基底温度对ITO薄膜红外发射特性的影响
| 外文标题 | Effect of Different Substrate Temperatures on the Infrared Emissivity Properties of Indium Tin Oxide (ITO) Thin Films |
| 文献类型 | 期刊 |
| 作者 | 胡亚兰[1];刁训刚[2];郝维昌[3];王聪[4];王金良[5];王天民[6] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083 [2]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083 [3]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083 [4]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083 [5]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083 [6]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083 ↓ |
| 来源信息 | 年:2004期:1页码范围:21-24 |
| 期刊信息 | 红外ISSN:1672-8785 |
| 关键词 | ITO薄膜;基底温度;透过率;方块电阻;红外发射率 |
| 摘要 | 本文采用射频磁控溅射法制备ITO薄膜,该薄膜具有较低的红外发射率.利用紫外-可见-近红外分光光度计、红外发射率测量仪、四探针测试仪研究了溅射过程中基底温度对ITO薄膜红外特性和光电性能的影响,并且用AFM对ITO薄膜的表面形貌进行了表征.实验发现,随着基底温度的升高,薄膜的表面颗粒增大,透过率、方块电阻、平均红外发射率均会降低.本文还讨论了8μm～14μm波段平均红外发射率与方块电阻之间的关系. |
| 所属部门 | 材料科学与工程学院 |
| 链接地址 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_hongw200401005.aspx |
| DOI | 10.3969/j.issn.1672-8785.2004.01.005 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
| 基金 | 教育部留学回国人员科研启动基金 |
全文
影响因子：
dc:title:基底温度对ITO薄膜红外发射特性的影响
dc:creator:胡亚兰;刁训刚;郝维昌,等
dc:date: publishDate:2004-01-10
dc:type:期刊
dc:format: Media：红外
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：红外.2004,21-24.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1672-8785.2004.01.005
dc: identifier:ISBN:1672-8785
