基本信息
龚学鹏男硕导中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件： gongxuepeng120@foxmail.com
通信地址： 吉林长春东南湖大路3888号
邮政编码：

研究领域

招生信息
招生专业080201-机械制造及其自动化

招生方向束线光学及装备技术，EUV光刻关键技术


教育背景2007-09--2010-06吉林大学博士
2005-09--2007-07吉林大学硕士
2001-09--2005-07吉林大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2018-09~现在,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,研究员
2012-09~2018-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,副研究员
2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,助理研究员
2007-09~2010-06,吉林大学,博士
2005-09~2007-07,吉林大学,硕士
2001-09~2005-07,吉林大学,学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种用于碳污染实验获取EUV辐射的真空隔离滤光装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN8.1
（ 2 ） 超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CN8.8
（ 3 ） 一种EUV反射镜清洗装置, 2017, 第 3 作者, 专利号: CN1.6
（ 4 ） 具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: 0.2
（ 5 ） 一种X射线波段光学元件高精度面形控制装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 0.8
（ 6 ） EUV多层膜碳污染实验装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 1.5


出版信息
发表论文（1）Mechanical design and finite element analyses of surface bending mechanism for X-ray optics,Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering,2018,第1作者
（2）软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统,光学精密工程,2017,第11作者
（3）Mechanical design and performance evaluation of KB mirror system for the ARPES beamline at SSRF,Precision Engineering- Journal of the International Societies for Precision Engineering,2016,第1作者
（4）Mechanical design and performance evaluation for plane grating monochromator in a soft X-ray microscopy beamline at SSRF,Journal of X-Ray Science and Technology,2015,第1作者
（5）X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析,仪器仪表学报,2015,第1作者
（6）Structure Design and Numerical Simulation of a High Performance Slit in Soft X-Ray Interference Lithography Beamline at SSRF,Advances in Mechanical Engineering,2014,第1作者
（7）X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试,光学精密工程,2014,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 极紫外多层膜表面碳沉积的机理、检测方法及去除策略研究, 主持,国家级,2015-01--2017-12
（ 2 ） 激光位移传感器产业化技术研究, 主持,省级,2015-01--2017-12
（ 3 ） 短波段光学元件碳污染原位清洗与检测技术研究, 主持,国家级,2015-07--2018-07
（ 4 ） EUV多层膜光学元件寿命实验研究平台, 参与,国家级,2012-01--2018-12
（ 5 ） 软X射线共振发射(RXES)谱仪机械系统, 参与,研究所（学校）,2016-12--2017-12
（ 6 ） 同步辐射双偏转镜和聚焦镜系统, 主持,研究所（学校）,2017-12--2020-12
（ 7 ） 软X射线光栅单色器, 参与,研究所（学校）,2017-11--2020-06
（ 8 ） 基于X射线诱发激进粒子反应机制的短波增反膜表面碳沉积原位、高效、无损清洗方法的研究, 主持,国家级,2020-01--2023-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生