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压电微型泵的制造新工艺

外文标题	New Fabrication Process for Piezoelectric Membrane Micropump
文献类型	期刊
作者	刘收[1];姚立强[2];姜兴刚[3];王益红[4];陈志同[5]
机构	[1]北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学 100083,100083,100083,100083,100083 [2]北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学 100083,100083,100083,100083,100083 [3]北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学 100083,100083,100083,100083,100083 [4]北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学 100083,100083,100083,100083,100083 [5]北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学,北京航空航天大学 100083,100083,100083,100083,100083 ↓
来源信息	年:2004期:7页码范围:19-21
期刊信息	新技术新工艺ISSN:1003-5311
关键词	覆膜技术;固体胶膜键合工艺;微型泵
摘要	在微机电系统(MEMS)中首次把聚对苯二甲基聚合物覆膜(Parylene Coating)技术成功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振、防水和防腐蚀;采用双面固体胶膜的键合工艺代替了传统胶粘结工艺;采用了精密微钻孔、微车削等微细加工技术.这些措施明显缩短了微型泵器件的研制周期,降低了成本,提高了微泵综合性能.
收录情况	PKUISTIC
链接地址	http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_xjsxgy200407008.aspx
DOI	10.3969/j.issn.1003-5311.2004.07.008

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dc:title:压电微型泵的制造新工艺
dc:creator:刘收;姚立强;姜兴刚,等
dc:date: publishDate:2004-07-25
dc:type:期刊
dc:format: Media：新技术新工艺
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：新技术新工艺.2004,19-21.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1003-5311.2004.07.008
dc: identifier:ISBN:1003-5311