SOI diode uncooled infrared focal plane arrays,Journal of Infrared And Millimeter Waves,2013,第2作者
（8）Design and simulation of a high fill-factor SOI diode uncooled infrared focal plane arrays,？J. Micromech. Microeng,2013,第2作者
（9）Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology,Journal of Micromechanics and Microengineering,2013,第3作者
（10）MEMS无源无线压力传感器研究,仪表技术与传感器,2013,第2作者
（11）Design and Fabrication of Novel Microlens-micromirrors Array for Infrared Focal Plane Array,MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS,2012,第2作者
（12）Fabrication of a 100percent fill factor silicon microlens array,半导体学报,2012,第2作者
（13）一种与CMOS工艺兼容的热电堆红外探测器,红外技术,2012,第2作者
（14）Kinetics investigation of RIE lag phenomenon by GaAs ICP etching,China Semiconductor Technology International Conference 2012,2012,第4作者
（15）基于黑硅为吸收层的热电堆红外探测器,仪表技术与传感器,2012,第3作者
（16）A design of thermopile infrared detector based on black silicon as absorption,传感技术学报,2012,第3作者
（17）CMOS 兼容的微机械热电堆红外探测器的设计,红外技术,2012,第3作者
（18） “CF4预处理后热生长薄栅氧漏电流及势垒研究“,半导体学报,2004,第2作者
（19）闪速存储器的单管多位技术,微电子学,2004,第2作者
（20）SCDI Flash Memory Device II：Experiments andCharacteristics,半导体学报,2004,第1作者
（21）SCDI Flash Memory Device I：Simulation and Analysis,半导体学报,2004,第1作者
（22）Flash 器件中氧化硅/氮化硅/氧化硅的特性,半导体学报,2003,第1作者
（23）Novel nonplanar Flash Memory Device,半导体学报,2002,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 复合功能二维像素阵列探测器, 参与,国家级,2016-06--2020-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生已指导学生
傅凌硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
赵利俊硕士研究生430109-电子与通信工程
吕玉菲硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
刘谨硕士研究生430110-集成电路工程
张文博硕士研究生085208-电子与通信工程
张海苗硕士研究生085208-电子与通信工程
张乐硕士研究生085208-电子与通信工程
张宇硕士研究生085208-电子与通信工程
孙占鹏硕士研究生085211-计算机技术
王岩硕士研究生085208-电子与通信工程
刘洋硕士研究生085208-电子与通信工程
卢赢硕士研究生085208-电子与通信工程
侯影硕士研究生085208-电子与通信工程
霍慧清硕士研究生085208-电子与通信工程
焦磊涛硕士研究生085208-电子与通信工程
卢圣文硕士研究生085208-电子与通信工程
现指导学生
申洪霞硕士研究生085208-电子与通信工程