赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜
| 外文标题 | Preparation of nanometer thin films by nanosecond pseudospark beam ablation |
| 文献类型 | 期刊 |
| 作者 | 韩丽君[1];江兴流[2];文雄伟[3] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学材料科学与工程系,北京航空航天大学理学院,北京航空航天大学理学院 北京100083,北京100083,北京100083 [2]北京航空航天大学材料科学与工程系,北京航空航天大学理学院,北京航空航天大学理学院 北京100083,北京100083,北京100083 [3]北京航空航天大学材料科学与工程系,北京航空航天大学理学院,北京航空航天大学理学院 北京100083,北京100083,北京100083 ↓ |
| 来源信息 | 年:2002卷:22期:2页码范围:24-28 |
| 期刊信息 | 航空材料学报ISSN:1005-5053 |
| 关键词 | 纳秒脉冲电子束;纳米薄膜;烧蚀法 |
| 摘要 | 类似于脉冲激光束烧蚀法制备薄膜,利用纳秒赝火花脉冲电子束与靶材料相互作用,通过靶材料的瞬间熔化、蒸发或以团簇抛出的方式,在低温衬底上重新成核、凝结,得到了与靶材的化学计量比相同的薄膜.讨论了材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象,并给出高分辨电子显微镜、X射线衍射、光电子能谱分析等方法的测试结果.研究表明,由于赝火花脉冲电子束高功率密度 (109 W/cm2 )的瞬态烧蚀作用,为研究和制备多元素氧化物薄膜、难熔金属多层膜或氧化物/金属多层膜提供了一种新手段. |
| 所属部门 | 材料科学与工程学院 |
| 链接地址 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_hkclxb200202007.aspx |
| DOI | 10.3969/j.issn.1005-5053.2002.02.007 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
| 基金 | 国家自然科学基金; 航空科研项目 |
全文
影响因子：
dc:title:赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜
dc:creator:韩丽君;江兴流;文雄伟
dc:date: publishDate:2002-06-15
dc:type:期刊
dc:format: Media：航空材料学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：航空材料学报.2002,22(2),24-28.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1005-5053.2002.02.007
dc: identifier:ISBN:1005-5053
