硅谐振微传感器中微现象测量技术
| 外文标题 | Micro Phenomena Measurement to Silicon Resonant Microsensor |
| 文献类型 | 期刊 |
| 作者 | 周浩敏[1];胡芳[2];兰巍[3];邢维巍[4] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学自动化学院,北京,100083 [2]北京航空航天大学自动化学院,北京,100083 [3]北京航空航天大学自动化学院,北京,100083 [4]北京航空航天大学自动化学院,北京,100083 ↓ |
| 来源信息 | 年:2002卷:29期:1页码范围:59-64 |
| 期刊信息 | 强度与环境ISSN:1006-3919 |
| 关键词 | 信息处理;微现象测量;谐振微传感器 |
| 摘要 | 主要论述硅谐振微传感器中微现象测量.讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等. |
| 所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
| 链接地址 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_qdyhj200201009.aspx |
| DOI | 10.3969/j.issn.1006-3919.2002.01.009 |
| 基金 | 航空基础科学基金 |
全文
影响因子：
dc:title:硅谐振微传感器中微现象测量技术
dc:creator:周浩敏;胡芳;兰巍,等
dc:date: publishDate:2002-03-15
dc:type:期刊
dc:format: Media：强度与环境
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：强度与环境.2002,29(1),59-64.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1006-3919.2002.01.009
dc: identifier:ISBN:1006-3919
