一种多变量制造过程中的关键变量检测算法

余凯祥¹, 陈振豪², 张四海¹

1. 中国科学技术大学 信息学院, 合肥 230022;
2. 长鑫存储技术有限公司, 合肥 230000

收稿日期:2019-08-21出版日期:2019-12-28发布日期:2019-11-15

作者简介:余凯祥(1995-),男,硕士生,E-mail:ykx@mail.ustc.edu.cn;张四海(1974-),男,副教授,硕士生导师.
基金资助:国家自然科学基金重点项目（61631018）；长鑫存储技术专项研究项目（CT201809030002）

A Key Variable Detection Algorithm in Multivariate Manufacturing Process

YU Kai-xiang¹, CHEN Zhen-hao², ZHANG Si-hai¹

1. School of Information, University of Science and Technology of China, Hefei 230022, China;
2. Chang Xin Memory Technologies, Inc., Hefei 230000, China

Received:2019-08-21Online:2019-12-28Published:2019-11-15

摘要/Abstract

摘要： 提出了一种基于机器学习的多变量制造过程中的关键变量检测算法.该算法利用机器学习分类器对多变量制造过程进行数学建模，以随机打乱过程变量后分类器的性能变化作为评价指标，检测导致产品质量相对异常的关键变量.设计并生成了多变量制造过程的仿真数据集，在仿真数据集和基于中国某工厂的2个实际生产案例数据集上对算法的检测性能进行了性能验证，2次验证结果均表明算法检测性能良好.
中图分类号:
TN929.53

引用本文

余凯祥, 陈振豪, 张四海. 一种多变量制造过程中的关键变量检测算法[J]. 北京邮电大学学报, 2019, 42(6): 98-104.
YU Kai-xiang, CHEN Zhen-hao, ZHANG Si-hai. A Key Variable Detection Algorithm in Multivariate Manufacturing Process[J]. JOURNAL OF BEIJING UNIVERSITY OF POSTS AND TELECOM, 2019, 42(6): 98-104.





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