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影响激光外差高精度计量的几个关键因素

外文标题	Factors Affecting the Precision of Heterodyne Interferometer
文献类型	期刊
作者	赵慧洁[1];张广军[2]
机构	[1]北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院,北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院 [2]北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院,北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院 ↓
来源信息	年:2002卷:28期:2页码范围:221-224
期刊信息	北京航空航天大学学报ISSN:1001-5965
关键词	激光干涉仪;计量;精度
摘要	共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度.所以着重分析了影响激光外差计量精度的4个关键因素,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径;利用激光外差及矢量分析理论,深入研究了频率混叠误差和相位跳变误差的成因、变化规律,并讨论了提高测量系统精度的有效措施.对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义.
收录情况	PKUCSCD
所属部门	自动化科学与电气工程学院
链接地址	http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_bjhkhtdxxb200202025.aspx
DOI	10.3969/j.issn.1001-5965.2002.02.025
人气指数	1
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基金	航空科研项目; 国家部级科研项目

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院机关(遥感科学与技术系)赵慧洁
仪器科学与光电工程学院张广军

dc:title:影响激光外差高精度计量的几个关键因素
dc:creator:赵慧洁;张广军
dc:date: publishDate:2002-04-30
dc:type:期刊
dc:format: Media：北京航空航天大学学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学学报.2002,28(2),221-224.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1001-5965.2002.02.025
dc: identifier:ISBN:1001-5965