基本信息
冯飞男硕导中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： fengfei507@mail.sim.ac.cn
通信地址： 长宁路865号
邮政编码： 200050

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085208-电子与通信工程

招生方向微纳传感器


教育背景2012-05--2013-05加州大学伯克利分校访问
2001-03--2004-06中国科学院上海微系统与信息技术研究所博士
1998-09--2001-02长春理工大学硕士
1990-09--1994-07湖北师范大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2012-05~2013-05,加州大学伯克利分校,访问
2004-07~现在,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,助理研究员，副研究员（2006年1月起），研究员（2012年1月起）
2001-03~2004-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,博士
1998-09~2001-02,长春理工大学,硕士
1990-09~1994-07,湖北师范大学,学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种紫外探测器及其制作方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 1.1
（ 2 ） 一种光导型紫外探测器及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 4.8
（ 3 ） 基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2017, 第 1 作者, 专利号: 8.6
（ 4 ） 基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 6.5
（ 5 ） 混合晶圆级真空封装方法及结构, 2018, 第 1 作者, 专利号: 0.5
（ 6 ） 一种基于键合技术的光学读出红外探测器阵列的制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 6.8
（ 7 ） 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 0.5
（ 8 ） 一种红外探测器阵列及其制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 5.8
（ 9 ） 高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 6.7
（ 10 ） 一种基于双面键合工艺的微色谱柱及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 3.3
（ 11 ） 微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 0.6
（ 12 ） 薄膜型微热导检测器及制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 5.9
（ 13 ） 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 6.6
（ 14 ） 一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 6.6
（ 15 ） 基于双面键合工艺的微色谱柱, 2017, 第 1 作者, 专利号: 9.0
（ 16 ） 微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2.5
（ 17 ） 薄膜型微热导检测器, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2.6
（ 18 ） 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2017, 第 1 作者, 专利号: 20**.7
（ 19 ） 硅基微气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 9.2
（ 20 ） 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: 7.3
（ 21 ） 微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 7.4
（ 22 ） 硅基微气相色谱柱及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 7.6
（ 23 ） 基于SOI的微色谱柱及微热导检测器的集成芯片及制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 1.9
（ 24 ） 双固定相气相色谱柱及其制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 8.3
（ 25 ） 双固定相气相色谱柱, 2018, 第 1 作者, 专利号: 5.8


出版信息
发表论文（1）Pore Size Effect of Mesoporous Silica Stationary Phase on the Separation Performance of Microfabricated Gas Chromatography Columns,Journal of Chromatography A,2018,第11作者
（2）一种新型半填充微气相色谱柱芯片研究,传感器与微系统,2018,第11作者
（3）单片集成微型气相色谱芯片研究,分析化学,2018,第11作者
（4）基于MEMS的微型气相色谱柱研究进展,色谱,2018,第11作者
（5）基于MEMS的高深宽比气相微色谱柱研究,色谱,2018,第11作者
（6）A micro gas chromatographic column with embedded elliptical cylindrical posts,Journal of Chromatography A,2018,第11作者
（7）Improved separation of micro gas chromatographic column using mesoporous silica as a stationary phase support,Talanta,2018,第11作者
（8）Study of Monolithic Integrated Micro Gas Chromatography Chip,Chinese Journal of Analytical Chemistry,2018,第11作者
（9）微型热导检测器温控模块的研究,传感器与微系统,2017,第11作者
（10）Effect of pore size of stationary phase on the seperation performance of chip-based gas chromatography columns,IEEE Transducers 2017,2017,第11作者
（11）High sensitive micro thermal conductivity detector with sandwich structure,IEEE Transducers 2017,2017,第1作者
（12）Tiny-sized ultra-sensitive infrared-thermopile fabricated with a single-sided bulk-silicon micromachining technique,IEEE MEMS 2017,2017,第5作者
（13）The exploration of mesoporous silica as a stationary phase support for semi-packed micro-fabricated gas chromatographic(GC) column,IEEE MEMS 2017,2017,第11作者
（14）Research on micro-fabricated gas chromatographic columns with embedded elliptic cylindrical posts,IEEE MEMS 2017,2017,第11作者
（15）MEMS based vacuum packaging method of optically readable infrared focal plane array,Microsystem technologies,2016,第1作者
（16）光读出红外成像芯片真空封装研究,传感器与微系统,2015,第11作者
（17）Uncooled infrared detector based on silicon diode Wheatstone bridge,Microsystem technologies,2015,第1作者
（18）An uncooled optically readable infrared focal plane array,TRANSDUCERS 2015,2015,第1作者
（19）Noise analysis and structural optimal design of diode microbolometer uncooled IRFPAs,Journal of infrared and millimeter waves,2015,第11作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 气相色谱型便携式气体检测系统用MEMS核心元件研发, 主持,省级,2014-11--2017-10
（ 2 ） 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与,国家级,2014-01--2017-12
（ 3 ） 微纳器件集成与系统示范应用, 主持,国家级,2018-05--2023-04
（ 4 ） 中医诊断传感器及信息微系统技术, 参与,省级,2018-07--2020-06
（ 5 ） 基于ZnO/Ga2O3核壳微米结构的高性能异质结雪崩型日盲探测器的研制, 参与,省级,2018-01--2020-12

参与会议（1）Study for Multifunctional Micro Gas Chromatography Separation ColumnBowen Tian2018-06-24
（2）A Micro Gas Chromatography System with Robust and Suspended μTCDsBowen Tian2018-06-24
（3）Review the research on uncooled infrared detector based on MEMS at SIMITFeng Fei2018-05-22
（4）MEMS制造工艺微机电系统（MEMS）高级培训课程冯飞2017-10-22
（5）基于MEMS的小型气相色谱仪第21 届全国色谱学术报告会及仪器展览会冯飞2017-05-19
（6）MEMS制造工艺微机电系统（MEMS）高级培训课程冯飞2016-10-28


合作情况
项目协作单位

指导学生